Gestion de gases para semiconductores

Compre en línea en www.bocedwards.com

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Gestión de gases de escape y bombas para la fabricación de semiconductores

FABMAX – servicio de mantenimiento durante la vida útil del proceso de fabricación

4-4

Accesorios y bombas turbomoleculares con levitación magnética STP

Bombas y controladores STP 4-5Accesorios 4-48

Bombas secas y accesoriosAccesorios y bombas secas iH, iF, iL, y L remotas 4-52Bombas de alto vacío IPX instaladas en herramientas 4-63Bombas de alto vacío EPX instaladas en herramientas 4-68Accesorios y sistemas de bombas secas iQ 4-70Bombas mecánicas Roots QMB 4-76Redes e interfaces 4-80

Gestión de gases de escapeProcesamiento térmico 4-84Columnas del reactor de gas 4-91Depuradores por vía húmeda 4-96Sistema de acondicionamiento pirofórico 4-98Sistema integrado de gestión de gases de escape y vacío Zenith 4-99Sistema de gestión de temperatura 4-100

Gestión térmicaUnidades de control de temperatura (refrigeradoras) 4-102


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SOLUCIONES INTEGRADAS PARA LA INDUSTRIA DE SEMICONDUCTORES

BOC Edwards ha estado involucrada en la industria de semiconductores desde el inicio de los procesos de vacío. En asociación con sus clientes, BOC Edwards ha desarrollado productos y servicios para satisfacer los requerimientos de proceso específicos.Esta asociación se fortalece continuamente a medida que BOC Edwards cumple su objetivo de brindar a sus clientes soluciones verdaderamente integradas según sus necesidades de vacío.

Bombas secas iQ de BOC Edwards en funcionamiento en Plessey Roborough,Plymouth, RU. (La fotografía es cortesía de Plessey).

Las bombas secas iQ, iH e iLEl desarrollo de nuestras bombas iQ, iH e iL ha sido el resultado de las mejoras impulsadas por nuestros clientes. • Desempeño comprobado y alta confiabilidad en las aplicaciones más

exigentes• Monitoreo y control inteligente• El conjunto patentado del rotor ofrece una alta eficiencia volumétrica con

una baja entrada de potencia• La trayectoria de gas corta y simple optimiza la conductancia interna y

reduce al mínimo el espacio muerto• No se requieren ínterenfriadores• Bajos costos de operación – se eliminan los componentes consumibles• Manejo de gas más seguro• Vacío limpio – sin contracorriente• Diseñadas para un mantenimiento poco frecuente• Intrínsicamente no contaminantesEstas características hacen que las bombas Drystar® sean ideales para:• Procesamiento de semiconductores• Pulverización catódica• Aplicaciones limpias en secado por congelamiento, deposición de vacío e

investigación y desarrollo especiales• Cámaras de bloqueo de carga• Hornos al vacío• Procesos de sustancias químicas

Bomba seca iL600 de BOC Edwards

Redes para el monitoreo y control inteligente en los procesos de fabricaciónBOC Edwards ha sido pionero en el suministro y uso de la interconexión en toda la planta de los sistemas de bombeo para permitir el monitoreo y diagnóstico del sistema en forma remota. Pueden monitorearse múltiples dispositivos, incluyendo bombas y sistemas de tratamiento de escapes desde una o más PC, utilizando software fácil de usar, compatible con Microsoft WindowsTM. Cada red está diseñada en forma individual para satisfacer los requerimientos de fabricación específicos.

Operador utilizando el software FabWorks Plant Monitor


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En abril de 2002, BOC Edwards adquirió la unidad de negocios de bombas turbomoleculares de Seiko Instruments, Inc.• Distribuidas y con soporte técnico de BOC Edwards a nivel mundial

durante casi veinte años• Diseñadas mediante la mejora continua de tecnología comprobada y

confiable existente en la actualidad• Los materiales y diseños de avanzada ofrecen:

- Desempeño inigualable en su tipo- Bajo nivel de vibración- Confiabilidad garantizada- Bajo costo de mantenimiento

• La amplia familia de productos cubre todas las posibles aplicaciones de turbobombas.

• Aprobadas por los principales fabricantes de semiconductores• Usadas en las principales plantas de fabricación de semiconductores• Base instalada de más de 70000 unidades, 85% en la industria de

semiconductores

Principales características• Sistema de cojinetes magnéticos multieje• Versiones de alto rendimiento para procesos de gran flujo• Características de baja vibración• Tecnología avanzada de controladores• Instalación de interconexión total

Características y ventajas• Mejor desempeño de bombeo

- Optimizado para las presiones del proceso de fabricación de semiconductores

- Rendimiento óptimo de gas para cada tamaño de brida- Modelos específicos para cada aplicación

• Controladores de nueva generación• Controlador compacto (1/2 bastidor)

- Bombas "mix and match" con capacidad de sintonización automática- Control TMS integrado- Sistema de diagnóstico mejorado

• Accionamiento del motor de c.c. de gran potencia- Tiempo rápido de rampa ascendente - Reactivación automática en caso de cortes de energía, lo que elimina la

necesidad de baterías

Diseño del sistema de gestión de gases de escape

Unidades TPU en el escape de una aplicación CVD (la fotografía es cortesía deTI, Dallas, EE.UU.)BOC Edwards es la única empresa en la industria que ofrece la gama más amplia de tecnologías de gestión de gases de escape, lo cual ha sido comprobado a través de una serie de productos y sistemas diseñados para satisfacer todos los requerimientos del cliente, desde la gestión de bajo costo de las instalaciones hasta la protección total del medio ambiente.

El carro de recambio del cartucho para la columna del reactor a gas simplificael mantenimiento de rutina de estas unidades de gestión de gases de escape detecnología de última generación.


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BOC Edwards es uno de los proveedores más importantes del mundo de equipos de gestión de gases, vacío y emisiones de escape, así como sistemas de gestión de sustancias químicas para las industrias de fabricación de herramientas de procesos, pantallas planas y dispositivos de semiconductores.Nuestra red global de plantas de fabricación y centros de soporte de mantenimiento está dedicada a brindar el más alto nivel de calidad, seguridad y servicio al cliente. BOC Edwards continúa fortaleciendo nuestra importante infraestructura, construida a lo largo de más de dos décadas de servicio en la industria de semiconductores. Operamos en las principales regiones de fabricación de semiconductores del mundo, garantizando el soporte local a nuestros clientes en donde se encuentran. Sobre la base de nuestra experiencia en productos y aplicaciones, así como en nuestras alianzas estratégicas cada vez más crecientes, hemos desarrollado el programa de soporte al cliente FABMAX.

Gestión de equipos y componentes

Red global de instalaciones que ofrecen:• Reparación y actualización de equipos y sistemas• Limpieza y gestión de las piezas de herramientas de procesos

BOC Edwards Kachina

X Site

Soporte a la productividadGestión en la planta de sistemas y materiales críticos, incluyendo• Gases volumétricos y especiales• Sustancias químicas• Vacío• Manejo de los gases de escape

Proyecto y diseño

• Gestión de proyectos llave en mano para sistemas de gas, sustancias químicas, vacío, reducción y otros servicios

• Diseño ISinc 3D• Servicios de instalación de herramientas de procesos

XPert

Servicios de "know how"• Etapas de diagnóstico y analíticas• Capacitación

Servicios a través de InternetSemiServe.com: Capacitación y recursos técnicos en EHS (seguridad, salud y medio ambiente)XpertFabServices.com- Recursos de diseño para sistemas de gas, sustancias químicas y vacío(Consulte la sección 16, para obtener información sobre contactos)

Limpieza de componentes de la cámara de semiconductoresBOC Edwards Kachina ofrece un servicio completo de limpieza de las piezas de la cámara de semiconductores, mejoras de superficies y gestión de componentes.Instalaciones de separación química selectiva Mediante químicas controladas y más de 75 recetas de deposición al sustrato, se reduce la pérdida de materias primas, se prolonga la vida útil de los componentes y se reducen los costos de recambios. Instalación de líneas de proceso dedicadas, separación de cobre segregada, detección del punto final y de 300 mm.Limpieza de dióxido de carbono En combinación con técnicas acuosas, se reducen considerablemente los niveles de desgasificación, iones móviles, lo que da como resultado la rehabilitación más rápida de la cámara. Mejora de superficies La pulverización por arco de alambre bifilar controlada por robot con tecnología de cinco ejes optimiza la rugosidad superficial, lo que da como resultado tiempos prolongados y predecibles entre servicios de mantenimiento preventivo.Instalación de inspección y metrología dimensional crítica completa Servicios de gestión de componentes Conjuntos de componentes montados preacondicionados y listos para instalarse en la cámara, embalados en nuestro contenedor de transporte patentado Quick KitTM compatible con salas limpias. Aumenta el tiempo de uso de las herramientas, reduce el tiempo para realizar el servicio de mantenimiento preventivo, elimina la necesidad de que el cliente maneje el inventario de repuestos.Instalaciones globales Existen tres instalaciones de servicio completo en los EE.UU. (Phoenix, Austin, Hillsboro), y la última instalación de servicio completo en Corbeil, Francia. También ofrecemos operaciones en fábrica en Israel, China y el Reino Unido.

Arizona3925 E. WatkinsPhoenix, AZ 85034+(1) 602 431 1212

Texas4117 Commercial Center Dr.Austin, TX 78744+(1) 512 416 0102

Oregón6121 W. Cornelius Pass RoadHillsboro, OR 97124+(1) 503 533 5848

Francia224 Boulevard John Kennedy91105 Corbeil Essonnes Cedex+(33) 1 6088 7110


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BOMBAS TURBOMOLECULARES CON LEVITACIÓN MAGNÉTICA STP

Accesorios y bombas turbomoleculares con levitación magnética STPBombas y controladores STP

BOC Edwards es líder en tecnología de vacío limpio y seco. Las primeras bombas STP se vendieron en 1983 y en la actualidad existen 70000 instalaciones en todo el mundo. El 85% de ellas están funcionando con herramientas de procesos de fabricación de semiconductores en donde se demuestran sus excepcionales niveles de confiabilidad. Las bombas STP son la primera opción para aplicaciones que demandan un elevado tiempo de operación, bombeo libre de hidrocarburos, mantenimiento mínimo y bajo nivel de vibración.• Confiabilidad comprobada.• Alto vacío limpio y libre de aceite.• Rango completo de 300 a 3500 l s-1.• Modelos específicos para cada aplicación.• Muy bajo nivel de ruido y vibración.• Bajo costo de mantenimiento.• Prácticamente libre de mantenimiento.• Instalación en cualquier orientación.• Interfaz por control remoto total.• Soporte global de BOC Edwards

Comprobada tecnología de cojinetes magnéticosEl rotor está completamente suspendido por cojinetes magnéticos, de manera que todo el contacto entre el rotor y el resto de la bomba queda eliminado. Además de generar una vibración muy baja, la eliminación del contacto significa que no hay desgaste de los cojinetes y, por lo tanto, no existe la necesidad de mantenimiento de la bomba.

Familia de bombas STPSerie UHV La serie de vacío ultra alto de las bombas turbomoleculares con levitación magnética es el producto de elección para las industrias de fabricación de semiconductores, ciencia de superficies o física de alta energía. Estas bombas ofrecen inigualable confiabilidad, desempeño, limpieza y bajos niveles de vibración únicos en su tipo. Todas las bombas están alimentadas por c.c., eliminando así la necesidad de baterías; también utilizan un controlador de medio bastidor que cuenta con características de sintonización automática y de diagnóstico avanzadas. Esta familia de bombas cuenta con velocidades de 300 l s-1 a 1000 l s-1, disponibles con bridas ISO o CF.Serie de alto rendimiento La serie de alto rendimiento de las bombas turbomoleculares con levitación magnética generan los elevados flujos de gas requeridos por la generación actual de sistemas de grabado de semiconductores, implante de iones y LCD. Todas las bombas cuentan con un sistema de cojinetes magnéticos de cinco ejes activos y accionamiento de c.c. para ofrecer una mayor resistencia y estabilidad. También utilizan una etapa Holweck para brindar un rendimiento de avanzada. Estas bombas funcionan a través de un controlador de medio bastidor con sintonización automática, diagnóstico avanzado y un sistema integrado de gestión de temperatura. Esta familia de bombas funciona con velocidades de rendimiento de 300 l s-1 a 450 l s-1.

Serie Advantage La nueva serie Advantage de turbobombas con levitación magnética han sido diseñadas para brindar los niveles más altos de rendimiento requeridos por la próxima generación de procesos CVD y de grabado de semiconductores. Estas bombas fueron desarrolladas mediante técnicas de mejora continua, de la serie H de productos ultra confiables y de alto desempeño. El diseño avanzado del rotor, junto con una selección de los mejores materiales, ha permitido la creación de la próxima generación de turbobombas de alto rendimiento dentro de las mismas dimensiones que muchos de los modelos existentes. Esta familia de bombas ofrece velocidades de rendimiento de 800 l s-1 a 3500 l s-1.

Características de las bombas STP

Libre de aceite Todas las bombas turbomoleculares STP están libres de aceite. El uso de cojinetes magnéticos elimina todos los lubricantes de hidrocarburos, lo que garantiza que no habrá ningún tipo de contaminación en el proceso de vacío proveniente de la bomba turbomolecular. Esta característica es vital en la industria de semiconductores (donde las densidades de los dispositivos aumenta constantemente) y en aplicaciones de la ciencia de superficies o la física de alta energía (donde la más mínima contaminación puede perjudicar las mediciones).Libre de mantenimiento A diferencia de los cojinetes mecánicos convencionales, la levitación magnética significa que no existe el contacto por fricción, eliminando así las fuentes de desgaste y vibración. Esta característica permite a las bombas turbomoleculares STP funcionar durante años prácticamente sin ningún mantenimiento, reduciendo los costos anuales de operación al mínimo y garantizando un tiempo de funcionamiento máximo. Esta característica libre de mantenimiento puede ser especialmente beneficiosa en procesos que generan contaminación química o radioactiva.Libre de vibraciones La levitación magnética del rotor da como resultado un nivel de ruido y vibración extremadamente bajo. El nivel de vibración pico a pico es inferior a 0,02 µm. Esta amplitud permanece constante a lo largo de la vida útil de la bomba y también está libre de subarmónicas problemáticas.

Sistema de balanceo automático (ABS) ABS es un desarrollo patentado, único en su tipo con tecnología de cinco ejes. Si se produce un desbalance del rotor (por ejemplo, por deposición de los productos derivados del proceso), los sensores de la bomba detectan los cambios en el movimiento del rotor y compensan los campos de cojinetes magnéticos para permitir que el rotor gire sobre su eje inercial natural. Esto reduce al mínimo la vibración transmitida a la brida de entrada. El sistema ABS funciona con todas las velocidades de rotación de la bomba.

1 50 100

18

28 44

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10 amp/div-12

Análisis de gas residual

0 200 400 600 800 1000Hz

5x10

m

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Desplazamiento/frecuencia del análisis de vibración de la bomba STP 300


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Cojinetes de seguridad Las bombas STP cuentan con cojinetes mecánicos axiales y radiales lubricados en seco que actúan como cojinetes de seguridad. Estos cojinetes sirven de soporte al rotor y protegen la bomba en caso de que se produzca una disrupción total de la suspensión magnética o una ráfaga masiva de aire que supere la tensión de los cojinetes magnéticos. Estos cojinetes de bola de alta precisión están lubricados en seco y no están en contacto con el rotor durante el funcionamiento normal.

Rotores optimizados Los rotores empaletados puros de etapas múltiples de las bombas UHV, generan los altos vacíos requeridos por las líneas de haces libres de las máquinas CD SEM, espectrómetros de masa e implantadores de iones. También ofrecen un desempeño de bombeo óptimo con excelentes relaciones de compresión de gas liviano.Rotores compuestos Las bombas de alto rendimiento incorporan una etapa de arrastre Holweck que aumenta el rendimiento de la bomba a baja presión.

Rotores compuestos de la serie avanzada Las bombas serie avanzada cuentan con un nuevo diseño de rotor; los materiales de fabricación se han mejorado para reducir la limpieza dentro de la bomba, los rotores tienen un diseño 3D avanzado y la etapa Holweck se ha rediseñado para aumentar el rendimiento.

Resistencia a la corrosión A fin de garantizar un alto nivel de resistencia a la corrosión, las bombas resistentes a la corrosión (C) y con un alto rendimiento (H-C) tienen rotores/estatores recubiertos de níquel y componentes internos adecuados para el implante de iones y el grabado de plasma. Otros niveles de mayor protección están disponibles a solicitud.Purga de nitrógeno Las bombas resistentes a la corrosión (C) y de alto rendimiento (H-C) cuentan con un dispositivo de purga de nitrógeno; un flujo constante de nitrógeno a través de la bomba diluye los gases corrosivos, reduciendo al mínimo el daño causado al motor de la bomba y a las bobinas del sensor.Sistema TMS El sistema de gestión de temperatura (TMS) de BOC Edwards está disponible en una amplia variedad de turbobombas. Está diseñado para optimizar la temperatura dentro de la bomba, lo que reduce dramáticamente la condensación de partículas. Esto no sólo mejorará considerablemente el desempeño de la bomba bajo condiciones exigentes del proceso, sino que también aumentará su vida útil de funcionamiento.

APLICACIONES

Fabricación de semiconductores Las bombas turbomoleculares STP son la principal elección de los fabricantes de implantes y grabado de semiconductores líderes en el mundo. Las bombas se instalan en las aplicaciones más exigentes (por ejemplo, en el grabado metálico) y demuestran niveles de confiabilidad excepcionales.• El grabado de plasma (cloro, flúor y bromo) para metal (aluminio),

tungsteno, dieléctrico (óxido) y polisilicio• Grabado por resonancia ciclotrónica de electrones (ECR)• Deposición de película CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD• Pulverización catódica• Fuente de implante de iones, estación terminal de bombeo de la línea de

haces• MBE• Difusión• Separación fotorresistente• Cultivo epitaxial/de cristales• Inspección de plaquetas• Cámaras de bloqueo de carga

Aplicaciones científicas Las bombas STP se usan ampliamente en los institutos de investigación y desarrollo más avanzados del mundo. Las bombas cumplen con los criterios de desempeño y las expectativas de confiabilidad más exigentes. También se utilizan en las siguientes aplicaciones:• Instrumentos científicos: análisis de superficies, espectrometría de masa,

microscopía electrónica• Física de alta energía: líneas de haces, aceleradores• Aplicaciones radioactivas: sistemas de fusión, ciclotrones

N2

TMSC

O


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BOMBA TURBOMOLECULAR STP301/STP301C

Las bombas STP301 y STP-301C resistentes a la corrosión de BOC Edwards se utilizan en aplicaciones de microscopios electrónicos y fabricación de semiconductores. La tecnología de rotor de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STP 301 fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de instrumentos científicos, semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Alta confiabilidad• Libre de mantenimientoDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidor

DATOS TÉCNICOS

1 300 l s-1 N2 2 300 l s-1 H2 3 280 l s-1 He

A Conectores eléctricos para la unidad de control C Orificio de purga (versión C solamente)B Brida de salida

Brida de entrada ISO100 / DN100CFOrificio de salida KF25Orificio de purga KF10 (versión C solamente)Velocidad de bombeo

N2 300 l s-1

H2 300 l s-1

Relación de compresiónN2 >108

H2 >2 x 104

Presión final con calentamiento de desecadoBrida de entrada ISO 6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)Brida de entrada CF (no la versión C) en el orden de 10-8 (en el orden de

10-10) Pa (Torr)Brida de entrada CF (versión C solamente)

en el orden de 10-7 (en el orden de 10-9) Pa (Torr)

Presión máxima de entrada permitidaEnfriada a temperatura ambiente 0,066 (5 x 10-4) Pa (Torr)

Presión máxima de salida continuaEnfriada a temperatura ambiente 13 (0,1) Pa (Torr)

Velocidad nominal 48000 rpmTiempo de arranque 3 minTemperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 100 a 120 V c.a. (±10%) ó

200 a 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía

Arranque 0,55 kVAPeso

Bomba 11 kgControlador 7 kg

99.5

A

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8 x M8 x 16

C

Ø16

0

B

110

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Controlador

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOS

DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO NÚMERO DE PEDIDO

La bomba STP se suministra con una criba de entrada.Para una instalación completa, solicite una bomba STP, un controlador, un cable de conexión y un cable de energía, de acuerdo con la siguiente información.

STP301

ISO100 - entrada B74830020

DN100CF - entrada B74831010

STP301C



Controlador

100-120 V 50/60 Hz PT21Z0Z00

200-240 V 50/60 Hz PT21Z0Z04

Cables de conexión

3 m B70700010

5 m B70700000

12 m PT21Y0B08

Cables de energía

Terminal en anillo 3 m B70700090


Enchufe para Europa 3 m A50506010

Enchufe para el RU 3 m A50505010

Opciones

Serpentín de enfriamiento de agua

Instalación horizontal RC1/4 B74801750

Aislador de vibración

ISO100 B58046000

DN100CF B74834010

315

200

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209.7

122.5

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BOMBA TURBOMOLECULAR STP301CB

La bomba turbomolecular STP301CB resistente a la corrosión de BOC Edwards ofrece una confiabilidad comprobada en el campo para usarse en las aplicaciones de fabricación de semiconductores más exigentes. La tecnología de rotor de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STP301CB fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Campo bajo• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidor

DATOS TÉCNICOS

1 300 l s-1 N2 2 300 l s-1 H2 3 280 l s-1 He

A Conector eléctrico D Salida del agua de enfriamiento (accesoria)B Orificio de salida E Entrada del agua de enfriamiento (accesoria)C Orificio de purga

Brida de entrada ISO100 / DN100CFOrificio de salida KF40 o KF25Orificio de purga KF10 Velocidad de bombeo

N2 300 l s-1

H2 300 l s-1


H2 >2 x 104

Presión finalBrida de entrada ISO 6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)Brida de entrada CF 10-7 (10-9) Pa (Torr)



Velocidad nominal 48000 rpmTiempo de arranque 3 minTemperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 100-120 V ó 200-240 VConsumo de energía




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Controlador




STP301C

ISO100 - entrada KF25 - salida B74871000


DN100CF - entrada KF25 - salida B74881000


Controlador

100-120 V 50/60 Hz PT21Z0Z00

200-240 V 50/60 Hz PT21Z0Z04

Cables de conexión

3 m B70700010

5 m B70700000

12 m PT21Y0B08

Cables de energía





Opciones




ISO100 B58046000

DN100CF B74834010

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Las bombas STP-451 y STP-451C resistentes a la corrosión de BOC Edwards se utilizan en aplicaciones de microscopios electrónicos, instrumentos científicos y fabricación de semiconductores. La tecnología de rotor de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STP451 fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de instrumentos científicos, semiconductores y medios magnéticos.


DATOS TÉCNICOS

1 480 l s-1 N2 2 460 l s-1 H2 3 460 l s-1 He

A Conectores eléctricos C Orificio de purga (versión C solamente)B Orificio de salida E Serpentín de enfriamiento (accesorio)

Brida de entrada ISO160K / DN160CFOrificio de salida KF25Orificio de purga KF10 (versión C solamente)Velocidad de bombeo

N2 480 l s-1

H2 460 l s-1


H2 >2 x 104

Presión final con calentamiento de desecadoBrida de entrada ISO 6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)Brida de entrada CF (no la versión C) en el orden de 10-8 (en el orden de

10-10) Pa (Torr)Brida de entrada CF (versión C solamente)

en el orden de 10-7 (en el orden de 10-9) Pa (Torr)



Velocidad nominal 48000 rpmTiempo de arranque 3 minTemperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 100 a 120 V c.a. (±10%) ó





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Controlador




STP451



STP451C



Controlador

100-120 V 50/60 Hz PT21Z0Z00

200-240 V 50/60 Hz PT21Z0Z04

Cables de conexión

3 m B70700010

5 m B70700000

12 m PT21Y0B08

Cables de energía





Opciones




ISO160 B58049000

DN160CF B70652040

315

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BOMBA TURBOMOLECULAR STP451CB

La bomba turbomolecular STP451CB resistente a la corrosión de BOC Edwards ofrece una confiabilidad comprobada en el campo para usarse en las aplicaciones de fabricación de semiconductores más exigentes. La tecnología de rotor de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STP451CB fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Campo bajo• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidor

DATOS TÉCNICOS

1 480 l s-1 N2 2 460 l s-1 H2 3 460 l s-1 He

A Conector eléctrico D Salida del agua de enfriamiento (accesoria)B Orificio de salida E Entrada del agua de enfriamiento (accesoria)C Orificio de purga

Brida de entrada ISO160 / DN160CFOrificio de salida KF40 o KF25Orificio de purga KF10 Velocidad de bombeo

N2 480 l s-1

H2 460 l s-1


H2 >2 x 104

Presión finalBrida de entrada ISO 6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)Brida de entrada CF en el orden de 10-7 (en el orden de

10-9)Presión máxima de entrada permitida

Enfriada a temperatura ambiente 0,066 (5 x 10-4) Pa (Torr)Presión máxima de salida continua

Enfriada a temperatura ambiente 13 (0,1) Pa (Torr)Velocidad nominal 48000 rpm

Tiempo de arranque 3 minTemperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 100 – 120 V ó 200 – 240 VConsumo de energía

Arranque 550 VAPeso


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210

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Ø156

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6814

1

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Ø203Ø180ISO160 (CF6)DN160CF

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132.5




STP451CB





Controlador

100-120 V 50/60 Hz PT21Z0Z00

200-240 V 50/60 Hz PT21Z0Z04

Cables de conexión

3 m B70700010

5 m B70700000

12 m PT21Y0B08

Cables de energía





Opciones




ISO160 B58049000

DN160CF B70652040


4PÁGINA

15

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE

BOMBA TURBOMOLECULAR STP-L301/STP-L301C

Las bombas STP-L301 y STP-301C resistentes a la corrosión de BOC Edwards se utilizan en aplicaciones de microscopios electrónicos y fabricación de semiconductores. La tecnología de rotor de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STP-L301(C) fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de instrumentos científicos, semiconductores y medios magnéticos.


DATOS TÉCNICOS

A ConectorB Orificio de salida

Brida de entrada ISO100 / DN100CFOrificio de salida KF25Orificio de purga KF10 (versión C solamente)Velocidad de bombeo

N2 260 l s-1

H2 290 l s-1


He 5 x 105

H2 2 x 104

Presión final con calentamiento de desecado en el orden de 10-6 (en el orden de 10-8) Pa (Torr)

Presión máxima de entrada permitidaEnfriada a temperatura ambiente 6,7 x 10-2 (5 x 10-4) Pa (Torr)


Velocidad nominal 48000 rpmTiempo de arranque 3 min.Temperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 100 a 120 V c.a. (±10%) ó




Ø130

20716

666

8

240

7383

3310

8

Ø115

Ø180

Ø128

99.5

Ø156

15°

20°

20°

A

8 x M8 x 16

M4 x 10

B25°

30°7.5°

Ø14

8.5

Ø130.2

Ø160

Ø160

15°

30°

45°

22.5°

22.5°11.25°

ISO100 ICF152 VG100

16 x Ø8

8 x Ø127.5°

ISO100

ICF152Ø152

Ø110Ø115

2155

VG100Ø185

Ø1153512

NUEVA


4PÁGINA

16

1 l s-1 N2 2 l s-1 H2 3 l s-1 He

Controlador

315

200

140

209.7

122.5

132.5




STP-L301


DN100CF - entrada PT470Z000

STP-L301C


DN100CF - entrada PT47AZ030

Controlador

100-120 V 50/60 Hz PT21Z0Z00

200-240 V 50/60 Hz PT21Z0Z04

Cables de conexión

3 m B70700010

5 m B70700000

12 m PT21Y0B08

Cables de energía





Opciones




ISO100 B58046000

DN100CF B74834010

NUEVA


4PÁGINA

17

BO

MB

AS

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RA

LA

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UC

TO

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DE

ES

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PE

BOMBA TURBOMOLECULAR STP-L451/STP-L451C

La nueva bomba STP-L451(C) de BOC Edwards fue diseñada para cumplir con los requerimientos de baja vibración de las herramientas avanzadas de microscopía y espectroscopía. Esta bomba se basa en el modelo STP451(C) de BOC Edwards única en su tipo, y ofrece la ventaja de contar con un sistema de asilamiento contra vibraciones incorporado en el cuerpo de la bomba. Este revolucionario diseño brinda una serie de ventajas al usuario final.

Características y ventajasBajo nivel de vibración• Sistema de aislamiento contra vibraciones que ofrece un mejor

desempeño en comparación con la bomba STP451(C) y un aislador externo

Mejor desempeño de bombeo• Sin aislador externo, por lo que se reducen las pérdidas de conductancia,

brindando un desempeño real de 450 l/s Diseño más compacto• Considerablemente más pequeña que la bomba STP451(C) y aislador

externoFácil instalación• Un solo componente de la bomba reduce el tiempo de instalación

DATOS TÉCNICOS

1 410 ls-1 H2 2 450 ls-1 N2

A Conector eléctricoB Orificio de salidaC Orificio de purga (versión C solamente)

Brida de entrada ISO160K / DN160CFOrificio de salida KF 25Orificio de purga KF10 (versión C solamente)Velocidad de bombeo

N2 450 l s-1

H2 410 l s-1


H2 >2 x 104

Presión final con calentamiento de desecado en el orden de 10-6 (en el orden de 10-8) Pa (Torr)

Presión máxima de entrada permitida 6,7 x 10-2 (5 x 10-4) Pa (Torr)Presión máxima de refuerzo permitida 13 (0,1) Pa (Torr)Velocidad nominal 48000 rpmTiempo de arranque 3 min.Posición de montaje VerticalFlujo de gas de purga recomendado 10 (1,7 x 10-2) sccm Tensión de entrada 100 a 120 V c.a. (±10%) ó

200 a 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía típico 0,55 kVAPeso


-31010 1

-5 10 -4 10

l s-1

10 2

310

10 4

10 -2 10 -1

10 -7 10 -6 10 -5 -310 -4 10

Pa

Torr

STP-L451(C)

1

2


4PÁGINA

18

Controlador




STP-L451

ISO160K B75800100

DN160CF B75801110

STP-L451C

ISO160K B75800040

DN160CF PT47AZ020

Controlador

100-120 V 50/60 Hz PT21Z0Z00

200-240 V 50/60 Hz PT21Z0Z04

Cables de conexión

3 m B70700010

5 m B70700000

12 m PT21Y0B08

Cables de energía





Opciones




ISO160 B58049000

DN160CF B70652040

315

200

140

209.7

122.5

132.5


4PÁGINA

19

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Las bombas STP603 y STP603C resistentes a la corrosión de BOC Edwards son nuevas bombas turbomoleculares para usarse en las aplicaciones de fabricación de semiconductores más avanzadas. La tecnología de rotor de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. Ambas bombas fueron aprobadas para ser usadas por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes (versión C)• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidor

DATOS TÉCNICOS

1 650 l s-1 N2 2 600 l s-1 He 3 550 l s-1 H2


Brida de entrada ISO160F / DN160CFOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 (versión C solamente)Velocidad de bombeo

N2 650 l s-1

H2 550 l s-1


H2 >105

Presión final con calentamiento de desecadoBrida de entrada ISO en el orden de 10-7 (en el orden de

10-9) Pa (Torr)Brida de entrada CF (no la versión C) en el orden de 10-8 (en el orden de

10-10) Pa (Torr)Brida de entrada CF (versión C solamente) 6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)

Presión máxima de salida continua1 13 (0,1) Pa (Torr)Velocidad nominal 35000 rpm

Tiempo de arranque 6 min.Temperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 100 a 120 V c.a. (±10%) ó

200 a 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía (continua) 0,8 kVAPeso


1 Enfriada por agua


4PÁGINA

20

Conector tipo L

A Ranura de polarizaciónB Orificio de salidaC Buje de polarización

Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

200

315

400

140

210

122.5132.5




STP603

ISO160F B72102010

DN160CF PT390Z005

STP603C

ISO160F B72102020

DN160CF PT39AZ002

Controlador

100 V-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C PT56Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75130050

5 m B75130020

10 m B75130060

Cables de energía

Terminal en anillo 5 m PT46Y0A01


Opción




4PÁGINA

21

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PE


Las bombas STP1003 y STP1003C resistente a la corrosión de BOC Edwards son nuevas bombas turbomoleculares para usarse en las aplicaciones de fabricación de semiconductores más avanzadas. La tecnología de rotor de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. Ambas bombas fueron aprobadas para ser usadas por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes (versión C)• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidor

DATOS TÉCNICOS

1 1000 l s-1 N2 2 900 l s-1 He 3 800 l s-1 H2


Brida de entrada ISO200F / DN200CFOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 (versión C solamente)Velocidad de bombeo

N2 1000 l s-1

H2 800 l s-1


H2 >105

Presión final con calentamiento de desecadoBrida de entrada ISO en el orden de 10-7 (10-9) Pa (Torr)Brida de entrada CF (no la versión C) en el orden de 10-8 (10-10) Pa (Torr)Brida de entrada CF (versión C solamente)

6,5 x 10-6 (5 x 10-8) Pa (Torr)

Presión máxima de salida continua1 13 (0,1) Pa (Torr)Velocidad nominal 35000 rpmTiempo de arranque 6 min.Temperatura máxima de la brida de entrada 120 ºC

Tensión de entrada 100 a 120 V c.a. (±10%) ó 200 a 240 V c.a. (±10%)

Consumo de energía (continua) 0,8 kVAPeso


1 Enfriada por agua

2 Con agua de enfriamiento, para desecado

Ø260

ISO200F

30˚�

297�

147.

5�


4PÁGINA

22

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

200

315

400

140

210

122.5132.5




STP1003

ISO200F PT390Z001

DN200CF B72101040

STP1003C

ISO200F B72101030

DN200CF PT39AZ003

Controlador

100 V-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C PT56Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75130050

5 m B75130020

10 m B75130060

Cables de energía



Opciones




ISO200 B58061000


4PÁGINA

23

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BOMBA TURBOMOLECULAR DE ALTO RENDIMIENTO STPH301C

La bomba turbomolecular de alto rendimiento STPH301C de BOC Edwards fue diseñada para usarse en las aplicaciones de fabricación de semiconductores más exigentes. La confiabilidad de la bomba y el desempeño único en su tipo comprobados en el campo, ofrecen una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STPH301C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Mayor rendimiento de gas• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidorSistema de suspensión magnética de cinco ejes• Cero contaminación• Bajo mantenimiento• Funcionamiento en cualquier orientación

DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 He 4 H2

A Conector eléctrico D Salida del agua de enfriamientoB Orificio de salida E Entrada del agua de enfriamientoC Orificio de purga

Brida de entrada ISO100K / DN100CFOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 300 l s-1

H2 200 l s-1


H2 103

Presión final con calentamiento de desecado en el orden de 10-7 (10-9) Pa (Torr)Presión máxima de salida continua1 660 (5) Pa (Torr)Máximo rendimiento de nitrógeno1 2500 sccmVelocidad nominal 48000 rpm


200 a 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía 0,6 kVAPesoBomba 15 kgControlador 9 kg

1 Enfriada por agua

40

40

Ø130

Ø156

Ø180

211

255.

5

12ISO100K

197

211

257

45

45

35 34

171

Ø�160

115

111

A

D

EC

B

8 x M8 x 20


4PÁGINA

24

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

200

315

400

140

210

122.5132.5




STPH301C

ISO100K - entrada B71901010


Controlador

100-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C PT56Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75130050

5 m B75130020

10 m B75130060

Cables de energía



El sistema TMS está disponible para este modelo. Para una instalación completa, solicite una bomba STP (TMS), un controlador, un conjunto de cables de conexión TMS, un cable de conexión y un cable de energía.

STPH301CV (TMS)

ISO100F PT3416001

DN100CF PT3416005

Conjunto del cable de conexión TMS

5 m PT330V000

10 m PT330V001

15 m PT330V002


4PÁGINA

25

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PE

BOMBA TURBOMOLECULAR DE ALTO RENDIMIENTO STPH451C

La bomba turbomolecular de alto rendimiento STPH451C de BOC Edwards fue diseñada para usarse en las aplicaciones de fabricación de semiconductores más exigentes. La comprobada confiabilidad de la bomba y el desempeño único en su tipo, ofrecen una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STP451C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Mayor rendimiento de gas• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidorSistema de suspensión magnética de cinco ejes• Cero contaminación• Bajo mantenimiento• Funcionamiento en cualquier orientación

DATOS TÉCNICOS


Brida de entrada ISO160K / DN160CFOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 450 l s-1

H2 300 l s-1


H2 103



200 a 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía 0,6 kVAPeso


1 Enfriada por agua

40

40

Ø180

Ø156

Ø180

188

227.

5

12

ISO160K

172

188

231.

5

45

45

35 34

171

Ø�160

115

110.

7

A

D

E

C

B

8 x M8 X 20


4PÁGINA

26

1 Ar 2 N2 3 He 4 H2

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

200

315

400

140

210

122.5132.5




STPH451C

ISO160K - entrada B71901001


Controlador

100-120 V/200-240 V 50/60 Hz RS232C PT56Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75130050

5 m B75130020

10 m B75130060

Cables de energía




STPH451CV (TMS)

ISO160F PT3416007

DN160CF PT3416006


5 m PT330V000

10 m PT330V001

15 m PT330V002


4PÁGINA

27

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PE

BOMBA TURBOMOLECULAR STPA803C "ADVANTAGE"

La bomba STPA803C de BOC Edwards es una nueva bomba turbomolecular diseñada para usarse en aplicaciones de fabricación de semiconductores. La tecnología de rotor avanzada de BOC Edwards brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STPA803C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidor

DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 H2

A Conector eléctricoB Orificio de salida C Orificio de purga

Brida de entrada ISO160F / DN160CFOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 800 l s-1

H2 520 l s-1


H2 103

Presión final con calentamiento de desecado 10-7 (10-9) Pa (Torr)Presión máxima de salida continua1 270 (2) Pa (Torr)Máximo rendimiento de nitrógeno1 1500 sccmVelocidad nominal 32500 rpm

Tiempo de arranque 7 min.Temperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 200 – 240 V (±10%)Consumo de energía (continua) 0,85 kVA

PesoBomba 39 kgControlador 9 kg

1Enfriada por agua


4PÁGINA

28

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

200

315

400

140

210

122.5132.5




STPA803C

ISO160F - entrada B71801000


Controlador

200-240 V 50 Hz/60 Hz con RS232C PT56Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75130050

5 m B75130020

10 m B75130060

Cables de energía




STPA803CV (TMS)

ISO160F PT3626000

DN160CF PT3626003


5 m PT330V000

10 m PT330V001

15 m PT330V002


4PÁGINA

29

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La bomba STPA1303C de BOC Edwards es una nueva bomba turbomolecular diseñada para usarse en aplicaciones de fabricación de semiconductores. La tecnología de rotor avanzada brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. La bomba STPA1303C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Mayor rendimiento de gas• Flexibilidad optimizada del proceso• Libre de aceite • Bajo nivel de vibración• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilDiseño avanzado del controlador• Sintonización automática• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin bateríasDiseño compacto• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidor

DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 H2

A Conector eléctricoB Orificio de salidaC Orificio de purga


N2 1300 l s-1

H2 800 l s-1


H2 103


Tiempo de arranque 7 min.Temperatura máxima de la brida de entrada 120 ºCTensión de entrada 200 – 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía (continua) 0,85 kVAPeso


1 Enfriada por agua


4PÁGINA

30

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

200

315

400

140

210

122.5132.5




STPA1303C



Controlador

200-240 V 50/60 Hz RS232C PT56Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75130050

5 m B75130020

10 m B75130060

Cable de energía




STPA1303CV (TMS)

ISO200F PT3626005

DN2000CF PT3626004


5 m PT330V000

10 m PT330V001

15 m PT330V002


4PÁGINA

31

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UC

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AS

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DE

ES

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PE

BOMBA TURBOMOLECULAR STPA1603C

La pequeña y potente bomba turbomolecular STPA1603C de BOC Edwards fue diseñada utilizando la tecnología avanzada de rotor de BOC Edwards. Esto brinda un alto rendimiento, máxima confiabilidad y desempeño único en su tipo, exigidos por la última generación de los procesos de fabricación de semiconductores. Su diseño compacto y controlador de medio bastidor ofrecen un considerable ahorro de espacio, mientras que el sistema avanzado de reducción de deposiciones brinda una mayor confiabilidad y desempeño. La bomba STPA1603C ha sido aprobada para las más modernas herramientas de grabado de 200 mm, así como para la nueva generación de procesos de grabado con óxido de 300 mm.

Características y ventajasDiseño avanzado del rotor• Mejor desempeño• Mayor rendimiento de gas• Alta confiabilidad• Libre de mantenimiento• Compatible con procesos exigentesSistema de suspensión magnética de cinco ejes• Cero contaminación• Bajo nivel de vibraciónResistencia a la corrosión• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilConstrucción compacta• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidorDiseño avanzado del controlador• Sin necesidad de sintonización• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin baterías

DATOS TÉCNICOS

1 N2 2 Ar 3 He 4 H2


Brida de entrada ISO200F / DN200CFOrificio de salida KF40Orificio de purga KF16Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 1600 l s-1

H2 1200 l s-1


H2 >7 x 103

Presión final con calentamiento de desecado 10-7 PaPresión máxima de refuerzo permitida 266 (2,0) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 2500 sccm

Velocidad nominal 36500 rpmTiempo de arranque 7 min.Posición de montaje CualquieraEnfriamiento de agua

Flujo 2 l min-1

Temperatura 5 – 25 ºCPresión 3 kgf / cm-2

Flujo de gas de purga recomendado 20 sccmTensión de entrada 200 – 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía típico 0,85 kVAPeso


307.

5

320 27

6.5

262

16

35

268.

5

Ø270

Ø210

Ø237

Ø285ISO200F

180

A

D

30û�

147.

5

8 x M2 x 20

147

B

E

C

35

30û�

û�

Ø260

12 x Ø11

15


4PÁGINA

32

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

200

315

400

140

210

122.5132.5




STPA1603C

ISO200F B75100010

DN200CF B75100100

Controlador

200-240 V 50/60 Hz RS232C PT56Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75130050

5 m B75130020

10 m B75130060

Cable de energía




STPA1603CV (TMS)

ISO200F PT4616004

DN2000CF PT4616005


5 m PT461V000

10 m PT461V001

15 m PT461V002


4PÁGINA

33

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE


La bomba STPA2203C de BOC Edwards es una nueva bomba turbomolecular diseñada para usarse en aplicaciones de fabricación de semiconductores. La tecnología de rotor avanzada brinda un desempeño único en su tipo para lograr una máxima flexibilidad del proceso. Un nuevo controlador de medio bastidor ofrece un ahorro adicional de espacio e incorpora la tecnología de accionamiento de c.c. para que funcione sin necesidad de batería. La bomba STPA2203C fue aprobada para ser usada por los principales fabricantes de equipos de grabado, implante de iones y deposición en las industrias de semiconductores y medios magnéticos.

Características y ventajasTecnología de rotor avanzada• Mayor rendimiento de gas• Flexibilidad optimizada del procesoSistema de suspensión magnética de cinco ejes• Cero contaminación• Bajo mantenimientoResistencia a la corrosión• Compatible con procesos exigentes• Mayor vida útilConstrucción compacta• Tamaño pequeño• Controlador de medio bastidorDiseño avanzado del controlador• Sin necesidad de sintonización• Funciones de autodiagnóstico• Accionamiento del motor de c.c.• Funcionamiento sin baterías

DATOS TÉCNICOS

A Conector eléctrico D Salida del agua de enfriamientoB Orificio de salida E Entrada del agua de enfriamientoC Orificio de purga F Conector del sensor de temperatura

Brida de entrada ISO250F / ICF305Orificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 2200 l s-1

H2 1700 l s-1


H2 2,5 x 104

Presión final en el orden de 10-6 (10-8) Pa (Torr)Presión máxima de refuerzo permitida 400 (3) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 1500 sccmVelocidad nominal 27000 rpmTiempo de arranque 7 min.

Posición de montaje CualquieraEnfriamiento de agua

Flujo 2 l min-1

Temperatura 5 – 25 ºCPresión 2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm

Flujo de gas de purga recomendado 20 (3,4 x 10-2) sccmTensión de entrada 200 – 240 V c.a. (±10%)Consumo de energía típico 1,5 kVAPeso



4PÁGINA

34

1 Ar 2 N2 3 He 4 H2

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

500

200

150

209.7

122.5

132.5




STPA2203C

ISO250F PT4V0Z002

DN250CF PT4V0Z003

Controlador

200-240 V 50/60 Hz RS232C PT41Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75030030

5 m B75030010

10 m B75030040

Cables de energía




STPA2203CV (TMS)

ISO250F PT4V66001

DN250CF PT4V66002


5 m PT351V000

10 m PT351V001

15 m PT351V002


4PÁGINA

35

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE

TURBOBOMBA STPA2503C

La nueva turbobomba STPA2503C de BOC Edwards fue diseñada para manejar los altos flujos de gas requeridos por la próxima generación de procesos de fabricación de semiconductores y grabado de película delgada. El diseño mejorado del rotor, el controlador de medio bastidor y el funcionamiento por accionamiento de c.c. sin necesidad de baterías brindan un considerable ahorro de espacio y desempeño único en su tipo. La bomba STPA2503C ha sido aprobada para usarse en los principales procesos de poligrabado y grabado en metal de 300 mm.


DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 H2



N2 2500 l s-1

H2 1600 l s-1


H2 6 x 103

Presión final 10-6 PaPresión máxima de refuerzo permitida 333 (2,5) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 1800 sccmVelocidad nominal 27000 rpm

Tiempo de arranque 9 min.Posición de montaje CualquieraEnfriamiento de agua

Flujo 2 l min-1

Temperatura 5 – 25 ºCPresión 2,9 x 105 Pa 3 kgf/cm-2



Ø28470

20

D

226

A

E

45˚�

222

185

8 x M16 x 24

172

35˚�B

C

187

Ø335

Ø333

Ø350

352.

5

383

15

308

348 31

481

ISO250F

Ø310

12 x Ø11

15˚�

30˚�

20˚�17.5˚�

Ø240

Ø216


4PÁGINA

36

A Conector eléctrico C Orificio de purgaB Orificio de salida E Orificio del agua de enfriamiento

Conector tipo L


Controlador

Ø335

Ø333

Ø350

352.

5

389.

5

15

348 31

481

ISO250F

Ø310

12 x Ø11

15˚�

30˚�

Ø240

Ø172

A

D

45˚� 35˚�

20˚�

70

17.5˚�

B

C

187

172

222

Ø284

308

8 x M16 x 24

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C




STPA2503C

ISO250F - entrada PT43GZ001

DN250CF - entrada PT43GZ040

Controlador

200-240 V 50/60 Hz RS232C PT43Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75030030

5 m B75030010

10 m B75030040

Cables de energía




STPA2503CV (TMS)

ISO250F PT4396003

DN250CF PT4396010


5 m PT351V000

10 m PT351V001

15 m PT351V002

500

200

150

209.7

122.5

132.5


4PÁGINA

37

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE




DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 He 4 H2


Brida de entrada ISO320F / DN320CF Orificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 3000 l s-1

H2 1800 l s-1


H2 6 x 103

Presión final con calentamiento de desecado 10-6 PaPresión máxima de refuerzo permitida 333 (2,5) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 1800 sccmVelocidad nominal 27000 rpm


Flujo 2 l min-1




Ø395

12 x Ø14

Ø240

Ø216

Ø425

15˚

30˚

Ø333

Ø350

360 32

7.5

285.

5

ISO320F

289

81

20

323

Ø28470

20

D

226

A

E

45˚

222

185

172

35˚B

187

C

20˚17.5˚

8 x M16 x 24


4PÁGINA

38


Conector tipo L


Controlador

Ø395

12 x Ø14

Ø240

Ø172

Ø425

15˚

30˚

Ø333

Ø350

364.

5

327.

5 283

ISO320F

289

81

20

323

A

D

45˚ 35˚

20˚

70

17.5˚

B

C

187

172

222

Ø284

8 x M16 x 24

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C




STPA3003C


DN320CF - entrada PT43GZ030

Controlador

200-240 V 50/60 Hz con RS232C PT43Z0Z01

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75030030

5 m B75030010

10 m B75030040

Cables de energía




STPA3003CV (TMS)

ISO320F PT4396000

DN320CF PT4396020


5 m PT351V000

10 m PT351V001

15 m PT351V002

500

200

150

209.7

122.5

132.5


4PÁGINA

39

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE




DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 H2

A Orificio de agua de enfriamiento C Orificio de salidaB Conector del cable STP D Orificio de purga

Brida de entrada ISO320F / DN320CF Orificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 3500 l s-1

H2 1600 l s-1


H2 3 x 103

Presión final con calentamiento de desecado 10-6 PaPresión máxima de refuerzo permitida 266 (2) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 2200 sccmVelocidad nominal 25500 rpm


Flujo 2 l min-1




0

0

15°

30°

45°

A

B

C

D35°

20° 17.5°

12 x Ø14

Ø425

Ø367.5

Ø390

Ø254

Ø254

70 70

8 x M16 x 24

ISO320F

8 x M16 x 32

Ø395

2032

7.5 20

4.5

323 28

090

62.5

364.

526

0.5

238.

5

187

NUEVA


4PÁGINA

40

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

500

200

150

209.7

122.5

132.5




STPA3503C

ISO320F - entrada PT480Z003


Controlador

200-240 V 50Hz/60Hz con RS232C B75206220

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75030030

5 m B75030010

10 m B75030040

Cables de energía




STPA3503CV (TMS)

ISO320F PT4866001


5 m PT351V000

10 m PT351V001

15 m PT351V002

NUEVA


4PÁGINA

41

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE

TURBOBOMBA STPF2203C

La nueva turbobomba STPF2203C de BOC Edwards fue diseñada para manejar los altos flujos de gas requeridos por la próxima generación de procesos de fabricación de semiconductores y grabado de película delgada. El diseño mejorado del rotor, el controlador de medio bastidor y el funcionamiento por accionamiento de c.c. sin necesidad de baterías brindan un considerable ahorro de espacio y desempeño único en su tipo. La bomba STPF2203C ha sido aprobada para usarse en los principales procesos dieléctricos de 300 mm.


DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 H2

A Conector del cable STPB Orificio de salidaC Orificio de purga

Brida de entrada VG250 / ISO250F / DN250CFOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 2200 l s-1

H2 1200 l s-1


H2 >103

Presión final con calentamiento de desecado 10-6 PaPresión máxima de refuerzo permitida 500 (4) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 6000 sccmVelocidad nominal 27000 rpm


Flujo 2 l min-1




0

0

295

176

2018

372

138

231

341

376

414

431

Ø341

Ø32015°

30°

12 x Ø15

Ø235

170A

B

C

154

45° 45°

90°

20°

20°

22.5°

Ø296

NUEVA


4PÁGINA

42

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

500

200

150

209.7

122.5

132.5




STPF2203C

VG250 - entrada PT50-0Z-002

ISO250F - entrada A solicitud

DN250CF - entrada A solicitud

Controlador

200-240 V 50Hz/60Hz con RS232C PT50Z0Z00

Cables de conexión

Conector directo

3 m B75030030

5 m B75030010

10 m B75030040

Cables de energía



NUEVA


4PÁGINA

43

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE

TURBOBOMBA STPXH2603C

La nueva turbobomba STPXH2603C de BOC Edwards fue diseñada especialmente para las aplicaciones que requieren un buen rendimiento de bombeo de gases livianos. Esta bomba alcanzó un desempeño 50% mejor en el flujo de gas y en la velocidad de bombeo de H2 en comparación con otras bombas de igual tamaño. Su excelente desempeño es idealmente adecuado para procesos iniciales como HDP CVD o Low k Etch. La bomba STPXH2603C ha sido aprobada para usarse en los principales procesos HDP CVD.


DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 H2

A Cubierta del calentador TMS D Orificio de salidaB Calentador TMS E Orificio de purgaC Sensor TMS F Orificio del agua de enfriamiento

Brida de entrada ISO250FOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 2300 l s-1

H2 2600 l s-1


H2 3 x 104

Presión final con calentamiento de desecado 10-7 PaPresión máxima de refuerzo permitida 333 (2,5) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 1800 sccmVelocidad nominal 28000 rpmTiempo de arranque 9 min.Posición de montaje CualquieraEnfriamiento de agua

Flujo 2 l min-1




0

0

440

187

187

Ø2

35

248

365

373

15

395

4536

3 306

Ø287

Ø350

Ø326

D E

F

8 x M16 x 24

45° 55°20°20°

22.5°

22.5°

22.5° 22.5°

AB

4 x M16 x 33

C

ØA

INLET PORT FLANGEØA

VG250350

ISO250F335

NUEVA


4PÁGINA

44

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

500

200

150

209.7

122.5

132.5




STPXH2603C


Controlador


Cables de conexión

Conector directo

3 m B75030030

5 m B75030010

10 m B75030040

Cables de energía



NUEVA


4PÁGINA

45

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE

TURBOBOMBA STPXH3203C

La nueva turbobomba STPXH3203C de BOC Edwards fue diseñada especialmente para las aplicaciones que requieren un buen rendimiento de bombeo de gases livianos. Esta bomba alcanzó un desempeño 50% mejor en el flujo de gas y en la velocidad de bombeo de H2 en comparación con otras bombas de igual tamaño. Su excelente desempeño es idealmente adecuado para procesos iniciales como HDP CVD o Low k Etch. La bomba STPXH3203C ha sido aprobada para usarse en los principales procesos HDP CVD.


DATOS TÉCNICOS

1 Ar 2 N2 3 H2

A Cubierta del calentador TMS D Orificio de salidaB Calentador TMS E Orificio de purgaC Sensor TMS F Orificio del agua de enfriamiento

Brida de entrada ISO320FOrificio de salida KF40Orificio de purga KF10 Accesorio de enfriamiento de agua PT1/4Velocidad de bombeo

N2 3150 l s-1

H2 2900 l s-1


H2 3 x 104

Presión final con calentamiento de desecado 10-7 PaPresión máxima de refuerzo permitida 333 (2,5) Pa (Torr)Rendimiento máximo de nitrógeno 1800 sccmVelocidad nominal 28000 rpmTiempo de arranque 9 min.Posición de montaje CualquieraEnfriamiento de agua

Flujo 2 l min-1




0

0

*C

187

187

Ø2

35

*G*H *I

*B

*D45

*E*F

Ø350

Ø326

D E

F

8 x M16 x 24

45° 55°20°20°

22.5°

22.5°

22.5° 22.5°

AB

4 x M16 x33

C

ØA

INLET PORT FLANGEØA

VG300400

ISO320F420

*B 18 20*C 410 415*D 365 370*E 333 338*F 276 281*G 218 223*H 335 440*I 343 348

NUEVA


4PÁGINA

46

Conector tipo L


Controlador

C

C

B

A

C

180� 270�

0�

90�

C

500

200

150

209.7

122.5

132.5




STPXH3203C


Controlador


Cables de conexión

Conector directo

3 m B75030030

5 m B75030010

10 m B75030040

Cables de energía



NUEVA


4PÁGINA

47

BO

MB

AS

PA

RA

LA

FA

BR

ICA

CIÓ

N D

E S

EM

ICO

ND

UC

TO

RE

S

Y G

ES

TIÓ

N D

E G

AS

ES

DE

ES

CA

PE

UNIDAD DE CONTROL SCU750

La nueva unidad de control de la turbobomba SCU750 de BOC Edwards es un controlador totalmente digital que cuenta con una perfecta compatibilidad con las bombas de tamaño mediano. La nueva tecnología AVR (reducción automática de vibración) ofrece una mayor reducción de los niveles de vibración. Además, la función avanzada de aviso de mantenimiento preventivo indica por adelantado el momento preciso en el que se debe realizar el servicio de mantenimiento.El diseño basado en la confiabilidad, la función de comunicaciones actualizada y una perfecta compatibilidad, se traducen en considerables ahorros en las unidades de reserva y también contribuye a lograr una reducción en el costo de mantenimiento total.

Características y ventajasControlador universal• Un solo controlador se utiliza para las bombas de tamaño mediano. No se

requieren controladores diferentes para cada tipo de bomba• Disminución de los repuestos de reserva para el servicio de

mantenimientoFunción avanzada de mantenimiento preventivo• AVR (reducción automática de vibración) disminuye al mínimo la

vibración del sistema rotativo durante la aceleración.• ABS (sistema de balanceo automático)Óptima confiabilidad• Cumple con las normas internacionales de seguridad• CE/UL/SEMI S2Puerto de comunicaciones estándar• Los puertos de comunicaciones RS232/RS485 están equipados como

estándar• Los puertos de comunicaciones dobles permiten la conexión simultánea a

la interfaz de control remota y al sistema de monitoreo FabWorks de BOC Edwards.

Modelos aplicables• Serie STP603/1003• Serie STPH301/H451• Serie STPH803/H1303• Serie STPA803C/A1303• Serie STPA1603

DATOS TÉCNICOS

Sistema de control de cojinetes magnéticos Control digitalTensión de entrada

AC100 100 – 120 ± 10% V c.a.AC200 200 – 240 ± 10% V c.a.

Consumo de energíaSin TMS Máx. 850 VACon TMS Máx. 1200 VA

Frecuencia de entrada Hz 50/60±2 HzCorriente de fuga Máx. 3,5 mACorriente nominal del disyuntor principal 10 ASistema de accionamiento del motor Accionamiento del motor de CC

trifásico sin escobillasTemperatura ambiente permisible 0 – 40 °CTemperatura de almacenamiento -25 – 55 °CMasa 8,5 kgUnidad de control TMS IncorporadaFunción de comunicaciones serial

RS232 EstándarRS485 Estándar

Visor del panel LCD (20 caracteres, 2 líneas)



Serie STP603/1003, serie STPH301/H451, serie STPA803/A1303 y serie STPA1603.

SCU750

100-120 V/200-240 V RS232C PT56Z0Z00

110.

5

110

400

315

85

230

341.

6

122.

5

132.

5

55

136

14.5

1111

200

150

209.7

14034.8 34.8 4 x Ø3.6

29.815029.8

2525100 100

4.84.8

NUEVA


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48

ACCESORIOSAccesorios

AISLADOR DE VIBRACIÓN DE ENTRADA

Puede instalarse en aquellas aplicaciones donde se requiera un nivel de vibración inferior a 0,02 µm pico a pico.



Aislador de vibración de entrada (se adapta al tamaño de la brida de entrada)

Disponible en los modelos serie STP301, serie STP451, serie STP603, serie STP1003.

ISO100 B58046000

DN100CF 6 pulg. CF B74834010

ISO160 B58049000

DN160CF 8 pulg. CF B70652040

ISO200 B58061000


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DE

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CONJUNTOS PARA TRANSPORTE

Los conjuntos para transporte están disponibles para proteger a las bombas que se retiran de las cámaras de procesos para su mantenimiento o reparación. Estos conjuntos permiten que la bomba se purgue y selle de acuerdo con las recomendaciones del fabricante y, además, protegen a la bomba durante su almacenamiento y transporte. Estos conjuntos están disponibles para la familia completa de bombas turbomoleculares de BOC Edwards.


BRIDA DE ENTRADA BRIDA DE SALIDA ORIFICIO DE PURGA ADECUADO PARA USARSE CON BOMBAS NÚMERO DE PEDIDO

ISO100K NW25 N/D STP200, STP300, STP300H, STP301, STPH200 B70615000

ISO100F NW25 N/D STP200, STP300, STP301, STPH200 B70615001

DN100CF NW25 N/D STP200, STP300, STP301, STPH200 B70615002

VG100 NW25 N/D STP200, STP300, STP301, STPH200 B70615003

ISO100K NW25 NW10 STP300C, STP301C, STPH200C B70615004

ISO100F NW25 NW10 STP300C, STP301C, STP200C B70615005

DN100CF NW25 NW10 STP300C, STP301C, STPH200C B70615006

VG100 NW25 NW10 STP300C, STP301C, STPH200C B70615007

ISO100K NW40 NW10 STP301CVB, STP301CVB3, STPH301C B70615008

ISO100F NW40 NW10 STP301CVB, STP301CVB3, STPH301C B70615009

DN100CF NW40 NW10 STP301CVB, STP301CVB3, STPH301C B70615010

VG100 NW40 NW10 STP301CVB, STP301CVB3, STPH301C B70615011

ISO160K NW25 N/D STPH300, STP400, STP451 B70615012

ISO160F NW25 N/D STPH300, STP400, STP451 B70615013

DN160CF NW25 N/D STPH300, STP400, STP451 B70615014

VG160 NW25 N/D STPH300, STP400, STP451 B70615015

ISO160K NW25 NW10 STPH300C, STP400C, STP451C B70615016

ISO160F NW25 NW10 STPH300C, STP400C, STP451C B70615017

DN160CF NW25 NW10 STPH300C, STP400C, STP451C B70615018

VG160 NW25 NW10 STPH300C, STP400C, STP451C B70615019

ISO160K NW40 NW10 STPH451C, STP600C, STP603C, STPH600C, STPH803C, STPA803C B70615020

ISO160F NW40 NW10 STPH451C, STP600C, STP603C, STPH600C, STPH803C, STPA803C B70615021

DN160F NW40 NW10 STPH451C, STP600C, STP603C, STPH600C, STPH803C, STPA803C B70615022

VG160 NW40 NW10 STPH451C, STP600C, STP603C, STPH600C, STPH803C, STPA803C B70615023

ISO200K NW40 N/D STP1000, STP1003 B70615024

ISO200F NW40 N/D STP1000, STP1003 B70615025

ASA 6" NW40 N/D STP1000, STP1003 B70615026

DN200CF NW40 N/D STP1000, STP1003 B70615027

VG200 NW40 N/D STP1000, STP1003 B70615028

ISO200K NW40 NW10 STP1000C, STP1003C, STPH1000C B70615029

ISO200F NW40 NW10 STP1000C, STP1003C, STPH1000C, STPH751E, STPH1301L(1)(B), STPH1303C, STPH1303CV2, STPA1303C

B70615030

ASA 6" NW40 NW10 STPH1000C B70615031

DN200CF NW40 NW10 STP1000C, STP1003C, STPH1000C B70615032

VG200 NW40 NW10 STP1000C, STP1003C, STPH1000C, STPH1303C, STPA1303C B70615033

ISO250F NW40 NW10 STP2001, STPH1000C, STPH2000C, STP2001C, STPH2001C, STPH2002C, STPA2002C, STPA2203CV

B70615034

ISO250F NW40 STPA2203PV B70615035

VG250 NW40 NW10 STP2001, STPH200OC, STP2001C, STPH2001C, STPH2002C, STPA2002C, STPA2203C B70615036


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50

BOMBAS SECAS Y ACCESORIOS iH, iF, iL, L, IPX Y EPX

Esta es una nueva familia de bombas secas para la industria de semiconductores.

BOMBAS SECAS iH

Las bombas iH ofrecen una gran confiabilidad además de un bajo costo de mantenimiento para procesos difíciles tales como el grabado, PECVD y LPCVD utilizados en la fabricación de plaquetas de silicio y pantallas planas.

Características y ventajas• Mecanismo de la bomba robusto, para trabajos exigentes, optimizado para

partículas y productos derivados.• Alta temperatura de operación que evita la condensación• Diseño compacto y eficiente de tamaño pequeño y alta velocidad de

bombeo• Bajo costo de mantenimiento• Cumple con las normas CE, SEMI S2 y UL

iH1800 y iH160

Las bombas iH1800 y iH160 se han agregado a la familia de bombas secas iH para cumplir con los requerimientos de bombeo de alta velocidad de flujo para los procesos de fabricación de semiconductores y pantallas planas de 300 mm, ofreciendo velocidades pico de 1800 m3h-1 y 160 m3h-1 respectivamente. Al igual que otras bombas iH de esta familia de productos, estas nuevas adiciones ofrecen una alta confiabilidad comprobada y un bajo costo de mantenimiento para procesos difíciles tales como el grabado, PECVD y LPCVD, en los que se encuentran presentes partículas y productos derivados condensables y corrosivos.

BOMBA SECA iF1800La bomba iF1800 es la solución óptima para los exigentes requerimientos de evacuación de bloqueo de carga de las herramientas de los procesos de fabricación de pantallas planas.Sobre la base de la calidad y confiabilidad comprobadas de los productos de BOC Edwards, la bomba iF1800 ofrece un mejor desempeño de bombeo, la capacidad de lograr tiempos del ciclo de bloqueo de carga más cortos y un mayor rendimiento de las herramientas.

Características y ventajas• Evacuación rápida del bloqueo de carga – ahorra segundos de vital

importancia• Alta confiabilidad en aplicaciones con ciclos de alta frecuencia• Interfaces disponibles para todas las herramientas del proceso

BOMBAS SECAS iLLa bomba iL fue especialmente diseñada para procesos limpios, a fin de brindar un bajo costo de mantenimiento y una excepcional confiabilidad, además de no requerir ningún tipo de mantenimiento periódico entre los intervalos de reacondicionamiento. Con su funcionamiento silencioso, tamaño pequeño y altas velocidades de bombeo, estas bombas son ideales para cámaras de bloqueo de carga, transferencia, PVD, SEM y tareas similares.Las variantes de las bombas iLN incluyen la purga de nitrógeno del sello del eje, y están diseñadas para aplicaciones de trabajos livianos, como por ejemplo el grabado dieléctrico.

Características y ventajas• Bajo costo de mantenimiento, sin nitrógeno (iL), baja potencia y bajo

consumo de agua de enfriamiento.• Diseño compacto y eficiente de tamaño pequeño y altas velocidades de

bombeo• Alta confiabilidad, que da como resultado bajos costos de mantenimiento• Cumple con las normas CE, SEMI S2 y UL


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DE

ES

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BOMBA SECA L70La L70 es una bomba seca simple, de bajo costo, específicamente diseñada para bloqueos de carga (loadlocks) limpios y aplicaciones similares.

Características y ventajas• Bajo costo de mantenimiento, sin nitrógeno, baja potencia y bajo consumo

de agua de enfriamiento• Control simple

BOMBAS iH E iL: INFORMACIÓN SOBRE APLICACIONES

Esta figura muestra el sistema integrado de reducción y bomba Zenith, con dosbombas iH.La nueva familia de bombas secas iH de BOC Edwards están específicamente diseñadas para los procesos de fabricación de semiconductores más exigentes. Para estas aplicaciones, bombas como la iH que funcionan a altas temperaturas constituyen una gran ventaja. Además, las bombas iH tienen una capacidad de manejo de partículas especialmente mejorada. Las bombas iH están diseñadas para brindar una larga vida útil y el uso altamente eficiente de ciertos servicios como el agua de enfriamiento, el nitrógeno y la energía. Con un tamaño bastante pequeño y velocidades de bombeo mejoradas para adecuarse a los procesos más modernos, constituyen la elección óptima para lograr un bajo costo de mantenimiento en aplicaciones exigentes.

Como complemento de la familia de bomba iH, está disponible la nueva serie de bombas iL, específicamente diseñadas para lograr el menor costo de mantenimiento en tareas limpias y de trabajos livianos. Las bombas iL comparten muchas características de diseño de la serie iH (vida útil de servicio especialmente prolongada), además de un diseño que optimiza el desempeño limpio con un consumo mínimo de servicios. Un novedoso diseño de sellos y eje permite su funcionamiento sin nitrógeno para estas tareas.Consulte la información que se indica en la siguiente tabla para seleccionar las bombas iH o iL para su aplicación. Esta tabla también indica las recomendaciones sobre las opciones de gestión de gases de escape.

Primera elección Segunda elección

TMS = Sistema de gestión de temperaturaGRC = Columna del reactor de gasTPU = Unidad de procesamiento térmico

PROCESO iH iLN iL GESTIÓN DEGASES DE ESCAPE

Nitruro LPCVD Trampa enfriada por agua y TMS y GRC

Otros LPCVD GRC o TPU

Nitruro PECVD TMS, GRC o TPU

Otros PECVD TMS, GRC o TPU

Grabadores

Metal TMS y GRC

Otros GRC

Implante de iones

Separadores y generadores de ceniza

Cámaras de transferencia (sucias)

Cámaras de transferencia (limpias)

Bloqueo de carga (loadlock)

PVD

Pulverización catódica

SEM


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52

BOMBAS SEAS iH80 E iH600

Bombas secas y accesoriosAccesorios y bombas secas iH, iF, iL, y L remotas

DATOS TÉCNICOS

1 Con purga de sello del eje solamente

2 A una caída de presión de 15 psi

1 60 Hz iH600 2 50 Hz iH600

1 60 Hz iH600 2 50 Hz iH600

1 60 Hz iH80 2 50 Hz iH80

1 60 Hz iH80 2 50 Hz iH80

iH80 iH60050 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-18651

10361

518305

600353

Vacío final1

mbarTorr

3 x 10-2

2,3 x 10-21 x 10-2

7,5 x 10-32 x 10-3

1,5 x 10-37 x 10-4

5,3 x 10-4

Flujo de nitrógeno de sello del eje típico (slm)

4 4

Flujo de agua de enfriamiento típico2

l h-1

l min-11202

2404

Entrada de potencia en el vacío (kW)

2,4 2,7 3,1 3,4

Potencia nominal del motor (kW)

2,9 3,5 5,1 6,1

Capacidad de aceite (l) 0,85 1,65Conexión de entrada ISO63 ISO100Conexión de salida NW40 NW40Peso (kg) 240 415

12

-41010 0

10 1

-1-2-310 10 10

mh

-13

10 2

10 3

210 1010 10 310

10 -2 10 -1 10 0 110 10 2 10 3 410 10 5

iH600

mbar

Pa

1010 -4 -310 10 -2 10 -1 1010 0 1 310 210 0

10 1

10 2

10 3

ftm

in3

-1

iH600

12

Torr

1010 -4 -310 10 -2 10 -1 1010 0 1 310 210 0

10 1

10 2

10 3

hm

-13 1

2

10 -2 10 -1 010 10 1 10 2 10 3 10 4 510

mbar

Pa

iH80

1010 -4 -310 10 -2 10 -1 1010 0 1 310 210 0

10 1

10 2

10 3

ftm

in3

-1

iH80

1

2

Torr


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DE

ES

CA

PE

iH600

1 Entrada 2 Salida 3 Orificio de extracción de aire

iH80


Para obtener información acerca de los accesorios iH, consulte la página 4-61.

390

(15.

35)

195

(7.6

8)

1

(2.6

8)

68

93

(3.66)

314 (12.36)

48(1

.89)

792 (31.18)

3

925 (36.42)

661 (26.02)

231

0 (1

2.21

)

210

(8.27)

820

(32.

28)

631 (24.84)

1

663 (26.10)

2

839

(33.

03)

31

2

(3.7

4)95

(5.28)134

19539

0 (1

5.35

)

(7.6

8)

2

1

723 (28.47)141

68 (

2.68

)

529

(20.

83)

84 661 (26.02)

310

(12.

21)

526

(20.

71)

781 (30.75)

(5.55)

916 (36.06)

(3.31)

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSLas bombas iH constan de: una bomba seca de 5 etapas totalmente cerrada con motor enfriado por agua, control del sistema eléctrico y sensor, sistema de gas, dispositivo de enlaces de control y comunicaciones para accesorios y herramientas de procesos, además de una terminal de visualización de la bomba. El modelo iH600 también cuenta con una bomba mecánica Roots de accionamiento directo.


iH80 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53350945

230 V 60 Hz A53350957

380/415 V 50 Hz A53350946

460 V 60 Hz A53350908

iH600 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53351945

230 V 60 Hz A53351957

380/415 V 50 Hz A53351946

460 V 60 Hz A53351908


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54

BOMBA SECA iH1000



1 60 Hz 2 50 Hz

1 60 Hz 2 50 Hz

1 Entrada 2 Salida 3 Orificio de extracción de aire 4 Inversor

Para obtener información acerca de los accesorios iH, consulte la página 4-61.

Flujo de nitrógeno de sello del eje típico 4 slmConexión de entrada ISO100Conexión de salida NW40Flujo de agua de enfriamiento típico2

l h-1 240l min-1 4

Capacidad de aceite 1,65 lPeso 420 kg

50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-1950560

1000589

Vacío final1mbarTorr

2,0 x 10-3

1,5 x 10-31,0 x 10-3

7,5 x 10-4


3,5 3,8

Potencia nominal del motor (kW) 5,1 6,1

1

-41010 0

10 1

-1-2-310 10 10

hm

-13

10 2

10 3

210 1010 10 310

2

10-210 -1 10 0 10110 2 10 3 10410 5

mbar

Pa

iH1000

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSLas bombas iH1000 constan de: una bomba seca de 5 etapas totalmente cerrada con motor enfriado por agua, bomba mecánica Roots de accionamiento directo, control del sistema eléctrico y sensor, sistema de gas, dispositivo de enlaces de control y comunicaciones para accesorios y herramientas de procesos, además de una terminal de visualización de la bomba.


iH1000 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53352945

230 V 60 Hz A53352957

380/415 V 50 Hz A53352946

460 V 60 Hz A53352908

01010 -4

10

3ft

-1m

in

1

10 2

10 3

10-310 -2 -110 110 0 10 10 2

12

iH1000

310 Torr

19539

0 (1

5.35

)

(7.6

8)

314 (12.36)

48

(1.8

9)

2

431

93 661 (26.02)

792 (31.18)

925 (36.42)

(3.66)

310

(12.

21)

992

(39.

06)

839

(33.

03)

820

(32.

28)

68

(2.6

8)

663 (26.10)

631 (24.84)

599 (23.58)

215

210

(8.47)

(8.27)

2

1 4


4PÁGINA

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DE

ES

CA

PE

BOMBA SECA iH1800, iH1800HTX E iH160

La bomba iH1800 fue específicamente diseñada para las aplicaciones de alto rendimiento de los mercados de fabricación de pantallas planas y 300 mm. Esta bomba combina calidad y confiabilidad sobre la base de 20 años de experiencia en el bombeo en seco.La bomba iH1800 ofrece un bajo consumo de energía, y reduce al mínimo el impacto ambiental y los costos de funcionamiento.

Características y ventajas• Bajo consumo de energía• Tamaño pequeño• Confiabilidad comprobada a través de años de experiencia• Cumple con las normas internacionales

DATOS TÉCNICOS

1 Entrada 2 Salida 3 Salida alternativa4 Orificio de extracción de aire 5 Inversor

iH1800,iH1800HTX

iH160

Flujo de nitrógeno de sello del eje típico 4 slm 4 slmConexión de entrada ISO160 ISO63 atornilladaConexión de salida NW40 NW40Flujo de agua de enfriamiento típico

l h-1 240 120l min-1 4 2

Capacidad de aceite 1,6 l 0,85 lPeso 500 kg 250 kgVelocidad pico

m3h-1 1800 165pies3min-1 1060 97l min-1 30000 2750

Vacío final1mbar 1 x 10-3 –Torr 7,5 x 10-4 –

Entrada de potencia en el vacío (kW) 4,1 3,1Potencia nominal del motor (kW) 7,0 5,0


iH1800 & iH1800HTX, 50Hz

-210

-41010 0

10 1

-110 10 0 10 1

-210 -3 10 10 -1

-13

mh

10 2

10 3

10 4

10 2 10 3 410

10 0 10 1 10 2

510 Pa

310 mbar

-13

min

ft

1010 0

-4

10 1

-210 -3 10 10 -1

10 2

10 3

iH1800 & iH1800HTX, 60Hz

1010 0 1 10 2 10 3

10 4

Torr

470

(18.

50)

235

(9.2

5)

113

150

3

51

2

4

1

2

5

661 (26.02)

1067 (42.01)

334

(13.

15)

885

(34.

84)

204

385 (15.16)

641 (25.24)

674 (26.54)

340 (13.39)

654 (25.75)

878

(34.

57)

(4.45)

(5.9

1)

(8.0

3)

kW

100

-4

2

-210 -3 10 10 -1

4

6

iH160

1010 0 1 10 2 10 3

8

mbar

-210 -110 10 0 10 1 10 2 10 3 410 510 Pa


4PÁGINA

56

1 Entrada 2 Inversor 3 Salida4 Orificio de extracción de aire

Para obtener información sobre las bombas iH160, comuníquese con BOC Edwards.



iH1800 - bomba seca

200/208 V, 50/60 Hz A53325945

230 V, 60 Hz A53325957

380/415, 50/60 Hz A53325946

460 V, 60 Hz A53325908

iH1800HTX - bomba seca

200/208 V, 50/60 Hz A53324945

230 V, 60 Hz A53324957

380/415, 50/60 Hz A53324946

460 V, 60 Hz A53324908

iH160

-210

-41010 0

10 1

-110 10 0 10 1

-210 -3 10 10 -1

-13

mh

10 2

10 3

10 4

10 2 10 3 410

10 0 10 1 10 2

510 Pa

310 mbar

390

(15.

35)

195

(7.6

8)

134 (5.28)

150(5.91)

105 (4.13)

Ø105 Ø5 Ø17.5

439 (17.28)

95(3

.74)

451

(17.

76)

477

(18.

78)

1 4 2 3

1

3

2

661.3 (26.04)123.7 (4.87)

785 (30.91)

920 (36.22)

310

(12.

20)

780

(30.

71)

723 (28.46)145 (5.71)

518

(20.

39)

64 (

2.52

)

529

(20.

83)


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DE

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BOMBA SECA iF1800

La bomba iF1800 es la solución óptima para los exigentes requerimientos de evacuación de bloqueo de carga de las herramientas de los procesos de fabricación de pantallas planas.Sobre la base de la calidad y confiabilidad comprobadas de los productos de BOC Edwards, la bomba iF1800 ofrece un mejor desempeño de bombeo, la capacidad de lograr tiempos del ciclo de bloqueo de carga más cortos y un mayor rendimiento de las herramientas.

Características y ventajas• Evacuación rápida del bloqueo de carga que ahorra segundos de vital

importancia• Alta confiabilidad en aplicaciones con ciclos de alta frecuencia• Interfaces disponibles para todas las herramientas del proceso

DATOS TÉCNICOS



1 60 Hz 2 50 Hz

1 60 Hz 2 50 Hz

1 Entrada 2 Salida3 Salida alternativa 4 Orificio de extracción de aire

Flujo de lastre de gas típico 59 slmConexión de entrada ISO160Conexión de salida NW40Flujo de agua de enfriamiento típico2360 l h-1 / 6 l min-1

Peso 585 kg

50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-1

l min-1

1720101028600

1800106030000

Vacío final1mbarTorr

8 x 10-4

6 x 10-45 x 10-4

3,75 x 10-4

Entrada de potencia en el final (kW)

6,1 6,8



iF1800 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53323945

440 V 60 Hz A53323975

1

2

10 0

10 1

10 2

310

10 4

-2-3-4

-210

10

10 -1 10 0

10 10 3210-1 10

1010 1

10

10 2

10

3 10 4

10

10 Pa5

10 mbar

iF1800

3m

h -1

ftm

in3

-1iF1800

1

2

-41010 0

10 1

-3 -2 -110 10 10

210

10 3

10 4

0 1 21010 10 310 Torr47

0 (1

8.50

)

(9.2

5)

235

3 1 4

878

(34.

57)

903

(35.

55)

(4.17)

106

(13.

15)

334

1307 (51.46)

932 (36.69)

3

340 1

2

889

(35.

00)

334

(13.

15)

2

487 (19.17)

1173 (46.18)

911 (35.87)


4PÁGINA

58

BOMBA SECA L70

DATOS TÉCNICOS

1 60 Hz 2 50 Hz

1 60 Hz 2 50 Hz

1 Entrada 2 Salida 3 Orificio del ventilador extractor

50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-17041

8449

Vacío finalmbarTorr

5 x 10-2

3,8 x 10-23 x 10-2

2,3 x 10-2

Flujo de nitrógeno de sello del eje típico

slm0 0

Conexión de entrada ISO63 ISO63Conexión de salida NW40 NW40Flujo de agua de enfriamiento típico a una caída de presión de 30 psi

l min-1

l h-11,590

1,590

Entrada de potencia en el final (kW) 1,3 1,5Potencia nominal del motor (kW) 1,8 2,2Capacidad de aceite (l) 0,75 0,75Peso (kg) 210 210

10

210

10

10

mh-1

3

10 1010

0

-4

1

-3

10 3

1010-2 -1 0 1010 1 2 3

1 2

10 -2 10 -1 010 1010 1 2 10 3 1010 4 5

L70

mbar

Pa

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSEl sistema L70 incluye como equipamiento estándar: bomba seca de 5 etapas de diseño óptimo para aplicaciones con motores cerrados enfriados por agua.


L70 - bomba seca

200/230V, 50/60 Hz A53377958

-1

010

10 1

10 -2 10

ftm

in3

-1

10 2

12

10 0 10 1 1010 2 3

L70

Torr

1

2

1 3 2165 (6.50)

377

(14.

84)

189

(7.4

4)

671 (26.42)

629 (24.76)2145

0 (1

7.72

)

551

(21.

69)

47 723 (28.47)

236

(9.2

9)

(0.83)

(1.85)


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DE

ES

CA

PE

BOMBAS SECAS iL70, iL70N, iL600, iL600N

DATOS TÉCNICOS



1 60 Hz iL70/iL70N 2 50 Hz iL70/iL70N

1 60 Hz iL70/iL70N 2 50 Hz iL70/iL70N

1 60 Hz iL600/iL600N 2 50 Hz iL600/iL600N

1 60 Hz iL600/iL600N 2 50 Hz iL600/iL600N

iL70/70N


iL70/iL70N iL600/iL600N50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-17041

8449

518305

600353

Vacío final1

mbarTorr

5 x 10-2

3,8 x 10-23 x 10-2

2,3 x 10-23 x 10-3

2,3 x 10-32 x 10-3

1,5 x 10-3

Flujo de nitrógenodel sello del eje típico (slm)

0 / 4 0 / 4


l h-1

l min-1901,5

1502,5


1,3 1,5 1,8 2,0


1,8 2,2 3,6 4,4

Capacidad de aceite (l) 0,75 1,5Conexión de entrada ISO63 ISO100Conexión de salida NW40 NW40Peso (kg) 230 405

1010 0

-4

10 1

-210 -3 10 10 -1

10 2

10 3

1010 0 1 10 2 10 3

hm

3-1

12

-110 -2 10 10 0 10110 10 2 10 3 4 10 5

iL70/iL70N

mbar

Pa

iL70/iL70N10

-410

0

10 1

10

-13

min

ft

2

10 3

10 -3 10 -2 10 -1 10 0 110 10 102 3

1

2

Torr

1

2

-41010 0

10 1

-1-2-310 10 10

mh

-13

10 2

10 3

210 1010 10 310

10 -2 10 -1 10 0 210 1 10 10 3 1010 4 5

mbar

Pa

iL600/iL600N

1010 -4 -310 10 -2 10 -1 1010 0 1 310 210 0

10 1

10 2

10 3

min

ft3

-1

iL600/iL600N

1

2

Torr

31

2

(3.7

4)95

(5.28)134

19539

0 (1

5.35

)

(7.6

8)

2

1

723 (28.47)141

68 (

2.68

)

529

(20.

83)

84 661 (26.02)

310

(12.

21)

526

(20.

71)

781 (30.75)

(5.55)

916 (36.06)

(3.31)


4PÁGINA

60

iL600/600N


Para obtener información acerca de los accesorios iL, consulte la página 4-61.

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSLas bombas iL constan de: una bomba seca de 5 etapas totalmente cerrada con motor enfriado por agua, control del sistema eléctrico y sensor, sistema de gas, dispositivo de enlaces de control y comunicaciones para accesorios y herramientas de procesos. Además, el modelo iL600 también cuenta con una bomba mecánica Roots de accionamiento directo.


iL70 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53353945

230 V 60 Hz A53353957

380/415 V 50 Hz A53353946

460 V 60 Hz A53353908

iL70N - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53355945

230 V 60 Hz A53355957

380/415 V 50 Hz A53355946

460 V 60 Hz A53355908

iL600 - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53354945

230 V 60 Hz A53354957

380/415 V 50 Hz A53354946

460 V 60 Hz A53354908

iL600N - bomba seca

200/208 V 50/60 Hz A53356945

230 V 60 Hz A53356957

380/415 V 50 Hz A53356946

460 V 60 Hz A53356908

1�

2�

195�

(7.6

8)390

(15.

35)

2�

1� 3�

839

(33.

03)

820

(32.

38)

93�(3.66)

661 (26.02)

792 (31.18)31

0 (1

2.21

)

631 (24.84)

663 (26.10)

925 (36.41)

210 (8.26)

�


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ACCESORIOS iH E iL

CONJUNTO DEL MANÓMETRO iH ACTIVE

Permite al sistema iH monitorear la presión de entrada de la bomba con un manómetro Active de BOC Edwards. El manómetro Active y los cables no se incluyen, consulte la página 11-3.

MÓDULO DE COMUNICACIONES iH/iL

Permite a la herramienta del proceso o software de PC controlar y monitorear el sistema iH o iL a través de un puerto serial o paralelo.

MÓDULO DE INTERFAZ DE HERRAMIENTAS

El módulo de interfaz de herramientas permite realizar un mejor control del sistema iH o iL mediante la herramienta del proceso OEM.

FABWORKS

Permite interconectar todos los sistemas inteligentes de gestión de gases de escape y bombas secas de su instalación.

TERMINAL DE VISUALIZACIÓN DE LA BOMBA iL

Use la terminal de visualización de la bomba para operar el sistema iL en forma manual y para visualizar el estado del sistema iL.



Conjunto del manómetro iH Active D37241000



Módulo de comunicaciones iH/iL

Comunicación serial solamente D37232000

Comunicaciones/control serial y paralelo D37235000

Control paralelo solamente D37236000



Contamos con una variedad de módulos de interfaz de herramientas. Comuníquese con BOC Edwards para obtener más información.

Cable de extensión

1 m D37207602

3 m D37207591

5 m D37207592

EMO

3 m D37207598

5 m D37207593

10 m D37207599

15 m D37207600

25 m D37207601


Cada sistema de monitoreo central FabWorks está especificado y construido para su instalación en particular. Comuníquese con BOC Edwards para obtener más información.



Terminal de visualización de la bomba D37272800


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62

BOMBAS SECAS IPX

La serie IPX de bombas secas fueron específicamente diseñadas para satisfacer los exigentes requerimientos de los sistemas avanzados de vacío de las herramientas de procesos de fabricación de semiconductores.En los momentos en los que el espacio es de especial importancia, la familia de bombas secas IPX reemplaza a los sistemas convencionales de bombas múltiples con una sola bomba que puede montarse sobre la herramienta para reducir al mínimo el espacio ocupado.

Características y ventajas• Mecanismo de bombeo único en su tipo – la IPX puede evacuar desde la

presión atmosférica hasta un nivel de presión base TMP y, además, puede funcionar en forma continua a todas las presiones de entrada.

• Sistema de cojinetes limpios – los cojinetes convencionales de alto vacío usan lubricación con grasa que puede ser una fuente de contaminación en las herramientas de procesos. Las bombas IPX no tienen cojinetes de alto vacío y no presentan ninguna otra fuente de contaminación.

• Extremadamente confiables – confiabilidad comprobada en el campo por MTBFp = 13 años (SEMI E10) con períodos de servicio de mantenimiento de aproximadamente 5 años.

• Opciones de montaje flexible – las bombas IPX pueden integrarse en la herramienta para ahorrar espacio, o pueden instalarse en forma remota, lo que sea más conveniente.

• Compatibilidad con la red – todas las bombas IPX pueden solicitarse con Cnet, que además permite que puedan conectarse a una red Fab-Wide.


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BOMBA SECA IPX100

Bombas de alto vacío IPX instaladas en herramientas

La IPX100 es un concepto innovador en el bombeo de próxima generación. Como bomba de primer punto de uso para ser integrada en plataformas de herramientas de procesos, ha logrado un reconocimiento comprobado en cuanto a su desempeño y confiabilidad extremadamente altos. Se utiliza ampliamente para el bombeo de bloqueo de cargas en las herramientas de proceso avanzadas de 300 mm, ofreciendo una evacuación rápida desde la presión atmosférica hasta un nivel inferior a 4 x 10-3 Torr.

Características y ventajasInnovador mecanismo de bombeo• Diseño robusto• Vacío extremadamente limpio• Sin cojinetes de alto vacío• Bajo nivel de ruido y vibraciónConstrucción compacta• Compatibilidad con salas limpias• De poco peso• Tamaño pequeñoBajo costo de mantenimiento• Ahorro de espacio a nivel sub fabricación• Sin vacío frontal• Sin nitrógeno• Baja potencia y agua de enfriamientoAlta confiabilidad• MTBFp = 13 años (SEMI E10)• Sin necesidad de mantenimiento periódico• Bajos costos de servicio de mantenimiento

DATOS TÉCNICOS

1 Módulo de gas disponible a solicitud

1 Entrada de la bomba 2 Salida del agua de enfriamiento 3 Entrada del agua de enfriamiento4 Salida de la bomba 5 Orificio de ajuste: 8 x 10,2 (0,40) diá.

IPX100

Velocidad picom3h-1

pies3min-110059


<5 x 10-3

<3,7 x 10-3

Flujo de nitrógenodel sello del eje típico (slm) 01

Conexión de entrada NW40Conexión de salida NW25Ruido dB(A) <59

Agua de enfriamiento típical h-1 120 (2 l min-1)

Potencia final (kW) 2,2Potencia nominal del motor (kW) 3,3

Capacidad de aceite (l) 0,3Peso (kg) 55



IPX100

200/208 V, 50/60 Hz A40902977

400 V, 50/60 Hz A40902973

10

h

10

3

010

-110

-210

m

10-2-3

310

210

110

-1

10 010 -1 110 10 32

11010 -1 0 10 10 2 10 3 1010 4 5

IPX100

mbar

Pa

284 (11.18)

220

(8.6

6)

64

110

142 (5.59)

200

(7.8

7)

3

4

1

2

361.

5 (1

4.23

)

175

(6.8

9)

308 (12.13)

347

(13.

66)

522

(20.

55)

173 (6.81)216 (8.50)

4

5

(4.3

3)


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BOMBA SECA IPX100A

La IPX100A es un concepto innovador en el bombeo de próxima generación. Integrado en plataformas de herramientas de procesos, ha logrado un reconocimiento comprobado en cuanto a su desempeño y confiabilidad extremadamente altos. Se utiliza ampliamente para el bombeo de bloqueo de cargas en las herramientas de proceso avanzadas de 300 mm, ofreciendo una evacuación rápida desde la presión atmosférica hasta un nivel inferior a 4 x 10-3 Torr. La bomba IPX100A difiere de la IPX100 en la orientación de las cajas eléctricas.


DATOS TÉCNICOS



IPX100A

Velocidad picom3h-1

pies3min-110059


<5 x 10-3

<4 x 10-3


Conexión de entrada NW40Conexión de salida NW25Ruido dB(A) 56


Potencia final (kW) 2,2

Potencia nominal del motor (kW) 3,3Capacidad de aceite (l) 0,3Peso (kg) 55



IPX100A

200/208 V, 50/60 Hz A40904977

400 V, 50/60 Hz A40904973

10

h

10

3

010

-110

-210

m

10-2-3

310

210

110

-1

10 010 -1 110 10 32

11010 -1 0 10 10 2 10 3 1010 4 5

IPX100A

mbar

Pa

1

123.26

142 (5.59)

110

110

54

284 (11.18)

4

50

3

308 (12.13)

4

214 (8.43)

54

2

144

(5.6

7)

200

(7.8

7)

175

(6.8

9)

347

(13.

66)

361.

5 (1

4.23

)

2

522

(20.

55)

(2.13)(2.13)

(4.3

3)(4

.33)

(4.85)

(1.9

7)

5


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BOMBA SECA IPX180A

La IPX180A es una nueva bomba de vacío diseñada para usarse en aplicaciones de cámara de transferencia y bloqueo de carga de baja presión. Su innovador mecanismo de bombeo es único en su tipo para el bombeo a partir de la presión atmosférica, y alcanzar presiones de entrada inferiores a 7,5 x 10-5

Torr. La bomba puede funcionar en forma continua a cualquier presión de entrada y los gases de escape a presión atmosférica. La compatibilidad con salas limpias significa que la bomba puede instalarse cerca de la herramienta del proceso.


DATOS TÉCNICOS



IPX180A

Velocidad picom3h-1

pies3min-1180106


<1 x 10-4

<7,5 x 10-5


Conexión de entrada ISO63Conexión de salida NW25Ruido dB(A) 56


Potencia final (kW) 2,2

Potencia nominal del motor (kW) 3,3Capacidad de aceite (l) 0,3Peso (kg) 55



IPX180A

200/208 V, 50/60 Hz A40924977

400 V, 50/60 Hz A40924973

0

20

180

10 -4 10 -3 10 10-2 -1 010 10 1 10 2 10 3-510

40

60

80

100

120

140

160

-13

mh

-310 10 -2 -110 10 0 10 1 10 102 3 410 10 5

IPX180A

mbar

Pa

1

123.26

142 (5.59)

110

110

54

284 (11.18)

4

50

3

308 (12.13)

4

214 (8.43)

54

2

144

(5.6

7)

200

(7.8

7)

175

(6.8

9)

347

(13.

66)

361.

5 (1

4.23

)

2

522

(20.

55)

(2.13)(2.13)

(4.3

3)(4

.33)

(4.85)

(1.9

7)

5


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66

BOMBA SECA IPX500A

La IPX500A es una nueva bomba de vacío diseñada para usarse en aplicaciones de cámara de bloqueo de carga, transferencia y procesos livianos de baja presión. La bomba IPX500A ofrece el mismo desempeño que la combinación de una bomba turbomolecular y de refuerzo pequeñas como un solo conjunto. Su innovador mecanismo de bombeo es único en su tipo para el bombeo a partir de la presión atmosférica, y alcanzar presiones de entrada inferiores a 7 x 10-7 Torr. La bomba puede funcionar en forma continua a cualquier presión de entrada y los gases de escape a presión atmosférica. La compatibilidad con salas limpias significa que la bomba puede instalarse cerca de la herramienta del proceso.

Características y ventajasInnovador mecanismo de bombeo• Diseño robusto• Vacío extremadamente limpio• Sin cojinetes de alto vacío• Bajo nivel de ruido y vibraciónConstrucción compacta• Compatibilidad con salas limpias• De poco peso• Tamaño pequeñoBajo costo de mantenimiento• Elimina la necesidad de bombas secundarias• Ahorro de espacio a nivel sub fabricación• Sin vacío frontal• Sin nitrógeno• Baja potencia y agua de enfriamientoAlta confiabilidad• MTBFp = 13 años (SEMI E10)• Sin necesidad de mantenimiento periódico• Bajos costos de servicio de mantenimiento

DATOS TÉCNICOS



IPX500A

Velocidad picom3h-1

pies3min-1500295


<1 x 10-6

<7,5 x 10-7


Conexión de entrada ISO160Conexión de salida NW25Ruido dB(A) 56


Potencia final (kW) 2,2Potencia nominal del motor (kW) 3,3Capacidad de aceite (l) 0,3Peso (kg) 58



IPX500A

200/208 V, 50/60 Hz A40914977

400 V, 50/60 Hz A40914973

-5-6 -4-710 10 10 10

50

032-2 -1 0 1-310 10 10 10 10 10 10

550

100

150

200

250

300

350

400

500

450

-13

mh

-41010 -5 10101010 -2-3 -1 4101010100 1 32 10

IPX500A

mbar

Pa5

1

123.26

142 (5.59)

110

110

54

284 (11.18)

4

50

3

308 (12.13)

4

214 (8.43)

54

2

144

(5.6

7)

200

(7.8

7)

175

(6.8

9)

347

(13.

66)

361.

5 (1

4.23

)

2

522

(20.

55)

(2.13)(2.13)

(4.3

3)(4

.33)

(4.85)

(1.9

7)

5


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BOMBAS DE ALTO VACÍO EPX

La nueva bomba seca compacta EPX180 de alto vacío ofrece un mejor desempeño con un menor costo de mantenimiento. Mediante el uso de un mecanismo protegido por patente, la EPX180 puede bombear desde presión atmosférica hasta presiones finales de <7 x 10-5 Torr.Basada en la exitosa y premiada familia de bombas IPX, la bomba modular EPX180 ofrece un desempeño sobresaliente en una unidad 20% más liviana, 30% más pequeña y que requiere 40% menos energía que la IPX.

Características y ventajas• Tamaño compacto – una de las bombas más pequeñas incorporadas a

herramientas, la EPX ofrece un sobresaliente ahorro de espacio. La bomba EPX puede montarse directamente en la herramienta, ahorrando espacio y costos de instalación o, de lo contrario, puede instalarse en forma remota si se desea.

• Bajo costo de mantenimiento – la EPX requiere sólo 1,4 kW de potencia e incorpora la modalidad de marcha en vacío para optimizar la eficiencia de potencia.

• Mecanismo de bombeo único en su tipo protegido por patente – la EPX puede evacuar desde la presión atmosférica hasta un nivel de presión base turbomolecular y, además, puede funcionar en forma continua a todas las presiones de entrada.

• Sistema ultra limpio – los cojinetes convencionales de alto vacío en grasa, usan lubricación con grasa que puede ser una fuente de contaminación en las herramientas de procesos. Las bombas EPX no tienen cojinetes de alto vacío en grasa y no presentan ninguna otra fuente de contaminación.

• Extremadamente confiable – basada en la tecnología IPX comprobada en el campo, la bomba EPX tiene un MTBFp = 13 años (SEMI E10), con períodos de servicio de mantenimiento de aproximadamente 5 años para extender al máximo la vida útil de la bomba.

• Compatibilidad con la red – disponible con Control de Usuario Final, la serie de bombas EPX puede conectarse a una red Fab-Wide para el monitoreo y control de diagnóstico.

RESUMEN DE APLICACIONES DE LA EPX

Las bombas serie EPX cubren una amplia variedad de aplicaciones desde el manejo de plaquetas hasta los procesos de trabajos medianos.La serie EPX "L" fue diseñada para usarse en aplicaciones limpias en las que se usa un entorno no corrosivo y sin formación de partículas. La serie EPX "N" incluye un módulo de gas con purga de nitrógeno, lo que extiende la gama de aplicaciones a procesos medianos, en los que se esperan bajos niveles de vapores corrosivos y partículas. A continuación se indica un resumen de la gama de procesos recomendados para la EPX. La bomba IPX también se indica como referencia.

Si el proceso de su interés no se indica en el resumen antedicho, comuníquese con la oficina de ventas de BOC Edwards más cercana para obtener información adicional.


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BOMBA SECA DE ALTO VACÍO EPX180L

Bombas de alto vacío EPX instaladas en herramientas

La bomba EPX180L fue diseñada para aplicaciones de transferencia y bloqueo de carga limpio.

Características y ventajasMecanismo protegido por patente• Presión final baja• Bajo nivel de vibraciónAlta confiabilidad• Bajos costos de servicio de mantenimiento• Sin necesidad de mantenimiento periódicoOpción de versiones "L" y "N"• EPX180L para trabajos limpios• EPX180N para trabajos livianosBajo costo de mantenimiento• Baja potencia, 1,4 kW solamente• Ahorros de espacio a nivel sub fabricación• Modalidad de marcha en vacíoUnidad compacta• Instalación remota o en el lugar de uso• De poco peso• Tamaño pequeño

DATOS TÉCNICOS

1 Para la EPX180L – Use EPX500N para aplicaciones de trabajos livianos a medianos. Consulte la página

4-67 para leer el resumen.

BOMBA SECA DE ALTO VACÍO EPX500L

La bomba EPX500L fue diseñada para aplicaciones de transferencia y bloqueo de carga limpio.

Características y ventajasMecanismo protegido por patente• Presión final baja• Bajo nivel de vibraciónAlta confiabilidad• Bajos costos de servicio de mantenimiento• Sin necesidad de mantenimiento periódicoOpción de versiones "L" y "N"• EPX500L para trabajos limpios• EPX500N para trabajos livianosBajo costo de mantenimiento• Baja potencia, 1,4 kW solamente• Ahorros de espacio a nivel sub fabricación• Modalidad de marcha en vacíoUnidad compacta• Instalación remota o en el lugar de uso• De poco peso• Tamaño pequeño

DATOS TÉCNICOS

1 Para la EPX500L – Use la serie EPX N para aplicaciones de trabajos livianos a medianos. Consulte la

página 4-67 para leer el resumen.

EPX180L

Velocidad picom3h-1

pies3min-1

l min-1

1701052835

Vacío finalmbarTorrPa

<1 x 10-4

<7,5 x 10-5

<1 x 10-2


Conexión de entrada ISO63Conexión de salida NW25Ruido dB(A) <59


Potencia final (kW) 1,4Potencia nominal del motor (kW) 3,0Peso (kg) 43,5



Para obtener información acerca de la forma de efectuar el pedido de la bomba seca de alto vacío EPX180L, consulte la página 4-69.

EPX500L

Velocidad picom3h-1

pies3min-1

l min-1

5002958338

Vacío finalmbarTorrPa

<1 x 10-6

<7,5 x 10-7

<1 x 10-4


Conexión de entrada ISO160Conexión de salida NW25Ruido dB(A) <59


Potencia final (kW) 1,4Potencia nominal del motor (kW) 3,0Peso (kg) 45,2



Para obtener información acerca de la forma de efectuar el pedido de la bomba seca de alto vacío EPX500L, consulte la página 4-69.


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MATRIZ DE SOLICITUD DE PEDIDOS DE LAS BOMBAS SECAS DE ALTO VACÍO EPX

EPX es un producto configurado. Use la siguiente matriz para elegir el número de pieza correcto para la configuración que usted requiere.

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSVelocidad1 41802 5500

Aplicación1 L3 2N4 3LE

TIM0 Ninguno1 C32 SPI3 E734 TEL5 LAM6 Hitachi7 MCM

Agua0 Ninguno1 3/8" Quick2 1/4" Quick3 9/16" JIC

Tensión2 208 V4 400 V

Si no está seguro acerca de la configuración EPX correcta que requiere para su aplicación, comuníquese con la oficina de ventas de BOC Edwards más cercana para solicitar ayuda.

A419 ––


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BOMBAS SECAS iQDP40 E iQDP80

Accesorios y sistemas de bombas secas iQ

DATOS TÉCNICOS


2 Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere un mayor flujo3 Temperatura del gas de escape 125 ºC4 Temperatura del gas de escape 145 ºC

Velocidad de la bomba con purga de sello del eje solamente.1 50 Hz iQDP80 2 50 Hz iQDP40

Presión máxima continua de entrada 1 x 103 mbarFlujo de nitrógeno de sello del eje típico 7 slm

Tiempo de precalentamiento 15 min.Conexión de salida NW40Capacidad de aceite 0,4 l

iQDP40 iQDP8050 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-14426

5532

8047

9656,4

Desplazamientom3h-1

pies3min-152

30,662,436,7

91,553,9

109,864,7

Vacío final1

mbarTorr

5 x 10-2

3,8 x 10-23 x 10-2

2,3 x 10-23 x 10-2

2,3 x 10-21 x 10-2

7,5 x 10-3

Conexión de entrada ISO40atornillada

ISO63atornillada


l h-1

gal EE.UU. min-1 1353

0,6 1254

0,55Entrada de potencia en el vacío (kW) 1,1 1,3 2,6 3,1Potencia nominal del motor (kW) 2,2 4,0Peso (kg) 186 216

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

m3

h-1

2

1

100

101

10 10102 3

104 5

mbar

Pa

iQDP, 50Hz

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

ft3

min

-1

iQDP, 60Hz

iQDP40

iQDP80

Torr

A B C D E F

iQDP40 581 – 695 371 199 554iQDP80 723 337 830 283 188 528

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSLas bombas que se indican a continuación son configuraciones estándar, recomendadas para los tipos de aplicaciones indicados. Para solicitar otras configuraciones de bombas, use la matriz de solicitud de pedidos iQ: consulte la página 4-79.


iQ 80H para procesos de semiconductores

208 V 60 Hz iQ2111004

415 V 50 Hz iQ2111007

iQ 40C para procesos limpios

208 V 60 Hz iQ1311004

415 V 50 Hz iQ1311007


208 V 60 Hz iQ2311004

415 V 50 Hz iQ2311007

iQ 80H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. La configuración incluye: iQDP80, trifásica, módulo de gas para trabajos exigentes y módulo de visualización de la bomba.

iQ 40C e iQ80C son recomendados para procesos limpios como cámaras de transferencia y bloqueo de carga (load lock) y PVD. La configuración incluye: bomba iQDP40 ó iQDP80, trifásica, módulo de gas para trabajos limpios y módulo de visualización de la bomba.

597

(23.

50)

309

(12.

17)

527

(20.

75)

390 (15.35)

195 9

F

D

C

E

A B

(7.68) (0.35)


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SISTEMAS DE BOMBAS SECAS iQDP40/iQMB250F E iQDP80/iQMB250F

DATOS TÉCNICOS


2 Temperatura del gas de escape 145 °C. Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere

un mayor flujo.

Velocidad de la bomba con purga de sello del eje solamente.1 50 Hz iQDP80/iQMB250 2 50 Hz iQDP40/iQMB250

Montaje directo

1 Módulo del sistema eléctrico montado en forma horizontal. Con el módulo del sistema eléctrico montado en forma vertical, la altura es de 784 mm.

Montaje en bastidor

Presión máxima continua de entrada 20 mbarFlujo de nitrógeno de sello del eje típico 7 slmTiempo de precalentamiento 15 min.Conexión de entrada ISO63 atornilladaConexión de salida NW40Capacidad de aceite

Bomba iQDP 0,4 liQMB250F, cubierta del acoplamiento 1,5 liQMB250F, depósito del sello del eje 0,13 l

iQDP40/iQMB250F iQDP80/iQMB250F50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-1235139

290171

260153

305180

Desplazamientom3h-1

pies3min-1310180

375221

310183

375221

Vacío final1

mbarTorr

2,5 x 10-3

1,9 x 10-32 x 10-3

1,5 x 10-32 x 10-3

1,5 x 10-37 x 10-4

5,3 x 10-3


l h-1

gal EE.UU. min-12250,99

2160,96


Bomba iQDPiQMB250F

1,10,7

1,31,0

2,60,7

3,11,0


Bomba iQDPiQMB250F

2,22,2

4,02,2

Peso (kg)Montaje directoMontaje en bastidor

256313

286346

10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

2

m3

h-1

1

10-1

10 100 1

102

103

104

105

mbar

Pa

iQMB250, 50Hz

A B C D E

iQDP40/iQMB250F 798 116 679 860,51 36iQDP80/iQMB250F – 258 821,5 842 46

A B C D E F

iQDP40/iQMB250F 164,5 760 108,5 83,5 679 179iQDP80/iQMB250F 140,5 890 98,5 71,5 821 204

10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

iQDP40/iQMB250

ft3

min

-1

iQDP80/iQMB250

iQMB250, 60Hz

Torr

195 (7.68)

A

D

8.5

B

C 137

E

(0.34) (5.39)

260 260

268.5 251.5

990

(38.

98)

AE

CBD

314

(12.

36)

F

967

(38.

07)

(10.57) (9.90)

(10.24) (10.24)


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INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSLos sistemas que se indican a continuación son configuraciones estándar, recomendadas para los tipos de aplicaciones indicados. Para solicitar otros sistemas, use la matriz de solicitud de pedidos iQ: consulte la página 4-79.



208 V 60 Hz iQ5151004

415 V 50 Hz iQ5151007


208 V 60 Hz iQ5351004

415 V 50 Hz iQ5351007

iQ 250H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. El sistema incluye: bombas iQDP80 e iQMB250F, trifásicas, totalmente cerradas, módulo de gas para trabajos exigentes y módulo de visualización de la bomba.

iQ 250C es recomendado para procesos limpios como cámaras de transferencia y bloqueo de carga (load lock) y PVD. El sistema incluye: bombas iQDP80 e iQMB250F, trifásicas, totalmente cerradas, módulo de gas para trabajos limpios y módulo de visualización de la bomba.


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SISTEMAS DE BOMBAS SECAS iQDP40/iQMB500F E iQDP80/iQMB500F

DATOS TÉCNICOS


2 Temperatura del gas de escape 145 °C. Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere un mayor flujo.

Velocidad de la bomba con purga de sello del eje solamente.1 50 Hz iQDP80/iQMB500F 2 50 Hz iQDP40/iQMB500

Montaje directo

1 Para esta combinación de bomba, el centro de la válvula de retención se extiende 117 mm más allá del extremo del motor de la bomba iQMB.

Montaje en bastidor

1 Para esta combinación de bomba, el centro de la válvula de retención se extiende 46,5 mm más allá del extremo del motor de la bomba iQMB.


Bomba iQDP 0,4 liQMB500F, cubierta del acoplamiento 1,5 liQMB500F, depósito del sello del eje 0,13 l

iQDP40/iQMB500F iQDP80/iQMB500F

50 Hz 60 Hz 50 Hz 60 HzVelocidad pico

m3h-1

pies3min-1350207

425251

390231

460272

Desplazamientom3h-1

pies3min-1505299

605358

505299

605358

Vacío final1

mbarTorr

2,5 x 10-3

1,9 x 10-32 x 10-3

1,5 x 10-32 x 10-3

1,5 x 10-37 x 10-4

5,3 x 10-3


l h-1

gal EE.UU. min-12250,99

2160,96


Bomba iQDPiQMB500F

1,10,7

1,31,0

2,60,7

3,11,0

Potencia nominal del motor (kW)Bomba iQDPiQMB500F

2,22,2

4,02,2

Peso (kg)Montaje directoMontaje en bastidor

269329

299359

10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

m3

h-1

1

2

-110

010

110 10

210

310

410

5

iQMB500F, 50Hz

mbar

Pa

A B C D

iQDP40/iQMB500F 25 844 20 531,5iQDP80/iQMB500F -1171 819,5 9 723

A B C D E

iQDP40/iQMB500F 262,5 108,5 -46,5* 581 179iQDP80/iQMB500F 238,5 98,5 71,5 723 204

10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

ftm

in

iQMB500F, 60Hz

iQDP80/iQMB500F

iQDP40/iQMB500F

Tor

8.5

195 (7.68)

D 179 C

A

B

(0.34) (7.05)

260 260

268.5 251.5

990

(38.

98)

AD

B890 (35.04)C

314

(12.

36)

E

948

(37.

32)

(9.90)(10.57)

(10.24)(10.24)


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208 V 60 Hz iQ6151004

415 V 50 Hz iQ6151007


208 V 60 Hz iQ6351004

415 V 50 Hz iQ6351007

iQ 500H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. El sistema incluye: bombas iQDP80 e iQMB500F, trifásicas, totalmente cerradas, módulo de gas para trabajos exigentes y módulo de visualización de la bomba.

iQ 500C es recomendado para procesos limpios como cámaras de transferencia y bloqueo de carga (load lock) y PVD. El sistema incluye: bombas iQDP80 e iQMB500F, trifásicas, totalmente cerradas, módulo de gas para trabajos limpios y módulo de visualización de la bomba.


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SISTEMA DE BOMBAS SECAS iQDP80/iQMB1200F

DATOS TÉCNICOS

1 Con purga de sello del eje solamente2 Temperatura del gas de escape 145 °C. Para temperaturas inferiores del gas de escape, se requiere

un mayor flujo.

Velocidad de la bomba con purga de sello del eje solamente.1 50 Hz IQDP80/IQMB1200F

1 El centro de la válvula de retención se extiende 69,5 mm dentro del extremo del bastidor de la bomba Roots iQMB.


Bomba iQDP 0,4 liQMB1200F, cubierta del acoplamiento 2,4 liQMB1200F, depósito del sello del eje 0,13 liQMB1200F, caja de engranajes 1,25 l

Flujo de agua de enfriamiento típico2 204 l h-1, 0,92 gal EE.UU. min-1

Potencia nominal del motorBomba iQDP 4,0 kWiQMB1200F 4,0 kW

Peso 450 kg

50 Hz 60 Hz

Velocidad picom3h-1

pies3min-1815480

940554

Desplazamientom3h-1

pies3min-11195704

1435845

Vacío final1

mbarTorr

2 x 10-3

1,5 x 10-37 x 10-4

5,3 x 10-3


Bomba iQDPiQMB1200F

2,61,1

3,11,7

10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

m3

h-1

-110 10

010

110

2 310 10

4 510

mbar

Pa

iQMB1200F, 50Hz




208 V 60 Hz iQ7151004

415 V 50 Hz iQ7151007

iQ 1200H es recomendado para procesos de semiconductores tales como CVD y grabado. El sistema incluye las bombas iQDP80 e iQMB1200F, trifásicas, totalmente cerradas, módulo de gas para trabajos exigentes y módulo de visualización de la bomba.

10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

ft3

min

-1

iQMB1200F, 60Hz

iQDP80/iQMB1200F

Torr

260 260

268.5 251.5

1050

(41

.34)

318.5811 (31.93)

-69.5*1050 (41.34)79.5

314

(12.

36)

218

1018

(40

.08)

(10.57) (9.90) (12.54)

(8.5

8)

(3.13) (2.74)(10.24)(10.24)


4PÁGINA

76

BOMBA MECÁNICA ROOTS QMB250F

Bombas mecánicas Roots QMB

DATOS TÉCNICOS

1 50 Hz iQDP80/iQMB250 2 iQDP40/iQMB250

La bomba se muestra con las bridas de reserva de entrada y salida instaladas. Las dimensiones se indican hasta la parte superior de la brida de la bomba.

Desplazamiento (volumétrico)Suministro eléctrico de 50 Hz 310 m3h-1, 185 pies3min-1

Suministro eléctrico de 60 Hz 375 m3h-1, 220 pies3min-1

Velocidad de bombeo efectiva a 50 Hz1

iQDP40 235 m3h-1, 138 pies3min-1

iQDP80 260 m3h-1, 153 pies3min-1

Velocidad de rotación2

Suministro eléctrico de 50 Hz 0 – 2900 rpmSuministro eléctrico de 60 Hz 0 – 3500 rpm

Presión final con bomba de refuerzo iQDPy purga de sellos del eje solamente 7 x 10-4 mbarRango de presión continua de entrada (conbomba de refuerzo adecuada) 0 – 20 mbarPresión máxima de salida 1000 mbarDiferencial de presión en la bomba3 0 – 180 mbarBombas de refuerzo recomendadas iQDP40, iQDP80Conexión de entrada ISO63Conexión de salida ISO40Tensión de suministro eléctrico, trifásico

50Hz 200 – 208 V, 380 – 415 V60 Hz 200 – 230 V, 460 V

Potencia del motor 2,2 kWRango de temperatura ambiente 5 – 40 ºCHumedad de operación máxima 90% HRFlujo mínimo de agua de enfriamiento (conpresión de entrada de 1 mbar y 30 ºC)4 75 l h-1

Conexiones de agua de enfriamientoEntrada Hansen de conexión rápida

£/8 pulg. BSP machoSalida Hansen de conexión rápida

£/8 pulg. BSP machoAceite recomendado Fomblin® YVAC !^/6 ó

Krytox® 1514Capacidad de aceite

Cubierta del acoplamiento 1,5 lDepósito del sello del eje 0,13 l

Peso 65 kg

1 Velocidad de bombeo efectiva para aire a 0,3 mbar con un suministro de 50 Hz. La velocidad de

bombeo efectiva con un suministro eléctrico de 60 Hz será por lo menos 20% superior que el

funcionamiento con un suministro de 50 Hz.

2 Dependiendo de la presión.

3 Determinado por el accionamiento hidrocinético.

4 Los requerimientos exactos de agua de enfriamiento dependen de la temperatura de gas requerida,

la configuración TCV y la presión de entrada.

Krytox® es una marca registrada de Dupont Dow Elastomers



QMB250F

50 Hz A30185905

60 Hz A30186905

Suministrada con un Co-Seal y un anillo "O".

ACCESORIOS NÚMERO DE PEDIDO

Conjunto de accesorios del motor iQMB250 y 500 A53225033

Use este conjunto para convertir una QMB250 en una iQMB250.

REPUESTOS NÚMERO DE PEDIDO

Conjunto de limpieza y revisión general A30151815

Conjunto del módulo A30151820

Conjunto de cuñas A30151825

10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

2

m3

h-1

1

10-1

10 100 1

102

103

104

105

mbar

Pa

iQMB250, 50Hz

ISO63

187.5 (7.38)

3 x M10 x 15 (0.59)

700 (27.56)

98 (3.86)

ISO40

231

(9.1

0)

125

(4.9

2)

270

(10.

63)

138 (5.43)

292

(11.

50)

140

(5.5

1)


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DE

ES

CA

PE


DATOS TÉCNICOS

1 50 Hz iQDP80/iQMB500F 2 50 Hz iQDP40/iQMB500

La bomba se muestra con las bridas de reserva de entrada y salida instaladas. Las dimensiones se

indican hasta la parte superior de la brida de la bomba.



Velocidad de bombeo efectiva a 50 Hz1

QDP40 350 m3h-1, 206 pies3min-1

QDP80 390 m3h-1, 230 pies3min-1



Presión final con bomba de refuerzo iQDPy purga de sellos del eje solamente 7 x 10-4 mbarRango de presión continua de entrada (conbomba de refuerzo adecuada) 0 – 20 mbarPresión máxima de salida 1000 mbarDiferencial de presión en la bomba3 0 – 110 mbarBombas de refuerzo recomendadas QDP40 / iQDP40

QDP80 / iQDP80Conexión de entrada ISO100Conexión de salida ISO63Tensión de suministro eléctrico, trifásico

50 Hz 200 – 208 V, 380 – 415 V60 Hz 200 – 230 V, 460 V

Potencia del motor 2,2 kWRango de temperatura ambiente 5 – 40 ºCHumedad de operación máxima 90% HRFlujo mínimo de agua de enfriamiento (conpresión de entrada de 1 mbar y 30 ºC)4 75 l h-1

Conexiones de agua de enfriamientoEntrada Hansen de conexión

rápida £/8 pulg. BSP machoSalida Hansen de conexión

rápida £/8 pulg. BSP machoAceite recomendado Fomblin® YVAC 16/6 o


Cubierta del acoplamiento 1,5 lDepósito del sello del eje 0,13 l

Peso 78 kg


bombeo efectiva con un suministro de 60 Hz será por lo menos un 20% superior que el






10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

m3

h-1

1

2

-110

010

110 10

210

310

410

5

iQMB500F, 50Hz

mbar

Pa



QMB500F

50 Hz A30285905

60 Hz A30286905

Se suministra con dos anillos "O".


Conjunto de accesorios del motor iQMB250 y 500 A53225033






788 (31.02)�

115�

292

(11.

50)�

179 (7.05)�

ISO100�

(4.1

7)�

212

(8.3

5)�

251

(9.8

8)�

196 (7.72)�

98�

222 (8.74)�

M10 x 15 (0.59)� ISO63�4 x M8 x 16

(3.86)�

106�

(4.5

3)�


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DATOS TÉCNICOS

La bomba se muestra con las bridas de reserva de entrada y salida instaladas. Las dimensiones se

indican hasta la parte superior de la brida de la bomba.



Velocidad de bombeo efectiva (iQDP80) a 50 Hz1

815 m3h-1, 980 pies3min-1



Presión final con bomba de refuerzo iQDPy purga de sellos del eje solamente 7 x 10-4 mbarRango de presión continua de entrada (conbomba de refuerzo adecuada) 0 – 1 mbarPresión máxima de salida 1000 mbarDiferencial de presión en la bomba3 0 – 90 mbarBombas de refuerzo recomendadas QDP80 / iQDP80Conexión de entradaConexión de salidaTensión de suministro eléctrico, trifásico

50Hz60 Hz

Potencia del motorRango de temperatura ambienteHumedad de operación máxima

ISO160ISO100

200 – 208 V / 380 – 415 V200 – 230 V/460 V4 kW5 – 40 ºC90% HR

Flujo mínimo de agua de enfriamiento (conpresión de entrada de 1 mbar y 30 ºC)4 75 l h-1

Conexiones de agua de enfriamientoEntrada Hansen de conexión rápida

£/8 pulg. BSP machoSalida Hansen de conexión rápida

£/8 pulg. BSP hembraAceite recomendado Fomblin® YVAC 16/6 o


Capacidad de engranajes 1,25 lCubierta del acoplamiento 2,4 lDepósito del sello del eje 0,13 l

Peso 157 kg


bombeo efectiva con un suministro de 60 Hz será por lo menos un 20% superior que el






10-3

010

-210

-110

010

110

210

310

110

210

310

m3

h-1

-110 10

010

110

2 310 10

4 510

mbar

Pa

iQMB1200F, 50Hz



QMB1200F

50 Hz A30585905

60 Hz A30586905

Suministrada con un Co-Seal y un anillo "O".


Conjunto de accesorios del motor iQMB1200 A53212033






110�

ISO160�

M12 x 15

230 (9.06)�

958 (37.72)�

277 (10.91)�

220 (8.66)�

4 x Ø18�

ISO100�

48�

316

(12.

44)�

180

(7.0

9)�

368

(14.

49)�

260

(10.

24)�

380

(14.

96)�

(1.8

9)�

(0.71)� (4.33)�


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MATRIZ DE SOLICITUD DE PEDIDOS DEL SISTEMA DE BOMBEO iQ

Consulte la siguiente tabla para obtener información acerca del módulo de gas que debe seleccionar para su aplicación. Para obtener más información, comuníquese con BOC Edwards o con su proveedor local.

1 Para la línea de haces y objetivo solamente.

2 LTO, HTO, TEOS, Nitrox.

MÓDULO DE GAS iQ

APLICACIÓN TRABAJO LIVIANO

TRABAJO MEDIANO

TRABAJO EXIGENTE

Bloqueo de carga (loadlock) ✓

Generadores de cenizas, separadores

✓

Pulverizadores catódicos, evaporadores

✓

Implantadores de iones1 ✓

Grabado de plasmaMetalPoli/ óxidoOtros

✓

✓

✓

PECVD ✓

MOCVD ✓

LPCVDÓxido2

NitruroPSG, BPSG Tungsteno, siliciurosOtros

✓

✓

✓

✓

✓

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSPara solicitar el sistema de bombeo seco iQ, elija una de las opciones que se indican a continuación.

Bombas1 iQDP402 iQDP803 iQDP40 e iQMB250F (caja eléctrica de montaje vertical)4 iQDP40 e iQMB500F5 iQDP80 e iQMB250F6 iQDP80 e iQMB500F7 iQDP80 e iQMB1200F8 iQDP40/iQMB250F (caja eléctrica de montaje horizontal)

Módulo de gas1 Proceso exigente2 Proceso mediano3 Proceso limpio

Alojamientos y montaje de la Roots iQMB0 iQDP sin alojamientos1 iQDP con alojamiento2 iQMB directamente montada en la iQDP, sin alojamientos (no disponible para la

iQMB1200)3 iQMB directamente montada en la iQDP,

alojamiento iQDP (no disponible para la iQMB1200)

4 iQMB montada en bastidor en la iQDP, sin alojamientos

5 iQMB montada en bastidor en la iQDP, iQDP e iQMB cerradas

Control0 Sin módulo de visualización de la bomba1 Módulo de visualización de la bomba

Sensores opcionalesNinguno 0Monitor(es) de nivel de aceite 1Interruptor del flujo de agua 2Sensor de la temperatura del gas de escape 31 + 2 41 + 3 52 + 3 61 + 2 + 3 7

Suministro eléctrico200V 50Hz trifásico 1200V 60Hz trifásico 2208V 50Hz trifásico 3208V 60Hz trifásico 4230V 60Hz trifásico 5380V 50Hz trifásico 6415V 60Hz trifásico 7460V 60Hz trifásico 8

Ejemplo: La iQ5251306 es una iQDP80 cerrada con una iQMB2550F montada en bastidor (380V, 50Hz, trifásica), un módulo de gas de proceso mediano, un módulo de visualización de la bomba y un sensor de la temperatura del gas de escape.

iQ 0––


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REDES E INTERFACESRedes e interfaces

BOC Edwards ofrece una variedad de opciones de redes e interfaces para sus productos de gestión de gases de escape y bombas secas para la fabricación de semiconductores.La comunicación con los sistemas de bombas individuales se realiza a través de interfaces seriales y paralelas o mediante una interfaz de PC y nuestro software especial.Los sistemas con más de un componente de vacío pueden conectarse a una red y monitorearse con el software FabWorks de BOC Edwards.Las redes e interfaces están diseñadas para adecuarse a cada aplicación y se fabrican a solicitud. Comuníquese con BOC Edwards o con su proveedor local para discutir sus requerimientos específicos.

INTERFACES Y COMUNICACIONES

Interfaces OEMMediante el trabajo conjunto con los OEM, BOC Edwards ha desarrollado el Módulo de Interfaz de Herramientas, para conectar los sistemas de bombas secas para la fabricación de semiconductores con todas las herramientas para semiconductores nuevas y existentes. Las ventajas del Módulo de Interfaz de Herramientas (TIM) incluyen:• Verificaciones de la configuración específica de la aplicación. Cuando se

conecta o se cambia un sistema de bombas, se realiza una verificación de la configuración para asegurarse de que la(s) bomba(s), el módulo de gas y los sensores estén conectados según lo especificado para el proceso.

• Registro de los cambios y servicio de mantenimiento de la bomba. Esta función puede usarse para analizar la forma en la que las bombas pueden funcionar en procesos específicos y, además, permite realizar el rastreo electrónico de las bombas a través del proceso de fabricación de semiconductores.

• Descarga automática de ajustes. Los ajustes del sensor para cada herramienta del proceso se descargan automáticamente a la bomba cuando se enciende. Esto permite realizar un cambio sencillo de la bomba, sin necesidad de reconfigurarla o ponerla a punto en forma manual.

• Interfaz con otros componentes de vacío. Puede agregarse una tarjeta de circuitos auxiliar para operar otros equipos del sistema de vacío, tal como una válvula de compuerta en la parte frontal.

Interfaces de comunicacionesPueden agregarse múltiples interfaces de comunicaciones a los sistemas de bombas secas de BOC Edwards para la fabricación de semiconductores, permitiéndoles comunicarse a través de sistemas de comunicaciones RS232, RS485 y fibra óptica. Además, también se encuentran disponibles diversas interfaces de bus de sensores.

INTERCONEXIÓN DE REDUCCIÓN Y VACÍO A TRAVÉS DE FABWORKS32

El sistema FabWorks32 permite visualizar múltiples sistemas de reducción y vacío en forma remota a través de una pantalla de PC.

Características y ventajas• Monitoreo en tiempo real de los sistemas de reducción y de bombas,

aumentando así la eficiencia de las actividades de servicio y mantenimiento• Notificación de alarmas y monitoreo del estado de alarmas, para una

rápida respuesta• Seguimiento del número de serie• Registro completo de datos y generación de tendencias históricas, para la

optimización del equipo• Notificación de alarmas remotas a través de un sistema de radiollamadas,

teléfono móvil o correo electrónico, para la optimización de los tiempos de respuesta a los emisores

• Visualización flexible a través de un servidor, red de área local (LAN) o Internet

Diseño de la redLa red de BOC Edwards utiliza el protocolo confiable LON Works y realiza la comunicación a través de un cable especial de par trenzado de pantalla aislada, que brinda una excelente inmunidad contra el ruido a lo largo de grandes distancias y a velocidades de comunicación elevadas.La base de datos central utiliza actualmente una base de datos de servidor SQL para un mejor manejo y manipulación de datos.La red está compuesta de segmentos que están conectados "en forma de margarita". Los segmentos de red de hasta 1000 m de longitud pueden enlazarse a través de enrutadores simples para formar una única gran red de equipos. Pueden monitorearse hasta 1000 dispositivos por red, y a su vez, varias redes pueden conectarse a un servidor, generando oportunidades para redes de 3000+ dispositivos.

Visualización de la redEl sistema FabWorks32 es un verdadero servidor de web. El servidor de red se conecta con la red LON y con la LAN según se muestra en la figura.

1 Explorador2 Lan/Ethernet dedicada3 Servidor4 LON5 Módulo de interfaz

Cualquier terminal cliente conectada a la LAN que utilice un explorador Microsoft Internet Explorer 5.5 o superior, puede visualizar la red. Además, FabWorks32 puede visualizarse en forma segura a través de Internet, con la provisión del monitoreo remoto E-Diagnostic verdadero.

Módulos de funcionalidad adicionalAdemás del software estándar, se encuentran disponibles módulos "FabSuite" adicionales.

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSComuníquese con BOC Edwards o con su proveedor local para obtener información acerca de la forma de solicitar redes y componentes.


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FABWORKS

FabWorks también soporta la norma OPC industrial estándar, que permite compartir la base de datos FabWorks con otros sistemas de monitoreo.

Sistemas de monitoreo

INFORMACIÓN SOBRE PEDIDOSComuníquese con BOC Edwards o con su proveedor local para obtener información acerca de la forma de solicitar redes y componentes.


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GESTIÓN DE GASES DE ESCAPE PARA LOS PROCESOS DE FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES

Familia completa de productosBOC Edwards es la única empresa en la industria que ofrece la gama más amplia de tecnologías de gestión de gases de escape, lo cual ha sido comprobado a través de una serie de productos y sistemas diseñados para satisfacer todos los requerimientos del cliente, desde la gestión de bajo costo de las instalaciones hasta la protección total del medio ambiente. Estamos comprometidos con el suministro de sistemas de gestión de gases de escape que se adecuen a los requerimientos específicos de las aplicaciones de los clientes. Realizamos todos los esfuerzos posibles para reducir al mínimo el costo de mantenimiento mientras introducimos diseños innovadores para lograr una mayor confiabilidad, intervalos de servicio de mantenimiento más prolongados, espacio reducido, así como los requerimientos de servicios y menores emisiones de desperdicios.Muchos de nuestros productos están aprobados para los procesos OEM.

Selección de productosLos clientes tienen la oportunidad de decidir qué equipo de reducción de punto de uso de BOC Edwards es más adecuado para su aplicación específica dependiendo de sus objetivos de gestión de los gases de escape. BOC Edwards brindará su experiencia y conocimientos a fin de determinar cuál es el producto correcto de gestión de gases de escape para una aplicación en particular. Existen varios criterios para tomar esta decisión.

Fabricación de avanzadaNuestra principal instalación de fabricación está situada en Clevedon, Reino Unido. El emplazamiento comprende una fábrica con líneas de producción flexibles, celdas de montaje, técnicas de fabricación "just-in-time" (justo a tiempo) y uno de los centros de investigación en gestión de gases de escapes más importantes del mundo. Otras plantas de fabricación adicionales situadas en Chunan (Corea) e Ina (Japón), complementan la capacidad de producción global. El fundamento de toda nuestra operación es el compromiso con la calidad y las normas de fabricación a nivel mundial. Un sistema de gestión ISO 9001 e ISO 14001, apoyados por las metodologías de trabajo TQM y Kaizen constituyen el núcleo de la operación. ITS, el organismo de pruebas externo, lleva a cabo la certificación de los productos de acuerdo con las normas internacionales pertinentes.

Procesamiento térmicoUna gestión efectiva de los gases de escape de los procesos CVD, debe manejar los gases de deposición y los polvos asociados con ellos. Los desechos de fluoruros provenientes de los gases de limpieza también requieren un tratamiento adecuado junto con los gases causantes del calentamiento global. Los sistemas de reducción deben cumplir con estos requerimientos en una unidad completa.La TPU (Unidad de procesamiento térmico) es el sistema de reducción estándar de la industria para CVD. Un modelo es adecuado para todas las aplicaciones CVD y muchas aplicaciones de grabado. Cada entrada puede configurarse para la reducción de alto nivel de todos los gases PFC causantes del calentamiento global, F2 o CIF3. La TPU puede manejar flujos de entrada totales de hasta 280 slpm.En los casos en los que no se usan PFC, el TCS (Sistema de acondicionamiento térmico) brinda una forma efectiva en cuanto a costos de manejar los desechos de fluoruros y los gases de deposición peligrosos.Helios es una solución avanzada para la reducción de altos flujos de hidrógeno, mediante el uso de la combustión por alimentación interna común a las series de productos TPU y TCS. Fue diseñado para manejar gases tóxicos y gases portadores provenientes de los procesos de epitaxia de baja presión y MOCVD.El sistema Kronis es la última adición a la serie de combustión por alimentación interna. El sistema Kronis ofrece un tratamiento efectivo para los gases de escape del proceso CVD de k bajo.El sistema HOx (Sistema de oxidación en caliente) ofrece un avance significativo en el desempeño de la tecnología de oxidación sin combustible. Con una innovadora unidad de oxidación con calentamiento eléctrico y el comprobado depurador por vía húmeda de tres etapas de la línea de productos de combustión, combina un desempeño óptimo para la reducción de los procesos CVD en instalaciones que no tienen la posibilidad de utilizar gas de combustible.

La tecnología GRC se ha utilizado para reducir las corrientes de gases de escapeen una amplia gama de aplicaciones en la fabricación de semiconductores. (Lafotografía es cortesía de TI, Dallas, EE.UU.)

Columnas del reactor de gasBOC Edwards ofrece una variedad de sistemas de reducción en seco en el lugar de instalación, de bajo costo, para el procesamiento de semiconductores. Cada sistema utiliza la tecnología de reactor de lecho caliente, única en su tipo, desarrollada para la serie GRC (columna del reactor de gas). El Inline 250 es el sistema de más alto desempeño de las tecnologías de reducción en seco utilizadas para los gases de escape del grabado. Ofrece el tratamiento mediante reacción química y transformación en sales inertes estables, así como el tratamiento de la más amplia gama de gases, desde los halógenos y ácidos hasta CIF3, NF3, SF6 y otros compuestos del grabado haloideo. El GRC D150 Dual funciona con cartucho doble, reduciendo al mínimo el costo de mantenimiento con un tiempo de servicio ininterrumpido. El GRC M150 Simple es un sistema compacto de tratamiento de gas seco utilizado para la eliminación de emisiones peligrosas en la fuente originadas por los procesos de CVD y grabado, que las convierte en sólidos inocuos dentro de un cartucho descartable fácil de cambiar.

Depuradores por vía húmedaLa nueva serie de depuradores por vía húmeda de BOC Edwards ofrece la gestión de gases de escape a un costo mínimo para la preservación de los activos de la empresa y el cumplimiento de las normas regulatorias.Tempest es un depurador por vía húmeda en el lugar de instalación adecuado para el tratamiento de los gases de escape de las herramientas del proceso de fabricación de semiconductores que contienen gases solubles en agua y reactivos al agua, tales como HCl, Cl2 y NH3.

Acondicionamiento pirofóricoPara la eliminación de silano y gases pirofóricos por debajo del nivel de explosión inferior (LEL), el PCS (Sistema de acondicionamiento pirofórico) ofrece una solución avanzada. Específicamente diseñado para el manejo seguro del silano, el PCS incorpora un sistema de manejo de partículas único en su tipo para mantener los conductos libres de polvos.

Sistemas integrados de gestión de gases de escape y vacíoLos equipos de vacío y los dispositivos de gestión de gases de escape tradicionalmente se instalan uno junto a otro debajo de la herramienta del proceso. La serie Zenith ahora ofrece una variedad de sistemas totalmente integrados de gestión de gases de escape y bomba de vacío, diseñados para el manejo seguro de los gases de escape del proceso de una amplia gama de aplicaciones. Una mayor seguridad, compatibilidad con las herramientas de procesos, tamaño mínimo y menores costos de mantenimiento, son las ventajas clave derivadas de un enfoque inigualable que da como resultado un mejor tiempo de funcionamiento, eficiencia del proceso y rentabilidad.


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TMS - Sistema de gestión de temperaturaBOC Edwards ofrece el TMS (Sistema de gestión de temperatura) para los procesos que generan productos derivados condensables. El TMS asegura que estos compuestos sean volátiles hasta que ingresen en el dispositivo de reducción. El TMS está diseñado para calentar las líneas frontales y de gases de escape de la bomba hasta la entrada del dispositivo de reducción. Los calentadores moldeados de gran superficie optimizan el contacto con las tuberías y están diseñados para mantener la temperatura en ellas entre 90° y 150 °C. El monitoreo mediante TMS está disponible como opción para verificar en forma local y remota si la temperatura de la línea es adecuada. El sistema TMS se ha utilizado con éxito en conjunto con la familia completa de equipos de gestión de gases de escape de BOC Edwards para aliviar los problemas históricamente relacionados con la deposición de sólidos y la corrosión.

Recomendaciones sobre el procesoSu elección del sistema de gestión de gases de escape depende de dos factores clave: el proceso genérico usado y el nivel de gestión de gases de escape requerido. Existen también otras variables que pueden afectar su elección, como por ejemplo la política de la compañía, el costo de la operación y la legislación local sobre emisiones.Nuestra Guía de Aplicaciones está diseñada para ayudarle a seleccionar el tipo adecuado de productos de acuerdo con los procesos de fabricación de semiconductores específicos.

PROCESO GENÉRICO

GASESGENÉRICOS

CONFIGU-RACIONES

DEL SISTEMA

BOMBA ELEGIDA

GESTIÓN ESH TOTAL HS + PROTECCIÓN

BIENESDE CAPITAL

PROTECCIÓN DE TUBERÍAS

POR TMSSOLUCIÓN DE COMBUSTIBLE

SOLUCIÓNSIN

COMBUSTIBLE

GRABADO

DieléctricoCHF3/NF3/CF4/C2F6/C4F8/SF6/C4F6/C5F8/CH3F

Integrada Grabados serie Zenith

AutónomaSerie iH/iL o

EPXSerie TPU i250 o Tempest

Conductivo – polisilicio

Cl2/HBr/ SF6/CF4/CHF3

Integrada Grabados serie Zenith Incluida

AutónomaSerie iH/iL o

EPXSerie TPU i250 o Tempest Recomendada

Conductivo – metalCl2/BCl3/CF4/CHF3

Integrada Grabados serie Zenith Incluida

Autónoma Serie iH Serie TPU i250 o Tempest Esencial

PECVD

Óxido con base desilano/nitruro/HDP

SiH4/NH3/N2O/ PH3/SiF4

Integrada Serie Zenith CVDIncluida para

el nitruro

Paso limpio PFC, NF3 Autónoma Serie iH Serie TPU Serie HOx Recomendada para el nitruro

Óxido con baseTEOS/BPSG

TEOS/TEB/TEP Integrada Serie Zenith CVD Incluida

Paso limpio PFC, NF3 Autónoma Serie iH Serie TPU Serie HOx Esencial

CVD de k bajo 3MS/4MS/TMCTS Integrada Serie Zenith CVD Incluida

Paso limpio NF3 Autónoma Serie iH Serie k bajo Incluida

Metalizacióntungsteno

SiH4/WF6/H2 Integrada Serie Zenith CVD

Paso limpio PFC, NF3, CIF3 Autónoma Serie iHSerie TPU o

HeliosSerie HOx Esencial

Metalizacióntitanio

TiCl4/NH3ClF3/CI2

Integrada Zenith CVD Incluida

Autónoma Serie iH Serie TPU Serie HOx Tempest Esencial

Metalización k alto Precursores k alto Serie TPU Serie GRC Recomendada

EPI de baja presiónH2/DCS/PH3/SiH4/AsH3/B2H6/GeH4

Integrada Zenith EPI

AutónomaSerie

iH o iQHelios Recomendada

LPCVD

Polisílice SiH4/PH3/AsH3 Integrada Zenith CVD

Paso limpio NingunoAutónoma Serie iH

Serie TPU Serie HOx PCS

F2/HF, CIF3 Serie TPU Serie HOx

Nitruro LPCVD HCD/DCS/NH3 Integrada Zenith CVD Incluida

Paso limpioNinguno

Autónoma Serie iHSerie TPU Tempest WCT(+M150) Esencial

F2/HF Serie TPU Serie HOx Esencial

IMPLANTE Autónoma Serie iQ M150i

MOCVD

GaAS, fosfuro H2, SiH4, PH3,AsH3,*Metalorgánicos

Autónoma iK500 / GV40 – EH2600

Helios Esencial

GaN H2, NH3,*Metalorgánicos

Autónoma iK500 / GV400 – EH2600

Helios GaNcat Esencial


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UNIDADES DE PROCESAMIENTO TÉRMICO

Gestión de gases de escapeProcesamiento térmico

Gestión de gases de escape en procesos CVDLos gases de hidruros son fácilmente eliminados por la combustíón, pero el grabado perfluorinado y los gases limpios (como C2F6, NF3, SF6) presentan un problema más importante para la gestión de los gases de escape. La destrucción a una alta eficiencia sólo puede lograrse mediante la oxidación sostenida a altas temperaturas. Una unidad de tratamiento efectiva debe tener dos elementos. En primer lugar, una unidad de combustión capaz de convertir los gases PFC. En segundo lugar, un depurador de alta eficiencia para eliminar los productos derivados de la combustión (HF y SiO2).Los procesadores térmicos TPU/TCS/Helios/Kronis de BOC Edwards combinan las unidades de combustión de pared porosa patentadas de Alzeta Corporation con una unidad de depuración compacta que ofrece estas características. El HOx utiliza la tecnología de oxidación sin combustible.

Unidades de combustión radiantes de pared porosa (TPU/TCS/Helios/Kronis)Las unidades de combustión Alzeta garantizan la alta eficiencia de combustión. El combustible y el aire pasan a través de la matriz de cerámica porosa donde la combustión se produce en la superficie.En la superficie, donde el combustible, el aire y el gas del proceso se mezclan íntimamente, la temperatura de la mezcla de gas puede alcanzar 900 ºC. No hay una llama visible, pero la superficie de la matriz es incandescente. La exposición sostenida de los gases de escape a una alta temperatura asegura una alta reacción de alta eficiencia.

Depurador de tres etapas de alta eficiencia La depuración de etapas múltiples es esencial para eliminar los altos niveles de HF y polvos de óxido de la unidad de combustión. El depurador de tres etapas de la TPU se describe en detalle a continuación. Es importante observar que la velocidad de disolución de HF en agua es tres veces más lenta que la del HCl, y, por lo tanto, los rociadores de agua simple no son efectivos.

Componentes del procesamiento térmicoUnidad del cabezal (A) Entre una y cuatro entradas independientes pasan en forma separada a través del cabezal, directamente a la zona de reacción de la unidad de combustión que se encuentra inmediatamente debajo. No existe el mezclado previo de los gases, por lo que los gases potencialmente incompatibles provenientes de distintas cámaras pueden tratarse en forma simultánea.Unidad de combustión por alimentación interna de pared porosa (B) La unidad de combustión patentada de Alzeta genera una zona de reacción adiabática, isotérmica, de alta temperatura, dentro del tubo poroso. La superficie interior de las paredes se lavan continuamente con el combustible y el aire entrantes, de manera que los materiales de reacción se mantienen alejados de las paredes. Esto evita la corrosión y la acumulación de sólidos. La conversión de alta eficiencia de los gases PFC se logra con el gas natural (CH4). El gas natural brinda ventajas adicionales de costo y seguridad en comparación con los quemadores que requieren hidrógeno. El HOx utiliza la tecnología de oxidación sin combustible.Depurador de condensación por fuerza de flujo (C) Aquí, los gases calientes se enfrían rápidamente a 90 ºC y se saturan en vapor de agua. Esta parte de la TPU también se conoce como la unidad de "enfriamiento repentino". Las paredes de esta sección se lavan continuamente con agua, lo que da como resultado una rápida condensación del vapor y el arrastre de las partículas de oxido.Depurador ciclónico (D) La corriente de gas enfriado ingresa a un depurador ciclónico. Las partículas finas que no se captaron en la etapa de condensación se transferirán a la fase líquida y luego pasarán al drenaje.Torre de depuración integrada (E) Aquí, el componentes restante en la mezcla de gas procesado, la fracción no disuelta de HF, se elimina usando una torre de contracorriente altamente eficiente equipada con el diseño más novedoso de alta conductancia y empaquetadura de gran superficie.

Módulo de servicioLa instalación de los procesadores térmicos se facilita mediante el uso de módulos de servicio opcionales. El módulo de servicio contiene todos los componentes requeridos para regular las velocidades de flujo y las presiones de los servicios que requiere la unidad térmica. El suministro eléctrico del módulo de servicio proviene directamente del procesador térmico.

Unidad de recirculación de agua WRUEn los casos en los que la conservación del agua es un tema crucial, una unidad de recirculación de agua (WRU) puede integrarse en el procesador térmico para reducir el consumo de agua.

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C A Combustible y aireB PFC en el escape de la bombaC Intercambio de radiaciónD Plano anular de suministro

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UNIDAD DE PROCESAMIENTO TÉRMICO TPU

La TPU (Unidad de procesamiento térmico) es un sistema de reducción estándar de la industria para CVD. La unidad de combustión por alimentación interna, junto con un depurador por vía húmeda de alta eficiencia, ha sido probada en forma independiente para brindar el DRE más elevado para los gases PFC de cualquier sistema. Cada entrada puede configurarse para la reducción de alto nivel de todos los gases PFC causantes del calentamiento global, F2 o CIF3. La TPU puede manejar flujos de entrada totales de hasta 280 slpm. También reduce todos los hidruros y ofrece la eliminación inferior a TLV de las sustancias corrosivas, a la vez que se reduce al mínimo el NOx, los productos de combustión incompleta (PIC) y los contaminantes peligrosos del aire (HAP). La TPU es adecuada para todas las aplicaciones CVD y muchas aplicaciones de grabado. Las ventajas adicionales incluyen un bajo costo de mantenimiento, reducción sin igual, desempeño de campo óptimo, excelentes facilidades de manejo de polvo y certificación SEMI S2-0703.

A Salida de extracción del gabinete: 160 diá. B Salidas de derivaciónC Entradas del gas del proceso D Salida del gas de escape: 100 diá.E Salida del agua de desecho ácido F Espacio requerido para el acceso de mantenimiento

(sin módulo de servicio WRU) G Módulo de servicio (opcional)

DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

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ConexionesSuministro de nitrógeno al sistema de purga Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro de nitrógeno al sistema neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro de oxígeno Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro del gas de combustible Latón Swagelok de 3/4 pulg.Suministro de agua de enfriamiento Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Suministro del agua de compensación Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Drenaje de agua ácida Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Polipropileno de 75 mmSalida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado

Servicios requeridosSuministro eléctrico 230 V, monofásico, 50 Hz

120 V, monofásico, 60 Hz100 V, monofásico, 50/60 Hz

Suministro de nitrógeno de purga 4 a 8 barSuministro de nitrógeno al sistema neumático 6 a 8 bar Suministro de oxígeno 2,07 a 3,1 barSuministro del gas de combustible Metano/Propano/LPG 0,021 a 0,7 barSuministro de agua de enfriamiento 4,1 a 6,9 barSuministro del agua de compensación 1,5 a 4 barDrenaje de agua ácida Salida no presurizadaGas de escape 1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wgExtracción del gabinete 100 m3h-1

Tensión Consulte los datos técnicosModelo Módulo de servicios

WRUGas de combustible Metano

PropanoInstalación 1, 2 ó 4 entradas

TMSMódulo de derivación remotoDilución del nitrógeno de derivaciónAlta reducción de CF4Contención secundaria



Comuníquese con BOC Edwards para obtener información acerca de las opciones que mejor se adecuan a su aplicación.


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SISTEMA DE ACONDICIONAMIENTO TÉRMICO TCS

El sistema de acondicionamiento térmico (TCS) ofrece un medio de reducción confiable, de alto desempeño y bajo costo de los gases inflamables y ácido provenientes de los escapes de CVD. El TCS incorpora la unidad de combustión radiante por alimentación interna, única en su tipo, y la alta eficiencia del depurador de agua de tres etapas desarrollado para la serie de procesamiento térmico. Es ideal para plasma NF3 y altos flujos de F2 remotos.



DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

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ConexionesSuministro de nitrógeno al sistema de purga Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro de nitrógeno al sistema neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro del gas de combustible Latón Swagelok de 3/4 pulg.Suministro de agua de enfriamiento Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Suministro del agua de compensación Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Drenaje de agua ácida Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Polipropileno de 75 mmSalida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado



Suministro de nitrógeno de purga 4 a 8 barSuministro de nitrógeno al sistema neumático 6 a 8 bar Suministro del gas de combustible Metano/Propano/LPG 0,021 a 0,7 barSuministro de agua de enfriamiento 4,1 a 6,9 barSuministro del agua de compensación 1,5 a 4 barDrenaje de agua ácida Salida no presurizadaGas de escape 1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wgExtracción del gabinete 100 m3h-1




TMSMódulo de derivación remotoDilución del nitrógeno de derivaciónContención secundariaVálvulas de derivación internas





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HELIOS

Helios es una solución avanzada para la reducción de altos flujos de hidrógeno mediante el sistema de combustión por alimentación interna. Esta solución fue diseñada para manejar gases tóxicos y gases portadores provenientes de las aplicaciones de epitaxia de baja presión o atmosférica y MOCVD. El sistema Helios elimina con seguridad los peligros de explosión relacionados con el hidrógeno y destruye los gases de hidruro, tales como AsH3 y PH3 en el lugar de instalación.

Desafíos en la gestión de gases de escapeLa alternancia de altos flujos de hidrógeno con gases tóxicos y pirofóricos adicionales seguido de vapores ácidos, presenta un nuevo desafío para el tratamiento de los gases de escape en quemadores básicos. La variación de los flujos de hidrógeno pueden limitar gravemente la eficiencia y la limpieza de la combustión. Helios es una nueva generación de unidades de combustión por alimentación interna de BOC Edwards con un alto desempeño en estos procesos, junto con un proceso de combustión limpio.

Combustión limpiaA fin de realizar la combustión limpia de altos flujos de hidrógeno, debe suministrarse un exceso de aire a la unidad de combustión. De lo contrario, la unidad de combustión puede emitir altos niveles de CO, los hidrocarburos no quemados o aún el hidrógeno sin quemar. Debe suministrarse en una forma que asegure que el gas del proceso de hidrógeno no cause retornos de llama. El sistema Helios logra esto, mediante el agregado de aire a través de un orificio hacia las boquillas; por lo tanto, el aire sólo se mezcla con el hidrógeno durante la combustión. Esto puede observarse en el diagrama de la derecha, donde las flechas que ingresan desde el lateral representan el aire agregado a través del orificio de la boquilla y mezclado con el gas del proceso (flechas superiores) solamente en la unidad de combustión.Sin embargo, durante los períodos en los que no fluyen altos flujos de hidrógeno, el exceso de aire debe detenerse a fin de que la unidad de combustión no se apague. El mecanismo de control único en su tipo (derecha) asegura que la eficiencia no se vea comprometida con o sin el flujo de hidrógeno.

Operación inteligenteDurante los períodos de alto flujo de hidrógeno, la interfaz con la herramienta asegura que el flujo del exceso de aire a través del orificio abierto es suficiente como para asegurar la combustión completa limpia de hasta 200 lpm de hidrógeno. (Consulte la figura A).

Durante los períodos de flujo bajo o nulo de hidrógeno, un pequeño orificio restringe el flujo del exceso de aire a la unidad de combustión. Esto asegura que en caso de que se genere repentinamente un flujo elevado, haya suficiente aire para eliminar el H2 por debajo del LEL. (Consulte la figura B).



Figura A

Figura B

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DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

ConexionesSuministro de nitrógeno al sistema de purga Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro de nitrógeno al sistema neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro del gas de combustible Latón Swagelok de 3/4 pulg.Suministro de agua de enfriamiento Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Suministro del agua de compensación Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Drenaje de agua ácida Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Polipropileno de 75 mmSalida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado



Suministro de nitrógeno de purga 6 a 8 bar Suministro de nitrógeno al sistema neumático 4 a 8 barSuministro del gas de combustible Metano/Propano/LPG 0,021 a 0,7 barSuministro de agua de enfriamiento 4,1 a 6,9 barSuministro del agua de compensación 1,5 a 4 barDrenaje de agua ácida Salida no presurizadaGas de escape 1800 l min-1 / -3 a -5 pulg. wgExtracción del gabinete 350 m3h-1




TMSContención secundaria





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KRONIS

El sistema Kronis es la última adición a las unidades de combustión por alimentación interna de BOC Edwards diseñado especialmente para el tratamiento efectivo de los gases de escape del proceso provenientes de los recientemente emergentes procesos CVD de k bajo. El logro de una combustión limpia de precursores de organosileno de k bajo es un desafío, y si esto no se logra pueden generarse productos derivados inaceptables y bloqueos en los sistemas subsiguientes. BOC Edwards ha logrado un conocimiento profundo de los problemas relacionados con los procesos CVD de k bajo, a través del trabajo conjunto con OEMs y proveedores de materiales durante el desarrollo de los procesos. El sistema Kronis fue diseñado para superar los problemas relacionados con los procesos CVD más exigentes.



DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

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ConexionesSuministro de nitrógeno al sistema de purga Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro de nitrógeno al sistema neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro de oxígeno Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro del gas de combustible Latón Swagelok de 3/4 pulg.Suministro de agua de enfriamiento Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Suministro del agua de compensación Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Drenaje de agua ácida Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Polipropileno de 75 mmSalida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado



Suministro de nitrógeno de purga 4 a 8 barSuministro de nitrógeno al sistema neumático 6 a 8 bar Suministro de oxígeno 2,07 a 3,1 barSuministro del gas de combustible Metano/Propano/LPG 0,021 a 0,7 barSuministro de agua de enfriamiento 4,1 a 6,9 barSuministro del agua de compensación 1,5 a 4 barDrenaje de agua ácida Salida no presurizadaGas de escape 1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wgExtracción del gabinete 100 m3h-1




Módulo de derivación remotoDilución del nitrógeno de derivaciónConjunto de contención secundaria





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SISTEMA DE OXIDACIÓN EN CALIENTE HOx

El sistema de oxidación en caliente (HOx ) ofrece un avance significativo en el desempeño de la tecnología de oxidación sin combustible. Mediante la combinación de una innovadora unidad de oxidación con calentamiento eléctrico y el comprobado depurador por vía húmeda de tres etapas de la línea de productos de combustión por alimentación interna, el sistema HOx ofrece un desempeño óptimo en comparación con otros sistemas de la competencia, con una considerable mejora en la capacidad de manejo de polvo. El sistema está diseñado para garantizar la eliminación segura de gases pirofóricos por debajo de los límites de inflamabilidad y el tratamiento efectivo de los productos derivados ácidos, a fin de proteger los sistemas de escape contra posibles daños. El sistema de oxidación en caliente (HOx) ofrece el tratamiento en el lugar de instalación de los gases de escape peligrosos derivados de las aplicaciones de fabricación de semiconductores, especialmente de las etapas de deposición y cámara limpia de las aplicaciones CVD.



DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

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ConexionesSuministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro de agua de enfriamiento Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Suministro del agua de compensación Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Drenaje de agua ácida Tubería de uPVC de 3/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Polipropileno de 75 mmSalida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado

Servicios requeridosSuministro eléctrico 400 V, trifásico, 50 Hz

208 V, trifásico, 60 Hz200 V, trifásico, 50/60 Hz

Suministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático 6 a 8 bar Suministro de agua de enfriamiento 4,1 a 6,9 barSuministro del agua de compensación 1,5 a 4 barDrenaje de agua ácida Salida no presurizadaGas de escape 1000 l min-1 / 0 a -5 pulg. wgExtracción del gabinete 100 m3h-1

Tensión Consulte los datos técnicosModelo Recirculación de agua interna

WRUInstalación 1, 2 ó 4 entradas

TMSLimpieza en líneaAlarma audibleMódulo de interfazVálvulas de derivación remotaMódulo de la válvula de derivación





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COLUMNAS DEL REACTOR DE GAS GRC

Columnas del reactor de gas

El proceso GRCEn la columna del reactor de gas (GRC), una mezcla patentada de gránulos inorgánicos se retiene dentro de un cartucho de acero inoxidable. El cartucho se mantiene a una temperatura elevada mediante calentadores tubulares situados a su alrededor. Los gases de escape peligrosos que ingresan al cartucho son sometidos a una reacción química y se convierten en sales inorgánicas estables e inertes.

Aplicaciones del proceso GRCEl proceso GRC es adecuado para el tratamiento de los gases de escape peligrosos que se generan en muchos procesos incluyendo el grabado de metal, poligrabado, grabado por surcos, grabado óxido, muchos procesos CVD y líneas de purga del gabinete de gas. El sistema GRC procesa de manera efectiva la mayoría de los compuestos que contienen cloro, bromo y flúor, además de hidruros como el silano, la fosfina, el diborano y el germano.

Sistema de cartucho económicoA diferencia de algunos sistemas de tratamiento, los reactivos de GRC sólo se usan cuando fluye el gas del proceso. El gas de purga de la bomba de nitrógeno no consume los cartuchos descartables que ofrecen una gran capacidad y larga vida útil, dependiendo solamente de la cantidad de gas del proceso utilizado.

Medio ambienteEl proceso GRC ofrece el medio de protección más avanzado. Los gases se eliminan en la fuente y no se descargan a la atmósfera. Por el contrario, son sometidos a una reacción química y convertidos en sólidos inertes y seguros. No se producen líquidos ni sólidos tóxicos que deban ser eliminados.

Cambio rápido del cartuchoEl cambio del cartucho es rápido, simple y seguro. Mediante el sistema de derivación integral, las operaciones de bombeo no son afectadas. Para reducir al mínimo el tiempo de recambio, el cartucho usado puede extraerse caliente (se recomienda utilizar el carro de recambio en caliente) o también puede usarse la estación de precalentamiento opcional.

Estación de precalentamientoCon esta opción, el tiempo de recambio de los cartuchos agotados se reduce a aproximadamente 10 minutos. La unidad consta de un calentador estándar y una unidad de control simplificada. Esto permite que el nuevo cartucho se caliente hasta la temperatura de operación antes de efectuar el cambio. Cuando el cartucho se agota en el sistema en línea, simplemente se cambian las dos unidades del calentador completas.


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INLINE 250

El sistema Inline 250 es un sistema de reducción en seco en el lugar de instalación, de bajo costo, utilizado en la industria de semiconductores. El tratamiento a altas temperaturas realiza la destrucción permanente de gases y la eliminación de halógenos, ácidos y otros compuestos del grabado haloideo. El sistema Inline 250 trata en forma segura los productos derivados de organocloros tóxicos, optimiza el uso de cartuchos y reduce al mínimo el costo de mantenimiento.

Características y ventajas:• Cartuchos de 250 mm aumentan la capacidad del cartucho en un 30%• El uso optimizado de los cartuchos en serie asegura el uso del material al

máximo• Tratamiento seguro por reacción química y transformación en sales

inertes estables• La gama más amplia de gases tratados, desde halógenos y ácidos hasta

ClF3, NF3, C4F8, SF6 y otros compuestos de grabado haloideo• No existen riesgos de desorción, específico de los sistemas de altas

temperaturas• Sin desechos tóxicos• Tiempo 100% ininterrumpido de funcionamiento con conmutación

automática• Sistema de reducción continua aún en caso de interrupción de energía• Tubería integral de entrada calentada (opcional)• Requerimientos de baja energía y de servicios

A Opciones de extracción del gabinete B Opciones de salida C Opciones de entrada

DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

Funcionamiento del sistema Inline

Desde el arranque del sistema (Figura A), el gas de escape es tratado en la columna izquierda.En la puesta en servicio inicial, un porcentaje considerable del reactivo de la columna permanece sin usarse.La columna de la izquierda continúa usándose, y la columna de la derecha asegura la eliminación del gas residual, hasta que la columna de la izquierda se consume totalmente.La unidad se conmuta luego a la derecha (Figura B), mientras que se recambia la columna izquierda, y luego funciona en dirección inversa.

La columna de la derecha continúa usándose (Figura C), y la columna de la izquierda asegura la eliminación del gas residual, hasta que la columna de la derecha se consume totalmente.

ConexionesSuministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Acero inoxidable NW40Salida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado



Suministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático 4 a 5 barExtracción del gabinete 100 m3h-1

Tensión Consulte los datos técnicosInstalación TMS

Alarma audibleVisualización de la presión de entrada




Figura C

Figura BFigura A


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COLUMNA DEL REACTOR DE GAS DOBLE D150

El sistema D150 es un sistema GRC de depósito doble, diseñado para la conmutación automática del cartucho primario al cartucho de reserva.

A Extracción del gabinete, 3 posiciones alternativas C Entrada, 4 posiciones alternativasB Salida, 4 posiciones alternativas D Espacio requerido para el cambio del

cartucho

DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

70.67

71.65

30.32

78.35

B

C

A

D(530)

42.72 (1085)

C

BC

B

36.02 (915) A

(1820)

(1795)

(770)

(1990)

20.87

ConexionesSuministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Aire comprimido Swagelok de 1/4 pulg.Gas de escape Acero inoxidable NW40Salida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado



Suministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático 1,5 a 2 barAire comprimido 4 a 5 barExtracción del gabinete 100 m3h-1


Boquilla de aireDilución manual o automática en la salidaDetector del punto finalAlarma audibleVisualización de la presión de entradaVisualización remotaMonitor de PC central





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COLUMNA DEL REACTOR DE GAS SIMPLE M150

La columna del reactor de gas M150 es una tecnología compacta desarrollada para la industria de semiconductores. Este revolucionario sistema de tratamiento de gas seco se utiliza para la eliminación de emisiones peligrosas en la fuente originadas por los procesos de CVD y grabado, que las convierte en sólidos inocuos dentro de un cartucho descartable fácil de cambiar.

A Posición de la brida de extracción de aireB Salida M150C Entrada M150D Espacio requerido para el cambio del cartucho

DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

21.2617.72

C

B

A

A

D

70.87

24.0229.53

77.56

(1800)

(610)(750)

(1970)

(540)(450)

ConexionesSuministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Aire comprimido Swagelok de 1/4 pulg.Gas de escape Acero inoxidable NW40Salida de derivación Acero inoxidable NW40 (opcional)Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado





Boquilla de aireDetector del punto finalAlarma audibleSensor de la presión de entradaPrueba de fugasDisparo de fuga a tierra





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GANCAT

GaNcat es una solución basada en cartuchos con calentamiento eléctrico, para el tratamiento de flujos de gases de escape con alto contenido de amoníaco provenientes de los procesos MOCVD basados en GaN. Este sistema incorpora las mismas características genéricas que el sistema GRC en el que se basa, y además, mediante la combinación de múltiples cartuchos en paralelo, es posible tratar aún los flujos más elevados de gases del proceso. El diseño del cartucho único en su tipo cuenta con dos etapas, la primera descompone los vapores metalorgánicos (tales como TMG, TMI y TMA) que podrían "contaminar" la segunda etapa, donde el amoníaco se descompone en nitrógeno e hidrógeno. Debido a que el proceso químico es principalmente de naturaleza catalítica, el sistema GaNcat es una solución efectiva en cuanto a costos para esta aplicación y no genera NOx o agua de desechos. Un cartucho de reserva opcional permite el recambio de cartuchos sin necesidad de sacar al sistema GaNcat fuera de línea, optimizando así el tiempo de funcionamiento productivo.

A Zona operativa para el carro del calentadorB Área del operadorC Área de acceso al servicio eléctrico

DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

GRC

1

GRC

2

GRC

3

GRC

4

2635 (103.74)

915 (36.02)

970 (38.19)

492

(19.3

7)

424

(16.6

9)

2335 (91.93)

385 (15.16)

1974 (

77.7

2)

605

(23.8

2)

750 (

29.5

3)

A

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ConexionesSuministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Aire comprimido Swagelok de 1/4 pulg.Gas de escape Acero inoxidable NW40Salida de derivación Acero inoxidable NW40 (opcional)Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado




Tensión Consulte los datos técnicosInstalación Módulos de cartuchos 1-9

TMSPrueba de fugasDisparo de fuga a tierraMódulo de detección del gas de amoníaco




NUEVA


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DEPURADORES POR VÍA HÚMEDADepuradores por vía húmeda

La familia de depuradores por vía húmeda Tempest de BOC Edwards ofrece la gestión de gases de escape a un costo mínimo para la preservación de los activos de la empresa y el cumplimiento de las normas regulatorias. Son adecuados para el tratamiento de las corrientes de escape que contienen gases solubles en agua y reactivos al agua.

La familia de depuradores por vía húmeda de BOC Edwards incorpora al TempestEl sistema Tempest una unidad de absorción/reacción de lecho integrado, de flujo de contracorriente. Es adecuado para el grabado conductivo, el grabado dieléctrico, las aplicaciones RTP y nitruro LPCVD y contiene una unidad de absorción de lecho integrado de agua fría de una sola etapa.La serie de depuradores por vía húmeda brinda la absorción de gas de alta eficiencia mediante el diseño de torre de flujo de contracorriente. La "criba" integrada asegura una distribución uniforme del agua y elimina la posibilidad de canalización del gas.

Características y ventajas• Diseño robusto, alta confiabilidad• Menor costo de mantenimiento• Diseño de múltiples entradas• Tratamiento efectivo de los gases incompatibles a través de la

segmentación de cámaras• Acceso de servicio en un solo lado• Control PLC• Compatible con Fabworks• Certificación SEMI S2-0303

Entrada de gas coaxialEl gas del proceso ingresa al gabinete de lecho integrado del Tempest a través de entrada(s) de gas coaxial(es). El diseño de la boquilla de entrada permite a los gases de reacción y a los productos condensables derivados de la reacción ingresar al depurador sin necesidad de precipitación o reacción en la entrada del depurador. Una cortina de nitrógeno reduce la velocidad de reacción del gas del proceso entrante con el líquido de depuración. El servicio de mantenimiento de la entrada es poco frecuente debido a las características del diseño, sin embargo, en caso de ser necesario, el manguito de entrada removible puede repararse o reemplazarse fácilmente en menos de dos minutos.

Cámara segmentadaLas cámaras segmentadas están disponibles en forma opcional. Sirven para evitar las reacciones potencialmente adversas de los gases incompatibles. Los gases permanecen separados en la mitad inferior de la torre integrada.

TMSEl sistema de gestión de temperatura (TMS) mantiene el conducto de entrada y la entrada misma a una temperatura de hasta 150 °C para evitar la acumulación de productos derivados condensables.

Limpieza mecánicaEsta entrada opcional para el sistema Tempest permite la eliminación periódica de cualquier producto condensable derivado de la reacción, permitiendo el funcionamiento de la unidad durante períodos prolongados sin mantenimiento intrusivo. La limpieza mecánica es adecuada para aplicaciones de grabado de metal y nitruro LPCVD.


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TEMPEST

Tempest , el nuevo depurador por vía húmeda en el lugar de instalación, ofrece la gestión de gases de escape a un costo mínimo para la preservación de los activos de la empresa y el cumplimiento de las normas regulatorias. Tempest es adecuado para el tratamiento de los gases de escape de las herramientas del proceso de fabricación de semiconductores que contienen gases solubles en agua y reactivos al agua, tales como HCl, Cl2 y NH3. Las aplicaciones típicas del proceso incluyen el grabado de metal, poligrabado, nitruro LPCVD, nitruro PECVD y RTP. Si bien está basado en un simple principio de "tormenta en una caja", Tempest incluye muchas características de diseño innovadoras que brindan beneficios reales al cliente. Estos beneficios incluyen la prevención de bloqueos de entrada a través del uso de entradas de gas coaxiales y una reducción en el consumo de servicios mediante el sistema de control PLC.

A Suministro de nitrógeno B Suministro eléctricoC Salida del gas de escape D Entradas del gas del procesoE Extracción del gabinete 150 mm diá.

DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

1785 (

70.2

8)

TY

P

1834 (

72.2

0)

1984 (

78.1

1)

800 (31.50)

E

A

D C

B

600 (

23.6

2)

1010 (39.76)

ConexionesSuministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático Acero inoxidable Swagelok de 1/4 pulg.Suministro del agua de compensación Polipropileno de 3/4 pulg.Drenaje de agua ácida Polipropileno de 3/4 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Polipropileno NW40Extracción del gabinete Acero suave de 150 mm, pintado



Suministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático 6 a 8 bar Suministro del agua de compensación 1,5 a 4 barDrenaje de agua ácida Salida no presurizadaGas de escape 600 l min-1 / -1 a -5 pulg. wgExtracción del gabinete 300 m3h-1

Tensión Consulte los datos técnicosInstalación Entradas 1 – 4

Cámara segmentadaEntradas de alta temperaturaLimpieza mecánicaVálvulas de derivación remotaMódulo de la válvula de derivaciónMódulo de válvula de derivación con TMS




NUEVA


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SISTEMA DE ACONDICIONAMIENTO PIROFÓRICO

Sistema de acondicionamiento pirofórico

El sistema de acondicionamiento pirofórico (PCS) establece un nuevo estándar para los sistemas de autooxidación, utilizando las propiedades pirofóricas de los gases para el control de los gases de escape.

El concepto "burn box" o "autooxidación" El concepto de autooxidación es un enfoque de bajo costo para el escape de silano usado en muchos procesos de fabricación en todo el mundo. El sistema PCS genera flujos de escape de silano con exceso de aire y utiliza las propiedades pirofóricas del gas para garantizar la oxidación.El sistema PCS incorpora las características de diseño para reducir el bloqueo relacionado con la oxidación de flujos elevados de silano.En las pruebas de laboratorio con flujos simulados de procesos, las observaciones sobre la oxidación del silano muestran que, a concentraciones del silano en nitrógeno se produce una autooxidación de > 1,6% al mezclarse con el aire. A concentraciones inferiores, la oxidación no se produce y el silano, una vez diluido al mezclarse con el aire a <0,05% es estable y seguro.

Características y ventajasEntrada de aire activa• Suministro de aire positivo impulsado por ventilador para el aire de

reacción/dilución. • Sin dependencia en los flujos de los conductos.Entradas autolimpiantes• Equipado con un sistema comprobado de entrada autolimpiante usado en

las familias de productos TPU/TCS de alto desempeño.• Cámara de reacción ciclónica.• Diseño de la cámara de reacción único en su tipo.• La oxidación se produce en un remolino ciclónico de aire.• Diseñado para eliminar el 90% de partículas de > 10 micrones.Interfaz de monitoreo total• Esencial para una instalación segura.Presión positiva del sistema/flujo de aire y temperatura de salida monitoreadas continuamente por medio del control PLC.

DATOS TÉCNICOS

OPCIONES DE PEDIDOS

106 43

102

1191

72 -

122

1300

550409

237

264

350

209

ConexionesSuministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático Latón Swagelok de 1/4 pulg.Suministro del agua de compensación Tubería de uPVC de 1 pulg.Gas del proceso Acero inoxidable NW40Gas de escape Acero inoxidable NW40 con

recubrimiento de PFASalida de derivación Acero inoxidable NW40Extracción del gabinete Acero suave de 72 mm, pintado



Suministro de nitrógeno alsistema de purga / neumático 4 a 6 barSuministro del agua de compensación 2 a 5 barGas de escape 1400 l min-1 / -1 a -5 pulg. wgExtracción del gabinete 100 m3h-1 (opcional)

Tensión Consulte los datos técnicosAlojamiento Sin alojamiento

Alojamiento del ciclónInstalación 1 ó 2 entradas

Visualización del estadoLimpieza en líneaMonitoreo de la presión de entrada





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ZENITHSistema integrado de gestión de gases de escape y vacío Zenith

La familia de productos Zenith es una serie de avanzada de sistemas de gestión de gases de escape y vacío totalmente integrados, que brindan una mayor seguridad, compatibilidad con las herramientas de procesos, requerimiento de espacio mínimo y un menor costo de mantenimiento.La experiencia en aplicaciones de BOC Edwards se aplica a los sistemas Zenith para asegurar la provisión del hardware y software más adecuados para la aplicación específica. Puede incorporarse una bomba de vacío de última generación y una adecuada gestión de gases de escape, junto con paquetes de piezas que aseguran un funcionamiento más uniforme y confiable.

Características y ventajas:• Seguridad

- Transferencia / reducción al mínimo de riesgos- Certificación SEMI- Certificación de seguridad NRTL disponible antes de la instalación- Instalación, puesta en servicio y autorización municipal más rápidas- Solicitud de una nueva autorización municipal más sencilla

• Ahorros de costos de instalación- Ahorro de espacio- Menor tiempo, costo y facilidad de instalación

• Beneficios operativos- Estrategia de control común que brinda seguridad de las plaquetas- Mayor producción y vida útil de las plaquetas, debido a que la interfaz

inteligente realiza la gestión del mantenimiento preventivo con relación al uso de las herramientas

- Menor costo de mantenimiento- Menor cantidad de componentes y componentes estándar generan

menos requerimientos de mantenimiento• Centralización en el proceso

- Para adecuarse a las aplicaciones específicas del cliente y los OEM, cada unidad Zenith está diseñada teniendo el proceso en mente, lo que permite efectuar la correcta elección de bombas de vacío y una gestión completa de los gases de escape.

FAMILIA DE PRODUCTOS ZENITH

Zenith EtchZenith Etch es una serie de soluciones de gestión de gases de escape y vacío totalmente integradas para los procesos de grabado. La familia Zenith Etch incorpora tecnologías que mejor se adaptan a los requerimientos específicos.

Zenith Etch PlasmaComprende un depurador por vía húmeda integral, de plasma atmosférico y bombas de procesos especialmente reforzadas. Zenith Etch Plasma es una solución de gestión de gases de escape sin combustible con un bajo costo de mantenimiento (en comparación con otras tecnologías), consumo de energía muy bajo y una mínima cantidad de componentes consumibles.

Zenith Etch TPU-MComprende la última generación de bombas secas con gestión de gases de escape de la serie de procesadores térmicos existente. El sistema de reducción TPU-M comprende una unidad de combustión con alimentación interna pequeña con un depurador por vía húmeda compacto de 2 etapas. La unidad cuenta con un costo de servicios menor que la TPU estándar, si bien brinda un desempeño de reducción excelente.

Zenith CVDZenith CVD incorpora la última generación de bombas secas y gestión de gases de escape que mejor se adecuan a sus requerimientos específicos y calefacción integrada de tuberías (TMS). Es el sistema de mayor desempeño comprobado para CVD que maneja altos flujos de gases de deposición y gases limpios de cámara.


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SISTEMA DE GESTIÓN DE TEMPERATURA (TMS)

Sistema de gestión de temperatura

Muchos procesos de fabricación de semiconductores, especialmente el grabado de metal y nitruro LPCVD generan vapores que, a temperatura ambiente, se condensan formando sólidos en las líneas de escape, partes frontales y silenciadores de bombas. Estos sólidos pueden acumularse hasta bloquear las tuberías, originando una contrapresión y la eventualfalla de la bomba. Para mantener los productos derivados en forma gaseosa hasta que llegan al sistema de tratamiento de gases de escape, el gas debe mantenerse caliente y seco.El sistema de gestión de temperatura (TMS) de BOC Edwards ha tenido un gran éxito en la prevención de la deposición de sólidos y líquidos corrosivos en las tuberías. El sistema TMS está disponible para adaptarse a diámetros de tuberías de 40 mm y 50 mm, y es adecuado para instalarse en las líneas de gases de escape, 80 mm y 100 mm, siendo también adecuado para el calentamiento de la parte frontal. El sistema TMS puede usarse para calentar de manera efectiva las piezas más complejas, como las válvulas.

Principales componentes del sistemaEl sistema TMS tiene tres componentes principales: la unidad de control, los calentadores de tuberías y el aislamiento de las tuberías. La unidad de control alimenta calentadores de tuberías de hasta 1200 W. Los calentadores están disponibles en una variedad de longitudes y simplemente están unidos por conectores en cadena. El aislamiento de las tuberías se realiza con espuma de silicona con un recubrimiento exterior de silicona.

Sistema de monitoreo TMSEl sistema de monitoreo TMS está disponible en forma opcional. Brinda el beneficio adicional de señalar en forma automática un punto frío potencialmente problemático en donde puede producirse deposición. Sobre cada calentador se instalan monitores especialmente diseñados. Luces indicadores muestran el estado de la tubería. Una señal de advertencia también se indica en la unidad de suministro eléctrico y también existe la opción de integración con el sistema de gestión del edificio o con el sistema de monitoreo FabWorks de BOC Edwards.

Aplicaciones• Grabado de metal• Grabado con nitruro• PECVD de tungsteno con C2F6 / O2 limpio• Nitruro LPCVD



Calentadores

40-50 mm (1,5-2") x 50 mm (2,0") 13,5 W Y14012050

40-50 mm (1,5-2") x 80 mm (3,1") 13,5 W Y14012080

40-50 mm (1,5-2") x 100 mm (4,0") 13,5 W Y14012100

40-50 mm (1,5-2") x 200 mm (7,9") 24 W Y14012200

40-50 mm (1,5-2") x 300 mm (11,8") 36 W Y14012300

40-50 mm (1,5-2") x 500 mm (19,7") 60 W Y14012500

80 mm (3") x 50 mm (2,0") 13,5 W Y14023050

80 mm (3") x 80 mm (3,1") 13,5 W Y14023080

80 mm (3") x 100 mm (4,0") 13,5 W Y14023100

80 mm (3") x 200 mm (7,9") 24 W Y14023200

80 mm (3") x 300 mm (11,8") 36 W Y14023300

80 mm (3") x 500 mm (19,7") 60 W Y14023500

100 mm (4") x 50 mm (2") 8 W Y14024050

100 mm (4") x 80 mm (3,1") 12,8 W Y14024080

100 mm (4") x 100 mm (4,0") 15 W Y14024100

100 mm (4") x 200 mm (7,9") 32 W Y14024200

100 mm (4") x 300 mm (11,8") 48 W Y14024300

100 mm (4") x 500 mm (19,7") 80 W Y14024500

Aislamiento

Banda de unión de 40 mm (1,5") Y14101000

Longitud del medidor de 40 mm (1,5") Y14101001

Codo de 40 mm (1,5") Y14101002

Pieza en T de 40 mm (1,5") Y14101003

Abrazadera de 40 mm (1,5") Y14101004

Banda de unión de 50 mm (2") Y14102000

Longitud del medidor de 50 mm (2") Y14102001

Codo de 50 mm (2") Y14102002

Pieza en T de 50 mm (2") Y14102003

Abrazadera de 50 mm (3") Y14102004



Codo de 80 mm (3") Y14103002

Pieza en T de 80 mm (3") Y14103003




Codo de 100 mm (4") Y14104002

Pieza en T de 100 mm (4") Y14104003


Longitud del medidor de 63 mm (2,5") Y14105001

Fuentes de alimentación

Versión E 230 V, 50 Hz monofásica Y14201000

Versión S 110 V, 60 Hz monofásica Y14204000

Versión J 200 V, 50/60 Hz bifásica Y14203000

Cables de extensión

300 mm Y14501024

2 m Y14501022

Monitores

300 mm Y14300300

500 mm Y14300500

700 mm Y14300700


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TRAMPA DE GASES DE ESCAPE ENFRIADA POR AGUA MODELO 250

Trampa enfriada por agua• Captación controlada de los sólidos de escape• Evita bloqueos costosos• Fácil operación y disposiciónLos procesos de nitruro LPCVD que utilizan diclorosilano (SiH2Cl2) y amoníaco (NH3) generan cloruro de amonio (NH4Cl). Al realizar el enfriamiento a presión atmosférica, NH4Cl se condensa rápidamente en forma de sólido en las tuberías de escape.La trampa enfriada por agua Modelo 250, brinda una solución efectiva en cuanto a costos para la deposición controlada de estos productos derivados sólidos. La cámara de la trampa y el revestimiento están enfriados por agua, por lo tanto, el NH4Cl se deposita en el revestimiento. El revestimiento tiene una gran capacidad y es fácil y rápido de cambiar. En general, la vida útil de un revestimiento es de seis meses.El Modelo 250 elimina sólidos solamente. Para aplicaciones en donde se necesita eliminar sólidos y tratar el amoníaco residual, use una trampa enfriada por agua junto con un GRC equipado con cartuchos C150A (amoníaco). Para obtener más información acerca de la reducción de los gases de escape, consulte el resumen de aplicaciones: consulte la página 4-83.

DATOS TÉCNICOS

Bomba A BQDP, salida de la bomba 1628 mm 325 mmQDP, salida del silenciador de escape 1448 mm 155 mm

ConexionesSuministro de agua de enfriamiento Conector de conexión rápida macho

de 3/8 pulg. BSPGas del proceso NW40Gas de escape NW40

Servicios requeridosSuministro de agua de enfriamiento 7 bar



Trampa de gases de escape enfriada por agua Modelo 250 A53114000


Conexión de la trampa de gases de escape enfriada por agua y conjunto TMS,para el sistema con

bomba mecánica Roots 250/500 A53114060

bomba mecánica Roots 1200 A53114065

REPUESTOS CONSUMIBLES NÚMERO DE PEDIDO

Revestimientos de la trampa de repuesto para el Modelo 250 A53115020

A

16.0

2 (4

07)

5.08

17.72 (450)

B

18.90 (480)

4.25

22.4

4 (5

70)

(129

)

(108

)


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REFRIGERADORA TCU 40/80

Gestión térmicaUnidades de control de temperatura (refrigeradoras)La unidad de control de temperatura TCU 40/80 (refrigeradora) es una unidad de control de temperatura de un solo canal que suministra refrigerante de perfluorocarbono en un circuito cerrado para el control de temperatura de las cámaras de procesos de fabricación de semiconductores y plaquetas durante los procesos de grabado, entre otros. La TCU 40/80 está diseñada para brindar un desempeño confiable del tiempo de funcionamiento y facilidad de mantenimiento, brindando un enfriamiento continuo y libre de problemas en una amplia gama de temperaturas. Utilice la TCU para el enfriamiento de portaherramientas electrostáticas, ventanas de cuarzo y domos y paredes de las cámaras.

Características y ventajas• Bomba de refrigerante libre de fugas con accionamiento magnético con

refrigerante de perfluorocarbono• Amplio control del rango de temperatura, de -40 a 80 °C• Control de temperatura en incrementos de 0,1 °C, con estabilidad típica

de ±0,5 °C.• Flujo ajustable del refrigerante, de 3,8 a 22,7 l min-1 (1-6 gal min-1)• Sistema de refrigerante presurizado de acero inoxidable• Ascenso y descenso rápido de temperatura• MTBF de 50000 horas• Mínimas longitud de tuberías y cantidad de uniones; sistema de

refrigeración totalmente soldado• Las líneas de refrigerante y enfriador están verificadas contra fugas de

helioLa industria de semiconductores exige equipos con un tiempo de funcionamiento máximo cuando operan en forma continua los 365 días del año. El cumplimiento de estas exigencias fue de primordial importancia en el diseño de la TCU, lo que dio como resultado un controlador de temperatura altamente confiable, libre de fugas y sin causar daños al medio ambiente. El controlador libre de CFC está aprobado por la norma SEMI S2-93, con certificación CE (cumple con las directivas sobre baja tensión de la Unión Europea), está aprobado por UL, y se fabrica en una planta con certificación ISO9001.La TCU cuenta con un sistema de refrigerante de perfluorocarbono de circuito cerrado. El uso de un refrigerante no conductivo en lugar de agua desionizada, significa que la TCU puede usarse en sistemas con grandes campos magnéticos y de plasma. El uso del refrigerante de perfluorocarbono también elimina la necesidad de monitorear el refrigerante y mantener los filtros de refrigerante.La TCU40/80 puede montarse en bastidor o en torre. Los paneles frontal y laterales pueden retirarse con facilidad para el mantenimiento de rutina. Al igual que con todos los productos de BOC Edwards, la TCU 40/80 cuenta con el respaldo de nuestro servicio de soporte técnico y de mantenimiento de productos en todo el mundo.

DATOS TÉCNICOS

Rango de temperatura de control -40 a 80 °CPunto de referencia de la temperatura de control 0,1 °CEstabilidad de la temperatura de control ±1,0 °CCapacidad de enfriamiento (en la salida de la TCU, agua de enfriamiento 15 °C)

A -40 °C 350 WA -20 a +80 °C 2000 W

Capacidad de calentamiento 2800 WRampa de temperatura (sin carga)

25 a 80 °C <25 min25 a -30 °C <20 min

Sistema de refrigerante de perfluorocarbono

Tipo de refrigerante 3M FC77, 3M FC3283, FC8270 oAusimont Galden HT110 o 3M HFE 7500

Tipo de bomba Bomba de engranajes de accionamiento magnético, motor de 3/4 HP

Velocidad de flujo de la bomba establecido en fábrica(20°C, 4,1 bar / 60 psi) 11,4 l min-1 (3 gal min-1)Presión máxima de suministro del refrigerante 100 psiVelocidad de flujo ajustable del refrigerante 3,8 – 22,7 l min-1 (1-6 gal min-1)Conexiones del refrigerante Conector de unión Swagelok de ½ pulg.

(suministrado)Sistema de refrigeración

Refrigerante HFC R404A Compresor 2,8 kW, trifásico, herméticamente selladoIntercambiador de calor Placa de flujo cruzado de acero inoxidable

de alta eficienciaRequerimientos del agua de enfriamiento

Velocidad de flujo 11,4 – 22,8 l min-1 (3-6 gal min-1)Temperatura 10 – 26 °CPresión 1,4 – 6,9 bar (20 – 100 psi)Conexiones de agua de enfriamiento

Accesorio de compresión de latón de ½ pulg. y adaptadores de manguera de latón de ½ pulg. (suministrados)

Suministro eléctricoTensión 200-208 V, trifásica, 50/60 Hz,

balanceo en deltaTipo de conexión Con fusible de 30 A, NEMA L21-30R Monitor de baja tensióny rotación de fase IncorporadoCable eléctrico 3,05 m (10 pies), con enchufe de

seguridad L21-30P de 5 clavijasConsumo de potencia típico 2,75 kW a capacidad nominalDisyuntor principal 25 A

Controles Encendido1, Arranque / Parada, Reposición / Listo2,Arranque / Parada y Emergencia (EMO)3

IndicadoresAlarma audible 100 dB(A) a 1 metroManómetro 0 – 100 psig, analógicoReloj 0 – 99999 horas, digital

Alarmas Rotación / baja tensión trifásica, bajo flujo del agua de enfriamiento, disyuntor, nivel y temperatura del refrigerante en el depósito, flujo del refrigerante, sobrecarga del compresor, operación RTD** remota

Peso 204 kg (450 lbs)MTBF 75000 h (90% seguro)

1 Botón y luz verde

2 Se usa para reposicionar las alarmas bloqueadas

3 Rojo, interruptor tipo hongo de 40 mm, con protector

4 No puede reposicionarse – alarma activa cuando la operación de RTD remota está en uso.


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Temperatura del proceso vs carga de enfriamiento****** en la salida de la refrigeradora, agua de enfriamiento 15 °C.

1 50 Hz 2 60 Hz

Temperatura del proceso vs tiempo

Velocidad de flujo de la bomba del refrigerante vs presión diferencial

1 50 Hz 2 60 Hz

1500-50

0

-40

-30

1000500

0C -20

-10

10

2

TCU 40/80

3000

W

2000 2500

1

3500

-60

min

5 10 15 20 25 30

19 min

C

-40

-20

0

20

40

60

80

100

11 min

TCU 40/80

0

bar

l min

01 2 3 4 5 6 7

8

16

24

32

-1

1

2

TCU 40/80



Unidad de control de temperatura TCU 40/80 W95000000

Suministrada con embudo, manual de instrucciones, todos los accesorios de conexión, válvulas de cierre y receptáculo de contención secundaria. Las opciones de comunicaciones tales como el RS-232 y el RS-485 están disponibles a solicitud. Para obtener más información, comuníquese con BOC Edwards o con su proveedor local.


Manual de instrucciones W95900001

Conjunto de mantenimiento preventivo P60153005

Embudo P60141100

Receptáculo de contención secundario P30152700


Refrigerante de perfluorocarbono Ausimont Galden HT1101

6,5 kg P53289800

17,2 kg P53289900

Conjunto de pernos de sujeción para las unidades apiladas P60152200

Conjunto de estabilización (restricción contra terremotos) P60154600

Conjunto de nivelación P60152100

Cuadro de montaje en bastidor P60155000

Plataforma y elevador neumático P60156000

Conjunto de conexión para la interfaz del host P60153200

Montaje del RTD remoto

Cable de 3,6 m P60153100

Cable de 15,2 m P60153101

Conjunto del conector del refrigerante P60150400

1Comuníquese con BOC Edwards para obtener información acerca de otros refrigerantes.

TCU 40/80

892

(35.

12)

762

(30.

0)

559 (22.01)

762 (30.0)

96.5

2

993.

14 (

39.1

)

TCU 40/80

(3.8

)


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REFRIGERADORA TCU 40/80 PLUS

Alta confiabilidad y desempeño del tiempo de funcionamientoLa unidad TCU 40/80 Plus fue diseñada para cumplir con los requerimientos más exigentes de la fabricación de semiconductores para el enfriamiento de las plaquetas durante el proceso de grabado, entre otros. La TCU 40/80 Plus está diseñada para brindar un desempeño confiable del tiempo de funcionamiento y facilidad de mantenimiento, brindando una operación libre de problemas en una amplia gama de temperaturas extremas. Esto, en combinación con los centros de servicio y soporte de servicio técnico en el lugar de instalación de BOC Edwards en todo el mundo, hace que la TCU 40/80 Plus sea el nuevo estándar de la industria.

Características y ventajas• Bomba de refrigerante libre de fugas con accionamiento magnético,

funcionamiento confiable• Amplia temperatura de operación -40 a +80 °C• Temperatura establecida en incrementos de 0,1 °C• Estabilidad típica +/- 1 °C• Velocidad del flujo ajustable del refrigerante 1-6 gpm• Certificación SEMI S2-93• Certificación CE; cumple con las directivas sobre baja tensión• Refrigerante de perfluorocarbono para un funcionamiento libre de iones• Facilidad de detección remota de la temperatura• Sistema de refrigerante presurizado de acero inoxidable• MTBF de 50000+ horas• Las líneas de refrigerante y enfriador están verificadas contra fugas de helio• Servicio técnico de BOC Edwards en todo el mundo

APLICACIONES

La unidad de control de temperatura TCU 40/80 Plus es una unidad de control de temperatura de un solo canal que suministra refrigerante de perfluorocarbono en un circuito cerrado para el control de temperatura de las cámaras de procesos de fabricación de semiconductores y plaquetas durante los procesos de grabado, entre otros. La TCU 40/80 Plus está diseñada para brindar un desempeño confiable del tiempo de funcionamiento y facilidad de mantenimiento, brindando un enfriamiento continuo y libre de problemas en una amplia gama de temperaturas. Utilice la TCU Plus para el enfriamiento de portaherramientas electrostáticas, ventanas de cuarzo y domos y paredes de las cámaras.La industria de semiconductores exige equipos con un tiempo de funcionamiento máximo cuando operan en forma continua los 365 días del año. El cumplimiento de estas exigencias fue de primordial importancia en el diseño de la TCU 40/80 Plus, lo que dio como resultado un controlador de

temperatura altamente confiable, libre de fugas y sin causar daños al medio ambiente. El controlador de temperatura libre de CFC está aprobado por la norma SEMI S2-93, con certificación CE (cumple con las directivas sobre baja tensión de la Unión Europea), está aprobado por UL, y se fabrica en una planta con certificación ISO9001.La TCU 40/80 Plus cuenta con un sistema de refrigerante de perfluorocarbono de circuito cerrado. El uso de un refrigerante no conductivo en lugar de agua desionizada, significa que la TCU 40/80 Plus puede usarse en sistemas con grandes campos magnéticos y de plasma. El uso del refrigerante de perfluorocarbono también elimina la necesidad de monitorear el refrigerante y mantener los filtros de refrigerante.La TCU 40/80 Plus puede montarse en bastidor o en torre. Los paneles frontal y laterales pueden retirarse con facilidad para el mantenimiento de rutina. Al igual que con todos los productos de BOC Edwards, la TCU 40/80 Plus cuenta con el respaldo de nuestro servicio de soporte técnico y de mantenimiento de productos en todo el mundo.La línea de productos para control de temperatura de BOC Edwards ofrece una serie completa de diseños compatibles con los procesos de fabricación de semiconductores para cualquier tipo de proceso. Los modelos están disponibles con comunicaciones digitales, rangos especiales de temperatura, cargas de calor adaptadas a las necesidades del cliente y operaciones en cámaras múltiples.

DATOS TÉCNICOS

Rango de temperatura de control -40 a 80 °CPunto de referencia de la temperatura de control 0,1 °CEstabilidad de la temperatura de control ±1,0 °CCapacidad de enfriamiento (en la salida de la TCU, agua de enfriamiento 15 °C)

A -40 °C 750 WA -20 a +80 °C 2400 W

Capacidad de calentamiento a 208 V 2800 WRampa de temperatura (sin carga)

25 a 80 °C <25 min25 a -30 °C <15 min

Sistema de refrigerante de perfluorocarbono

Tipo de refrigerante 3M FC77, 3M FC3283, FC8270,Ausimont Galden HT110 o 3M HFE 7500

Tipo de bomba Bomba de engranajes de accionamiento magnético, motor de 3/4 HP

Velocidad de flujo de la bomba establecido en fábrica(20 °C, 4,1 bar / 60 psi) 11,4 l min-1 (3 gal min-1)Presión máxima de suministro del refrigerante 100 psiVelocidad de flujo ajustable del refrigerante Potencia del motor de la bomba 3,8 – 22,7 l min-1 (1 – 6 gal min-1)Conexiones del refrigerante Conector de unión Swagelok de ½ pulg.

(suministrados)Sistema de refrigeración

Refrigerante HFC R404A Compresor 2,8 kW, trifásico, herméticamente selladoIntercambiador de calor Placa de flujo cruzado de acero inoxidable

de alta eficienciaRequerimientos del agua de enfriamiento

Velocidad de flujo 11,4 – 22,8 l min-1 (3 – 6 gal min-1)Temperatura 10 – 26 °CPresión 1,4 – 6,9 bar (20 – 100 psi)Conexiones de agua de enfriamientoAccesorio de compresión de latón de ½

pulg. y adaptadores de manguera de latón de ½ pulg. (suministrados)

Suministro eléctricoTensión 200 – 208 V, trifásica, 50/60 Hz, balanceo

en deltaTipo de conexión Con fusible de 30 A, NEMA L21-30R Monitor de baja tensión y rotación de fase IncorporadoCable eléctrico 3,05 m (10 pies), con enchufe de

seguridad (L21-30P) de 5 clavijas


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Temperatura del proceso vs carga de enfriamiento** en la salida de la refrigeradora, agua de enfriamiento 15 °C

1 50 Hz 2 60 Hz

Temperatura del proceso vs tiempo

Velocidad de flujo de la bomba del refrigerante vs presión diferencial

1 50 Hz 2 60 Hz

Consumo de potencia típico 2,75 kW a capacidad nominalDisyuntor principal 25 A

Controles Encendido1, Arranque / Parada, Reposición / Listo2,Arranque / Parada y Emergencia (EMO)3

IndicadoresAlarma audible 100 dB(A) a 1 metroManómetro 0 – 100 psig, analógicoReloj 0 – 99999 horas, digital

Alarmas Rotación / baja tensión trifásica, bajo flujo del agua de enfriamiento, disyuntor, nivel y temperatura del refrigerante en el depósito, flujo del refrigerante, sobrecarga del compresor,operación RTD** remota

Peso (en seco) 190 kg (416 lbs)MTBF > 50000 h (90% seguro)

1 Botón y luz verde

2 Se usa para reposicionar las alarmas bloqueadas

3 Rojo, interruptor tipo hongo de 40 mm, con protector

11 No puede reposicionarse – alarma activa cuando la operación de RTD remota está en uso.

TCU 40/80 Plus

1

2

0

W

-50

C

1000

-40

-30

-20

-10

0

10

2000 3000 4000 5000

11 min

-20

-40

-60

C 20

0

40

5 10

100

80

60

TCU 40/80 Plus

min

14 min

15 20

0

bar

l min

01 2 3 4 5 6 7

8

16

24

32

-1

1

2

TCU 40/80 Plus



Unidad de control de temperatura TCU 40/80Plus* W95100000

Suministrada con embudo, manual de instrucciones, todos los accesorios de conexión, válvulas de cierre y receptáculo de contención secundaria. Las opciones de comunicaciones tales como el RS-232, RS-485 y LonWorks están disponibles a solicitud. Para obtener más información, comuníquese con BOC Edwards o con su proveedor local.


Manual de instrucciones W95900001

Conjunto de mantenimiento preventivo P60153005

Embudo P60141100

Receptáculo de contención secundario P30152700


Refrigerante de perfluorocarbono Ausimont Galden HT1101

6,36 kg/14,3 lbs P53289800

17,2 kg/37,3 lbs P53289900

Conjunto de pernos de sujeción para las unidades apiladas P60152200

Conjunto de estabilización (restricción contra terremotos) P60154600

Conjunto de nivelación P60152100

Cuadro de montaje en bastidor P60155000

Plataforma y elevador neumático P60156000

Conjunto de conexión para la interfaz del host P60153200

Montaje del RTD remoto

3,5 m /12 pies P60153100

15,2 m /50 pies P60153101

Conjunto del conector del refrigerante P60150400

1Comuníquese con BOC Edwards para obtener información acerca de otros refrigerantes.

TCU 40/80 Plus

892

(35.

12)

762

(30.

0)

559 (22.01)

762 (30.0)

96.5

2

993.

14 (

39.1

)

TCU 40/80 Plus

(3.8

)


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NOTAS

Gestion de gases para semiconductores

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