Equipos fabricacion de semiconductores
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EQUIPOS, MATERIALES Y ESPECIALIZACIÓNpara la Fabricación de Semiconductores Compuestos
BOC Edwards es un proveedor mundial reconocido que posee la capacidad única de aplicar la especialización y laexperiencia obtenidas del mercado de semiconductores para brindar apoyo a la industria de los semiconductores.Proveemos una gama completa de productos, materiales y servicios a Fabricantes de Equipos Originales y usuariosfinales para todas las aplicaciones de semiconductores compuestos incluyendo, pero sin limitarse al Gravado de ionesreactivos (RIE), Deposición de vapores químicos organometálicos (MOCVD), Epitaxia de haz molecular (MBE),Deposición física de vapores (PVD), Implante, Grabado Seco y Húmedo.
Los productos que utilizan semiconductores compuestos
incluidos en este catálogo son los siguientes:
Bombas de Vacío Secas (sección 4, pág. 50)
iK500, EPX, Mag-Lev Turbo
Gestión de gases de escape (sección 4, pág. 82)
ZenithIII-V, Helios, TPU, GaNcat, Depurador por vía húmeda Tempest
Deposición de película delgada (sección 14, pág. 2)
Auto306, Auto500BOC Edwards ofrece una completa gama de sistemas Temescal® para aplicaciones de metalización de semiconductores compuestos.
Además de los productos enumerados anteriormente
BOC Edwards también ofrece muchos otros productos,
materiales y servicios en las siguientes áreas:
Gestión de sustancias químicas – BOC Edwards ofrece soluciones confiables y económicas para aplicaciones de mezcla y distribución de sustancias químicas y lechada.
Servicios – Servicios completos de diseño de sistemas, instalación y administración de proyectos, limpieza de componentes, mantenimiento de equipos, soporte de aplicaciones y operaciones y mantenimiento en las instalaciones.
Materiales Electrónicos – Gases de procesos para todas las aplicaciones de semiconductores, con mecanismos de descarga y niveles de pureza que cumplen con una amplia gama de especificaciones.
• Amoníaco (NH3) • Tricloruro de Boro (BCl3) • Nitrógeno (N2) • Argón (Ar) • Cloruro de Hidrógeno (HCl)• Fosfina (PH3) • Arsina (AsH3) • Hidrógeno (H2) • Silano (SiH4)
Gases a Granel – Diseño e instalación en el establecimiento o fábrica incluyendo, pero sin limitarse a la provisión de tanques, purificadores, filtración, tuberías y gas.
• Argón (Ar) • Hidrógeno (H2) • Helio (He) • Nitrógeno (N2)
Si desea obtener información sobre nuestra oferta completa de aplicaciones de semiconductores compuestos, sírvasevisitar www.bocedwards.com para descargar una copia de nuestro folleto o sírvase llamarnos al 800-848-9800 (sólopara Estados Unidos) o al +44 (0) 1293 528844 y solicite que su llamada se transfiera a un especialista ensemiconductores compuestos de su zona.
Mercados Aplicaciones
Bom
bas secas/húmedas pequeñas
Secció
n 1
Bom
bas de difusión pequeñasS
ección 1
Bom
bas de aleta selladas al aceite (pequeñas)S
ección 1
Bom
bas secas grandesS
ección 2
Bom
bas selladas al aceite grandesS
ección 2
Bom
bas preliminares (E
VC
)S
ección 2
Bom
bas mecánicas R
oots
Secció
n 2
Bom
bas secas para sustancias químicas
Secció
n 3
Bom
bas para la fabricación de sem
iconductores,
Gestión de gases de escape,
Bom
bas semisecas
Secció
n 4
Bom
bas turbom
oleculares
Secció
n 5
Sistem
as turbo integrado
s e instrumento
sS
ección 5
Bom
bas de anillo líquido
Secció
n 6
Expulso
res de vaporS
ección 7
Sopladores im
pelentesS
ección 8
Soplado
res centrífugos
Secció
n 8
Com
presores de to
rnilloS
ección 8
Máquinas de pre-entrada (C
ompresores de aire)
Secció
n 8
Truckstar
Secció
n 8
Bom
bas de difusión grandesS
ección 10
Medició
n y control
Secció
n 11
Válvulas
Secció
n 12
Com
ponentes del sistema de vacío
Secció
n 13
Detección de fugas
Secció
n 15
Instrumentos científicos Instrumentos analíticosPreparación de muestrasVacío para viviendasPruebasFísica del vacío
Vacío de procesos DestilaciónServicio de reactoresVacío central (sustancias inflamables)Secado, evaporación, cristalizaciónRecuperación/recirculación de gasDesgasificaciónRecuperación de solventesLlenado al vacíoGeneración de energíaTransporte neumáticoProcesos de combustiónExtracción de polvoRecompresión mecánica de vaporDesagüe y filtraciónGases inflamablesPulpa y papelSustancias químicas a granel y petroquímicasMinería y mineralesSecado por congelamiento y esterilizaciónProductos farmacéuticos y químicos de precisiónBebidasProductos textilesCerámicasProcesamiento de alimentos
Industrial Tratamiento térmicoFusión/fundición/metalurgiaRecubrimientoProcesamiento y envasado de alimentosIndustria generalImpresiones y manejo del papelManejo de materialesVacío centralSecado e impregnaciónRecuperación/recirculación de gasDesgasificaciónDispositivos de visualización y tecnología informáticaDetección de fugasLlenado al vacíoTratamiento de superficies por plasmaTransporte neumáticoSistemas de limpieza central y extracción de polvoRefrigeración y aire acondicionadoRecubrimientoIndustria automotrizIluminaciónLásersIndustria eléctricaIndustria aeroespacialPlásticosCarga/descarga de camionesEnvasado
Medio ambiente Tratamiento de aguas servidasTratamiento de aguaCamiones de vacíoRecuperación de biogásDesulfuración de gases de la combustión
Vacío para semiconductores de pantalla plana
CONTENIDOS
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
1Bombas y sistemas de bombeo pequeños
Información sobre aplicaciones y accesorios 1-3
Bombas selladas al aceite y accesorios 1-6
Bombas scroll 1-28
Bombas de diafragma y accesorios 1-32
Bombas y sistemas de bombeo industriales
Bombas y accesorios GV/GVM Drystar® 2-9Bombas selladas al aceite y combinaciones 2-22
Bombas mecánicas Roots 2-69
Bombas de vapor industriales 2-90
Bombas y sistemas de bombeo para sustancias químicas
Sistemas de bombeo secos para sustancias químicas 3-2
Bombas de vacío Serie Chem-Dry™ 3-9
Gestión de gases de escape y bombas para la fabricación de semiconductores
Bombas turbomoleculares con levitación magnética STP 4-7
Bombas secas y accesorios 4-52
Gestión de gases de escape 4-84
Gestión térmica 4-102
Bombas turbomolecularesEXT
Bombas turbomoleculares EXT 5-4
Controladores para bombas turbomoleculares 5-12
Accesorios EXT 5-26
Accesorios combinados EXP 5-28
Bombas de vacío de anillo líquido
Bombas de vacío de anillo líquido 6-7
Vacío de procesos Sistemas de vacío para expulsión de vapor 7-2
Equipos para desaireación 7-4
Sopladoresimpelentes
Sopladores de desplazamiento positivo 8-3
Sopladores de vacío de pre-entrada (inyección de aire) 8-32
Sopladores impelentes y de vacío para camiones 8-37
Compresores de tornillo libres de aceite 8-50
Sopladores de proceso y unidades de proceso con diseño personalizado 8-55
Desecadores al vacío
Desecadores de estantes al vacío 9-2
Desecadores cónicos al vacío y reactores SSP 9-3
Bombas de vapor para fines científicos
Bombas de vapor para instrumentos científicos y aplicaciones de
investigación y desarrollo 10-2
Medición y control Indicadores de vacío 11-5
Pantallas y controladores de vacío 11-25
Ejemplos de instalación de indicadores y controladores 11-40
Indicadores analógicos tipo cápsula, interruptores de vacío e indicadores McLeod 11-43
Equipo de calibración 11-46
Contenidos
CONTENIDOS (continuación)
12
13
14
15
16
17
16
Resumen de datos 12-4
Válvulas de aislamiento para tuberías 12-5
Válvulas de control electroneumático 12-25
Válvulas de admisión de aire 12-26
Válvulas de aguja 12-28
Válvulas
Accesorios para bridas 13-2
Anillos "O", cables y tubos 13-38
Aceites, fluidos, selladores y grasas 13-43
Componentes del sistema de vacío
Sistemas de recubrimiento al vacío para investigación y desarrollo 14-3
Sistemas para preparación de muestras para microscopios electrónicos 14-13
Componentes para recubrimiento al vacío 14-16
Recubrimiento al vacío
Detectores de fugas 15-3 Detección de fugas
Capacitación internacional 16-2
Soporte al cliente a nivel mundial 16-3
Guía para selección de bombas e instalación de tuberías 16-9
Datos para la conversión de unidades 16-11
Hojas de datos de seguridad de los materiales 16-12
Servicio de mantenimiento y capacitación
Índice 17-1 Índice